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    [分享]检查微型晶片的光学系统 [复制链接]

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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2021-07-13
    成像系统>包括光栅 Qw}xGlF,  
    Ipg\9*c`  
    任务/系统说明 $Q#?`j  
    C~:b*X   
    tRkrV]K  
    vg5E/+4gp%  
    亮点 EI<"DB   
    KZi+j#7O  
    v  F]  
    Fz{o-4  
     在复杂光学系统中,包含光栅(如,非常大的数值孔径(NA)) ;g6 nHek  
     严格分析光栅衍射效率 Hc>([?P%t  
     考虑入射光的方向分布 E=A/4p6\$  
    +<H !3sW  
    说明:光源 Mi<*6j0  
    KqFmFcf|  
    X3 <SP  
    20n%o&kG]8  
    说明:光束分束器 MG;4M>H  
    3HXh6( e  
    ER/\ +Z#Z  
    T3 =)F%  
    说明:检测透镜系统 W&Y4Dq^  
    Ni&,g  
    #cR57=M}  
    :U7;M}0  
    说明:微型晶片 kg zwlKK  
    )x y9X0  
    UzXDi#Ky  
    4GEjW4E  
    说明:检测物镜 oC5gME"2  
    t!NrB X  
    %`bLmfm  
    Mf!owpW T  
    说明:探测器 XA=|]5C  
    _.u~)Q`6  
    RJQ/y3  
    (L]T*03#  
    结果:3D光线追迹(只有0级) D "JMSL4r  
    Z?5,cI[6#  
    T@2f&Un^  
    +SP! R[a  
    结果:3D光线追迹(所有级) SZNFE  
    3 t~X:  
    pIk4V/ fy  
    s9^"wN YQ  
    结果:光线追迹 T9aTEsA[U  
    i(dXA(p  
    ;""-[4C  
    +# m   
    结果:场追迹 3 ATN?V@  
    {6REfY c  
    b#bO=T$e-  
    Z?.:5#  
    结果:线性偏振光的场追迹 J$o[$G_Z  
    ,Gf+U7'K  
    $u/8Rp  
    uOy\{5s8  
    文档和技术信息 oXu~9'm$  
    "a2H8x  
    +z{x 7  
    mE)x7  
    %a%+!wX0x  
    QQ:2987619807 kW*W4{Fth  
     
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