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1.Horos—光学粗糙度传感器。 _?J:Z*z? 2.测量样本。 8j%hxA V$ 3.钻石旋转加工表面的测量结果。 3GU J lFj 4.Horos—光学材料粗糙度传感器以及白光干涉仪测量结果比较 （样本：1.-Mo/Si-镜子，2-Ti-膜，3-钻石旋转法下Al-表面）。 J2P5< L7 f' 系统简介 mIUpAOC`"Z
dX>l"))yR 随着光学技术不断地发展，对于光学材料或光学薄膜的表面性能测量的需求也日益增多。horos传感器可直接测量表面粗糙程度。它具有非接触式测量，快速测量的特点。并且它的体积小便于移动。被测样本的规格从机械零件到具有纳米结构的光学表面均可。 itmQH\9 8 q[T='!Z\ 特征及技术参数 *3r{s'm
& f$[>yg1- - 可测量参数：粗糙度相关一系列值 （例如PSD，倾斜度等等），3D下散射光分布，检测是否各项同性等。 "i3Q)$"S - 灵敏度R_q<0.5 nm T .R( - 测量时间： < 1 s。 f7Fr%*cO - 与轮廓仪直接相连——测量结果可直接比较。 (y;8izp9! H;nq4; ^yK AroXf# . 传感器： EPMdR66
d}e/f)( Horos (hight sensitive optical roughness sensor) 是一种小型的，便于移动的光学传感器。它以散射测量为基础，用于测量表面粗糙程度。测量范围可从微米级到亚纳米级。 is,r: 5Zdx n> 应用： #6 yi
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可在下列领域中进行快速，不受周围环境干扰的质量检测： b6E,u*)" - 平面或复杂（自由形状）表面。 .Lc<1s - 光学加工（表面加工，镀膜，制作模具等）。 v4V|j<R - 机械零件。 l<l6Ey( - 汽车工业。 C)Ez>~Z std4Nyp
gbJz5EEq QQ：2987619807 3%$nRP
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