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qWe1`.o 1.Horos—光学粗糙度传感器。 _#9:cH* 2.测量样本。 vBsd.2t~ 3.钻石旋转加工表面的测量结果。 hi,! 4.Horos—光学材料粗糙度传感器以及白光干涉仪测量结果比较 (样本:1.-Mo/Si-镜子,2-Ti-膜,3-钻石旋转法下Al-表面)。 !_s|h@ Fa^5.p 系统简介 9Qp39(l: XhFa9RC 随着光学技术不断地发展,对于光学材料或光学薄膜的表面性能测量的需求也日益增多。horos传感器可直接测量表面粗糙程度。它具有非接触式测量,快速测量的特点。并且它的体积小便于移动。被测样本的规格从机械零件到具有纳米结构的光学表面均可。 +4ax~fuU o#E 3{zM 特征及技术参数 _lb ^ 8^=g$;g - 可测量参数:粗糙度相关一系列值 (例如PSD,倾斜度等等),3D下散射光分布,检测是否各项同性等。 ,.tT9?
m - 灵敏度R_q<0.5 nm a&)0_i:r - 测量时间: < 1 s。 OlhfBu)~ - 与轮廓仪直接相连——测量结果可直接比较。 "|`8mNC 'n I2RX Ld? tVi 传感器: @Fqh]1t ws
tI8"> Horos (hight sensitive optical roughness sensor) 是一种小型的,便于移动的光学传感器。它以散射测量为基础,用于测量表面粗糙程度。测量范围可从微米级到亚纳米级。 :N^1T6v ?ECmPS1 应用: bv0B sj2v*tFb 可在下列领域中进行快速,不受周围环境干扰的质量检测: gBHev1^y - 平面或复杂(自由形状)表面。 W5(t+$L. - 光学加工(表面加工,镀膜,制作模具等)。 wNDLN`,^H - 机械零件。 G;V@oT - 汽车工业。 OYC4iI /7*jH2 +FQ:Q+ QQ:2987619807 wKum{X8
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