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1.Horos—光学粗糙度传感器。 D d$ SQ 2.测量样本。 W=$ d|*$ 3.钻石旋转加工表面的测量结果。 x xh(VQdg 4.Horos—光学材料粗糙度传感器以及白光干涉仪测量结果比较 （样本：1.-Mo/Si-镜子，2-Ti-膜，3-钻石旋转法下Al-表面）。 M#Vl{ b C 1@6 r%YD 系统简介 k]=Yi;
@,RrAL }| 随着光学技术不断地发展，对于光学材料或光学薄膜的表面性能测量的需求也日益增多。horos传感器可直接测量表面粗糙程度。它具有非接触式测量，快速测量的特点。并且它的体积小便于移动。被测样本的规格从机械零件到具有纳米结构的光学表面均可。 p9[J 9D3~ hi I`ot 特征及技术参数 9oL/oL-J/
d& x1uso%L - 可测量参数：粗糙度相关一系列值 （例如PSD，倾斜度等等），3D下散射光分布，检测是否各项同性等。 6+9inWTT( - 灵敏度R_q<0.5 nm 'W/E*O6BY - 测量时间： < 1 s。 rQ^$)%uP - 与轮廓仪直接相连——测量结果可直接比较。 4$oX,Q`# a~_5N&~pi JR1/\F<} 传感器： 2 V0gj
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4A_}:nU Horos (hight sensitive optical roughness sensor) 是一种小型的，便于移动的光学传感器。它以散射测量为基础，用于测量表面粗糙程度。测量范围可从微米级到亚纳米级。 _[8BAm :6 ? &L 应用： +IiL(\ew
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可在下列领域中进行快速，不受周围环境干扰的质量检测： *OT6)]|k - 平面或复杂（自由形状）表面。 > !thxG/_ - 光学加工（表面加工，镀膜，制作模具等）。
]:m}nJ_ - 机械零件。 fT-yY` - 汽车工业。 LB|FVNW/S X#$mBRK7
%G& Zm$u= QQ：2987619807 $:R"IqDG
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