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成像系统>包括光栅 Uq/FH@E= imw,Nb 任务/系统说明 Sy()r 6n n .is+2t ?TTtGbvU t$~CLq5ad 亮点 W'lejOiw Bl[4[N
;&7dX^oH R `K1L!`3 在复杂光学系统中,包含光栅(如,非常大的数值孔径(NA)) mk.1j x?l 严格分析光栅衍射效率 ,^wjtA3j8 考虑入射光的方向分布 [QUaC3l) X6 E^5m 说明:光源 hNU$a?eVpR F^4mO| (-S\%,hO 'aV])(Wm> 说明:光束分束器 0MpZdJ YOOcHo.F ;Qn)~b~ m4\e`nl 说明:检测透镜系统 BN7]u5\7 &6="r} 0nr 5(4h J(>T&G; 说明:微型晶片 aFw \w>*^ 6&* z okm
}%#| _p*a`,tK 说明:检测物镜 @tT2o@2Y^ VEsIhjQ ?i{/iH~Sf 4yK{(!&i+ 说明:探测器 s@02?+/ WU$l@:Yo @bRKJPU9) iWGn4p' 结果:3D光线追迹(只有0级) g{6FpuA|0 l"zwH D?.H|% t1`.M$ 结果:3D光线追迹(所有级) ;{lb_du2: *3iEO> icK>| $sxRRem{? 结果:光线追迹 rSa=NpFxLu K>2M*bGcp
gp+aUK~o EvYe1Y- 结果:场追迹 4^Ke?;v 1,7
^>/~MCyM. 8|L;y[v 结果:线性偏振光的场追迹 Lm8uN? W"Tj.oCUG 5[y+X|Am ^ 0.` 1$ 文档和技术信息 :\Q#W4~p dI+Y1Vq
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