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    [分享]检查微型晶片的光学系统 [复制链接]

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    离线infotek
     
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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2021-07-13
    成像系统>包括光栅 )p+6yH  
    {-e|x&-  
    任务/系统说明 NR0fxh  
    ^@AIXBe  
    ~V!gHJ5M  
    q5ja \  
    亮点 YhFd0A?]  
    m\ (crkN  
    ycSC'R  
    Yuqt=\? #  
     在复杂光学系统中,包含光栅(如,非常大的数值孔径(NA)) }E](NvCq  
     严格分析光栅衍射效率 %Ig3udcY?  
     考虑入射光的方向分布 /4#A|;d_  
    .7M :AS>  
    说明:光源 ,e5#wz  
    Q\[2BJo/  
    2<8JY4]!]  
    hy{1Ea/T  
    说明:光束分束器 L<M H:  
    6,UW5389  
    q, XRb  
    jxNnrIA  
    说明:检测透镜系统 E [b6k&A  
    w{5v*SHl}`  
    hV7]/z!d  
    "kg;fF|  
    说明:微型晶片  hNF.  
    wDz}32wB  
    b1ma(8{{{  
    eg Zb)pP  
    说明:检测物镜 f{eMh47 NC  
    o!>h Q#h  
    /r@~"R x'  
    y?@(%PTp  
    说明:探测器 P\2UIAPa\b  
    T?V!%AqY:  
    Rt2<F-gY  
    "`&1"*  
    结果:3D光线追迹(只有0级) :o+&>z  
    TW5Pt{X= f  
    EQ> ]~  
    U>=& 2Z2?  
    结果:3D光线追迹(所有级) F>/"If#  
    xY94v  
    )=@ SA`J  
    ( !=^(Nd  
    结果:光线追迹 $PE{}`#g  
    Ir :y#  
    8JbN&C  
    3C7}V{?  
    结果:场追迹 }{( J *T  
    A4`3yy{0-  
    .1#G*A|  
    .*W_;Fo  
    结果:线性偏振光的场追迹 "D1u2>(  
    5 i;n:&Y  
    0G}]d17ho  
    9qXKHro  
    文档和技术信息 LOf)D7T  
    (D1$&  
    5w$\x+no  
    ipdGAG  
    g:]X '%Ub  
    QQ:2987619807 0JS#{EDh+  
     
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