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成像系统>包括光栅 Z3{Qtysuv3 q[K)bg{HB 任务/系统说明 D40VJ3TUc ;\.&FMi  *n5g";k| &pl;U\dc*a 亮点 oGJI3Oh
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 | 'G$}]H XWV ~6" 在复杂光学系统中，包含光栅（如，非常大的数值孔径(NA)） $=R\3:j 严格分析光栅衍射效率 o\[nGf C& 考虑入射光的方向分布 !<ucw WY, >=Veu; A 说明：光源 |lY8u~% ' ?t{-z,  m%puD 9 C%"@|01cO 说明：光束分束器 Gr ?gH AT _`58G#z  ?'r[P03 '/?&Go l- 说明：检测透镜系统 p*A//^wQ 1|CO>)*D  ;d:7\ #a| 5A:g% 说明：微型晶片 QH :i)v* |kD?^Nx  (?(ahtT4T a*`J]{3G 说明：检测物镜 u#QQCgrs -v]
0@jNe  gnt[l 0m xgVt0=q 说明：探测器 4" @yGXUb GS@ wG  ;Lx5r=<Hx mc$dR,
H0 结果：3D光线追迹（只有0级） &J z%L^ r&w>+KIt  D pAuI w7| %* 8QLI 结果：3D光线追迹（所有级） #PGExN3e 4 2~ ;/ 4  +%^D) X |as1Y$O+ 结果：光线追迹 5UqCRz<,R "[G
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