左图:角分辨光散射测量仪ALBATROSS;右图:532 nm滤光片在不同波长下的ARS分布。
#cEq_[yI 系统简介 cq^sq1A:
3GmK3uM ALBATROSS(3D-Arrangement for Laser Based Transmittance, Reflectance and Optical Scatter measurement )是一个大型的测量样本反射光,透射光,以及散射光分布的实验室测量系统。其特点是对角度的灵敏度高,并且该系统可以测量三维空间中的散射分布。被测样本包含光学和非光学表面以及其他光学材料和光学元件。其光源系统为变频OPO激光,也可测量光散射的光谱特性。 12r` ) Jc~E"x 特征及技术参数 &R\XUxI
B {i&~k - 可测量参数:散射光(角分辨散射ARS,双向反射分布BRDF, z(d4)z 8'6 - 双向透射分布BTDF,散射损耗),θ-2θ测量,反射,透射。(3D) 8SD}nFQ - 入射光与探测器可共面或异面。 f
Lk"tW - 入射角,散射角(方位角和极角)以及光源的偏振态均可调整。 TSyzdnMvz - 可对样品进行扫描。 V}`M<A6: - 动态范围: 13个数量级。 pa]
TeH - 最低ARS级别:5×〖10〗^(-8) 〖 sr〗^(-1)。 mvf
_@2^ - 对粗糙度的最小分辨率:< 0.1 nm 。 jCWu\Oe - 波长范围:225 nm 至 1750 nm (光谱带宽<0.05 nm)。 c=t*I0-OVS - 样本规格:最大尺寸直径700mm。 @bQ!zCI - 方便操作的测量及分析软件。 .D@/y uV - 可分析值: 粗糙度,PSD等。 `p"U ._BB+G 应用 @c"yAy^t
ip5u_Xj? 对表面,薄膜以及材料性质进行表征和分析 x[m'FsR4 - 产品质量检测。 .xv^G?GG - 光学性能分析。 dt.-C_MO - 粗糙度分析。 S1>Z6 <<BQYU)Ig
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