左图:角分辨光散射测量仪ALBATROSS;右图:532 nm滤光片在不同波长下的ARS分布。
-m)X]]~C 系统简介 :}5j##N
oC<.=2] ALBATROSS(3D-Arrangement for Laser Based Transmittance, Reflectance and Optical Scatter measurement )是一个大型的测量样本反射光,透射光,以及散射光分布的实验室测量系统。其特点是对角度的灵敏度高,并且该系统可以测量三维空间中的散射分布。被测样本包含光学和非光学表面以及其他光学材料和光学元件。其光源系统为变频OPO激光,也可测量光散射的光谱特性。 )Q1"\\2j0 9{RB{<Se! 特征及技术参数
3L<wQ(
HBy[FYa4 - 可测量参数:散射光(角分辨散射ARS,双向反射分布BRDF, / :
L ?~ - 双向透射分布BTDF,散射损耗),θ-2θ测量,反射,透射。(3D) lpQSup - 入射光与探测器可共面或异面。
i*|\KM?P - 入射角,散射角(方位角和极角)以及光源的偏振态均可调整。 LCZ\4g05 - 可对样品进行扫描。 5]NqRI^0 - 动态范围: 13个数量级。 tX5"UQA - 最低ARS级别:5×〖10〗^(-8) 〖 sr〗^(-1)。 W=j[V
Oq - 对粗糙度的最小分辨率:< 0.1 nm 。 BcL{se9< - 波长范围:225 nm 至 1750 nm (光谱带宽<0.05 nm)。 k_sg
?(-!o - 样本规格:最大尺寸直径700mm。 /I1h2E - 方便操作的测量及分析软件。 J#w
J4! - 可分析值: 粗糙度,PSD等。 rX4j*u2u U}6B*Xx' 应用 b<a4'M
]"t@-PFX< 对表面,薄膜以及材料性质进行表征和分析 N/Z2hn/m - 产品质量检测。 :Pvzl1 - 光学性能分析。 \?Z{hmN - 粗糙度分析。 ?j40}
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