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    [分享]检查微型晶片的光学系统 [复制链接]

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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2021-07-13
    成像系统>包括光栅 ('p5:d  
    Z>#i**  
    任务/系统说明 }|5Pr(I  
    ~2khgZ  
    J`1rJ  
    D*|Bb?  
    亮点 _ZkI)o  
    K8Y=S12Ti  
    2P{Gxz<#  
    T:W4$P  
     在复杂光学系统中,包含光栅(如,非常大的数值孔径(NA)) G[q$QB+  
     严格分析光栅衍射效率 [0D .K}7|  
     考虑入射光的方向分布 WVvvI9  
    Q6I:"2u1  
    说明:光源 =+d?x 56  
    Jo23P.#<  
    R@k&SlL'`  
    G+\GaY[  
    说明:光束分束器 Alw3\_X  
    ]-QA'Lq  
    s.NGA.]$  
    a-L;*  
    说明:检测透镜系统 hODWB&b  
    y7Df_|Z  
    x5*!Wx   
    mvT(.R ..s  
    说明:微型晶片 bhlG,NTP  
    tT?cBg{  
    5iyd Z  
    j]/RC(;?  
    说明:检测物镜 K~uq,~  
    J!U}iD@occ  
    '}bgLv  
    o`N  9!M  
    说明:探测器 xAMW-eF?d  
    E\pL!c  
    c.F6~IHu7  
    !5uGd`^I  
    结果:3D光线追迹(只有0级) ) M BQuiL  
    &m:uO^-D  
    Z^MNf  
    YcK|.Mq':  
    结果:3D光线追迹(所有级) *N'p~LJ  
    U H/\  
    Ng>h"H  
    L<{i ,'M  
    结果:光线追迹 G?/DrnK:  
    qVwIo.g!  
    _Qi&J.U>  
    rFYWs6  
    结果:场追迹 /,Re "!jh  
    m<"WDU?y;  
    |3yL&"  
    m:o<XK[>  
    结果:线性偏振光的场追迹 |T)6yDL  
    Ob&<]  
    ve2u=eQ1  
    XaPV9 4  
    文档和技术信息 1 \6D '/G  
    D#JL!A%O  
    'K{Z{[s{  
    Oh6fj}eK  
    :\7X}n*&  
    QQ:2987619807 RcU}}V  
     
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