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成像系统>包括光栅 mz|#K7: b7thu5 任务/系统说明 1MntTIT
:A~6Gk92A  s)gU vS\ G*oqhep 亮点 nUp, %z[
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 SFj:|S=v6j OMl<=;^:| 在复杂光学系统中，包含光栅（如，非常大的数值孔径(NA)） ?h7,q*rxk 严格分析光栅衍射效率 nfL -E:n= 考虑入射光的方向分布 E46+B2_~zk jrF#DDH?I 说明：光源 J )*7JX m2i'$^a#  z0yPBt1W a9+l :c@ 说明：光束分束器 #i t) .B9i`)0  L0sb[:'luz q6A"+w,N 说明：检测透镜系统 C0 RnBu *$+:Cbe-F  )BJ Z{E* V2v} F= 说明：微型晶片 Vo G`@^s >[$ j(k^  {.,-lFb\ Hzn6H4Rc 说明：检测物镜 Cyn_ UE ['`Vg=O.{  ,MmX(O0 AA&5wDMV> 说明：探测器 ?y1G,0, T@{ }!  t'7A-K=k3 c9uln 结果：3D光线追迹（只有0级） B % L dH (8XP7c] 5  ?Dr_WFNjO 8|U-{"!O ? 结果：3D光线追迹（所有级） /x2M W5H x%$as;  @hz~9AII9 [f8mh88 r 结果：光线追迹 ]:K[{3 iM +|iJQF
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K'DRX85F 文档和技术信息 H OPi2nf{ f:! b0j
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