左图:角分辨光散射测量仪ALBATROSS;右图:532 nm滤光片在不同波长下的ARS分布。
?-`G0 ( 系统简介 =6sL}$
TsB"<6@!AA ALBATROSS(3D-Arrangement for Laser Based Transmittance, Reflectance and Optical Scatter measurement )是一个大型的测量样本反射光,透射光,以及散射光分布的实验室测量系统。其特点是对角度的灵敏度高,并且该系统可以测量三维空间中的散射分布。被测样本包含光学和非光学表面以及其他光学材料和光学元件。其光源系统为变频OPO激光,也可测量光散射的光谱特性。 gI SP . ZFAi 9M 特征及技术参数 sm~{fg
XH?}0D( - 可测量参数:散射光(角分辨散射ARS,双向反射分布BRDF, "V;5Lp b - 双向透射分布BTDF,散射损耗),θ-2θ测量,反射,透射。(3D) mu?6Phj - 入射光与探测器可共面或异面。 `N69xAiy - 入射角,散射角(方位角和极角)以及光源的偏振态均可调整。 [o0Z;}fU - 可对样品进行扫描。 g5
J[ut - 动态范围: 13个数量级。 ,r-l^I3< - 最低ARS级别:5×〖10〗^(-8) 〖 sr〗^(-1)。 ymxYE#q - 对粗糙度的最小分辨率:< 0.1 nm 。 [8o!X) - 波长范围:225 nm 至 1750 nm (光谱带宽<0.05 nm)。 5D32d1A - 样本规格:最大尺寸直径700mm。 ^K#PcPF-j - 方便操作的测量及分析软件。 .%pbKi
` - 可分析值: 粗糙度,PSD等。 _ xAL0 ( U?}>A5H 应用 < c}cgD4
_rz*7-ks= 对表面,薄膜以及材料性质进行表征和分析 JToc("V - 产品质量检测。 8Q%rBl. - 光学性能分析。 _ZnVQ,zY - 粗糙度分析。 "AzA|zk')" oP$l( k
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