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BR~+CBH 1.Horos—光学粗糙度传感器。 (abtCuZ8z 2.测量样本。 qwd
T=H 3.钻石旋转加工表面的测量结果。 ;O({|mpS\ 4.Horos—光学材料粗糙度传感器以及白光干涉仪测量结果比较 (样本:1.-Mo/Si-镜子,2-Ti-膜,3-钻石旋转法下Al-表面)。 Lo +H&- KhyGz"I!@$ 系统简介 HB}iT1.` &LhR0A 随着光学技术不断地发展,对于光学材料或光学薄膜的表面性能测量的需求也日益增多。horos传感器可直接测量表面粗糙程度。它具有非接触式测量,快速测量的特点。并且它的体积小便于移动。被测样本的规格从机械零件到具有纳米结构的光学表面均可。 #23($CSE Mbtk:GuY 特征及技术参数 n<>]7- F'njtrO3 - 可测量参数:粗糙度相关一系列值 (例如PSD,倾斜度等等),3D下散射光分布,检测是否各项同性等。 e]7J_9t@ - 灵敏度R_q<0.5 nm h{e?Fl - 测量时间: < 1 s。 [}"m4+ - 与轮廓仪直接相连——测量结果可直接比较。 :j;_Xw &t74T"(d G}'\ 传感器: C)ebZ3 *Di ;Gf@ Horos (hight sensitive optical roughness sensor) 是一种小型的,便于移动的光学传感器。它以散射测量为基础,用于测量表面粗糙程度。测量范围可从微米级到亚纳米级。 F2$?[1^f l>@){zxL 应用: ztV%W6 ,Z[pLF 可在下列领域中进行快速,不受周围环境干扰的质量检测: xGK"`\V - 平面或复杂(自由形状)表面。 h
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hl - 光学加工(表面加工,镀膜,制作模具等)。 u%nhQ% - 机械零件。 hKN/&P^ - 汽车工业。 uBo~PiJ2" Pb/[945 j$khGR! QQ:2987619807 ljk,R
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