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"YJ;-$rb 1.Horos—光学粗糙度传感器。 77[;J 2.测量样本。 "Z1&z- 3.钻石旋转加工表面的测量结果。 B7QtB3bn 4.Horos—光学材料粗糙度传感器以及白光干涉仪测量结果比较 (样本:1.-Mo/Si-镜子,2-Ti-膜,3-钻石旋转法下Al-表面)。 M%dl?9pbq fgz'C? 系统简介 <38@b
]+ d?+oT0pCH 随着光学技术不断地发展,对于光学材料或光学薄膜的表面性能测量的需求也日益增多。horos传感器可直接测量表面粗糙程度。它具有非接触式测量,快速测量的特点。并且它的体积小便于移动。被测样本的规格从机械零件到具有纳米结构的光学表面均可。 pkMON}"mj I4DlEX 特征及技术参数 38.J:?Q JV*,!5 - 可测量参数:粗糙度相关一系列值 (例如PSD,倾斜度等等),3D下散射光分布,检测是否各项同性等。 E)Epr&9S - 灵敏度R_q<0.5 nm #K~j9DuR - 测量时间: < 1 s。 QcVtv7+*v - 与轮廓仪直接相连——测量结果可直接比较。 7Mbt*[n XIW:Nk!S :FgRe,D 传感器: _nCs$U FZI 4?YD?< Horos (hight sensitive optical roughness sensor) 是一种小型的,便于移动的光学传感器。它以散射测量为基础,用于测量表面粗糙程度。测量范围可从微米级到亚纳米级。 E;Ftop aGkVC*T 应用: 2dlV'U_g Kgio}y 可在下列领域中进行快速,不受周围环境干扰的质量检测: 'C8=d(mR=m - 平面或复杂(自由形状)表面。 g"AfI - 光学加工(表面加工,镀膜,制作模具等)。 YD>>YaH_3@ - 机械零件。 s7cyo
] - 汽车工业。 >WS&w;G r{3`zqo (+v*u ]w4 QQ:2987619807 cg5{o|x
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