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ZQ%4]=w 1.Horos—光学粗糙度传感器。 g!#M0 2.测量样本。 ~ x!"( 3.钻石旋转加工表面的测量结果。 #><P28m 4.Horos—光学材料粗糙度传感器以及白光干涉仪测量结果比较 (样本:1.-Mo/Si-镜子,2-Ti-膜,3-钻石旋转法下Al-表面)。 I3ZlKI JGJy_.C 系统简介 D?)^{)49 NSsLuM=. 随着光学技术不断地发展,对于光学材料或光学薄膜的表面性能测量的需求也日益增多。horos传感器可直接测量表面粗糙程度。它具有非接触式测量,快速测量的特点。并且它的体积小便于移动。被测样本的规格从机械零件到具有纳米结构的光学表面均可。 g`2DJi&) ^`HP&V 特征及技术参数 q_hkI] F+c4v A}) - 可测量参数:粗糙度相关一系列值 (例如PSD,倾斜度等等),3D下散射光分布,检测是否各项同性等。 oHW:s96e - 灵敏度R_q<0.5 nm DX*eN"z[ - 测量时间: < 1 s。 &B3[:nS2 - 与轮廓仪直接相连——测量结果可直接比较。 5t,W'a_ A ;06Zrf1 (i 3=XfZ!C 传感器: XBmAD! 2;v1YKY Horos (hight sensitive optical roughness sensor) 是一种小型的,便于移动的光学传感器。它以散射测量为基础,用于测量表面粗糙程度。测量范围可从微米级到亚纳米级。 0LjF$3GpZ rryC^Vma 应用: 6*{sZMG C:?mOM#_ 可在下列领域中进行快速,不受周围环境干扰的质量检测: :4 &q2- - 平面或复杂(自由形状)表面。 w;p:4` - 光学加工(表面加工,镀膜,制作模具等)。 ib-)T7V` - 机械零件。 K[.*8 - 汽车工业。 |5;:3K+ &f;<[_QI= d'x'hp% QQ:2987619807 Xf"B\%,(`
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