左图:角分辨光散射测量仪ALBATROSS;右图:532 nm滤光片在不同波长下的ARS分布。
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}y]mFpF 系统简介 +d|:s
R?1idl) ALBATROSS(3D-Arrangement for Laser Based Transmittance, Reflectance and Optical Scatter measurement )是一个大型的测量样本反射光,透射光,以及散射光分布的实验室测量系统。其特点是对角度的灵敏度高,并且该系统可以测量三维空间中的散射分布。被测样本包含光学和非光学表面以及其他光学材料和光学元件。其光源系统为变频OPO激光,也可测量光散射的光谱特性。 {Q}!NkF1 @&/s~3 特征及技术参数 o6`Y7,]
UwvGr h - 可测量参数:散射光(角分辨散射ARS,双向反射分布BRDF, 1jR=h7^= - 双向透射分布BTDF,散射损耗),θ-2θ测量,反射,透射。(3D) ,+swH;=7#r - 入射光与探测器可共面或异面。 5]A$P\7~1 - 入射角,散射角(方位角和极角)以及光源的偏振态均可调整。 B<vvsp\X - 可对样品进行扫描。 *
ePDc' - 动态范围: 13个数量级。 yf0vR%,\ - 最低ARS级别:5×〖10〗^(-8) 〖 sr〗^(-1)。 xMO[3D&D - 对粗糙度的最小分辨率:< 0.1 nm 。 lo IL{2 - 波长范围:225 nm 至 1750 nm (光谱带宽<0.05 nm)。 1Xk{(G<\ - 样本规格:最大尺寸直径700mm。 wdN>KS2! - 方便操作的测量及分析软件。 M6o
xtt4 - 可分析值: 粗糙度,PSD等。 e
_SoM!; =|j*VF 2y" 应用 MbT
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/r::68_KQP 对表面,薄膜以及材料性质进行表征和分析 v%69]a-T - 产品质量检测。 Xy3g(x] - 光学性能分析。 T_5*iwI - 粗糙度分析。 tWCv]* U#UVenp@
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