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s-IW 1.Horos—光学粗糙度传感器。 X_}2xo|T 2.测量样本。 I?l%RdGW 3.钻石旋转加工表面的测量结果。 xMAfa>]{n 4.Horos—光学材料粗糙度传感器以及白光干涉仪测量结果比较 (样本:1.-Mo/Si-镜子,2-Ti-膜,3-钻石旋转法下Al-表面)。 Yy$GfjJtL] TfD]`v`] 系统简介 ;<JyA3i^V, .KA){_jBp 随着光学技术不断地发展,对于光学材料或光学薄膜的表面性能测量的需求也日益增多。horos传感器可直接测量表面粗糙程度。它具有非接触式测量,快速测量的特点。并且它的体积小便于移动。被测样本的规格从机械零件到具有纳米结构的光学表面均可。 "QWF&-kAI dc.o K4G} 特征及技术参数 SxHj3,`#C B>hC8^.S|w - 可测量参数:粗糙度相关一系列值 (例如PSD,倾斜度等等),3D下散射光分布,检测是否各项同性等。 0wxlsny? - 灵敏度R_q<0.5 nm pohA??t2: - 测量时间: < 1 s。 ~VRt6C - 与轮廓仪直接相连——测量结果可直接比较。 n(|~z TV~<1vj V'XmMn)! 传感器: G d".zsn kjo,?$r
% Horos (hight sensitive optical roughness sensor) 是一种小型的,便于移动的光学传感器。它以散射测量为基础,用于测量表面粗糙程度。测量范围可从微米级到亚纳米级。 yEnurq%J u}eqU% 应用: _&Hq`KJm G8w<^z>pTg 可在下列领域中进行快速,不受周围环境干扰的质量检测: 3HU_~%l - 平面或复杂(自由形状)表面。 gy
Jx>i - 光学加工(表面加工,镀膜,制作模具等)。 pZS0;T]W, - 机械零件。 QEe\1>1"& - 汽车工业。 ,cbCt `CWI%V 7q>Y)*V QQ:2987619807 =*VKp{5=
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