左图:角分辨光散射测量仪ALBATROSS;右图:532 nm滤光片在不同波长下的ARS分布。
f6DPah# 系统简介 Q
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'0[l'Dt' ALBATROSS(3D-Arrangement for Laser Based Transmittance, Reflectance and Optical Scatter measurement )是一个大型的测量样本反射光,透射光,以及散射光分布的实验室测量系统。其特点是对角度的灵敏度高,并且该系统可以测量三维空间中的散射分布。被测样本包含光学和非光学表面以及其他光学材料和光学元件。其光源系统为变频OPO激光,也可测量光散射的光谱特性。 __zsrIUJ j@9A!5<CCk 特征及技术参数 <{'':/tXI
HzWZQ6o - 可测量参数:散射光(角分辨散射ARS,双向反射分布BRDF, ==$Ox6. - 双向透射分布BTDF,散射损耗),θ-2θ测量,反射,透射。(3D) ;Eck7nRA) - 入射光与探测器可共面或异面。 KxY|:-"Tt - 入射角,散射角(方位角和极角)以及光源的偏振态均可调整。 fz:F*zT1 - 可对样品进行扫描。 ek.L(n,J| - 动态范围: 13个数量级。 r8@:Ko= a - 最低ARS级别:5×〖10〗^(-8) 〖 sr〗^(-1)。 2(UT;PSI - 对粗糙度的最小分辨率:< 0.1 nm 。 :qI myaGQ - 波长范围:225 nm 至 1750 nm (光谱带宽<0.05 nm)。 }O_6wi - 样本规格:最大尺寸直径700mm。 m(9E{; - 方便操作的测量及分析软件。 @%RDw*L( - 可分析值: 粗糙度,PSD等。 M5D,YC3< H>M0GL 应用 !j\yt
nPKf~|\1{ 对表面,薄膜以及材料性质进行表征和分析 c!s{QWd% - 产品质量检测。 +W-sb5) - 光学性能分析。 B~z&
"` - 粗糙度分析。 yfYAA*S!z a
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