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iYYuZ. 1.Horos—光学粗糙度传感器。 tG9C(D`G 2.测量样本。 wXnVQ-6H 3.钻石旋转加工表面的测量结果。 F3o"ETle 4.Horos—光学材料粗糙度传感器以及白光干涉仪测量结果比较 (样本:1.-Mo/Si-镜子,2-Ti-膜,3-钻石旋转法下Al-表面)。 _~umE/tz `?l
/HUw 系统简介 qW4\t 2(\PsN w! 随着光学技术不断地发展,对于光学材料或光学薄膜的表面性能测量的需求也日益增多。horos传感器可直接测量表面粗糙程度。它具有非接触式测量,快速测量的特点。并且它的体积小便于移动。被测样本的规格从机械零件到具有纳米结构的光学表面均可。 }C["'tLX }z9v*C 特征及技术参数 yeIS} O ?A .ah - 可测量参数:粗糙度相关一系列值 (例如PSD,倾斜度等等),3D下散射光分布,检测是否各项同性等。 !L9]nO 'BL - 灵敏度R_q<0.5 nm :?ZrD,D - 测量时间: < 1 s。 ]^wr+9zd - 与轮廓仪直接相连——测量结果可直接比较。 @\oZ2sB |Go$z3bx [x=(:soEqC 传感器: >e.KD)qA w03Ur4>T Horos (hight sensitive optical roughness sensor) 是一种小型的,便于移动的光学传感器。它以散射测量为基础,用于测量表面粗糙程度。测量范围可从微米级到亚纳米级。 X+u1p? !vK0|eV3 应用: R@ Gll60 >P} XCAU 可在下列领域中进行快速,不受周围环境干扰的质量检测: y|0/;SjV - 平面或复杂(自由形状)表面。 ofz?L#:2 - 光学加工(表面加工,镀膜,制作模具等)。 )ryP K"V - 机械零件。 D ZZRu8~ - 汽车工业。 <ycR/X Xj30bt .tHc*Eh QQ:2987619807 }?6;;d#
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