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    [分享]检查微型晶片的光学系统 [复制链接]

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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2021-07-13
    成像系统>包括光栅 'Rg6JW\  
    'q:t48&  
    任务/系统说明 -? |-ux  
    ?8O %k<?  
    #,4CeD|(D,  
    p!wx10b  
    亮点 {@7{!I|eD  
    q#n0!5Lv2  
    K\2UwX  
    .e,(}_[[<  
     在复杂光学系统中,包含光栅(如,非常大的数值孔径(NA)) y_F{C 9KE  
     严格分析光栅衍射效率 :qQpBr$  
     考虑入射光的方向分布 NPFrn[M$  
    f L}3I(VK  
    说明:光源 *co=<g]4KY  
    XC D&Im  
    pFZ2(b&  
    7Y?=ijXXx\  
    说明:光束分束器 JTw3uM, e  
    .-[d6Pnw  
    rpZ^R}B%*v  
    > kLUQ%zE@  
    说明:检测透镜系统 5^}"Tn4I  
    l?AWG&  
    !|1GraiS  
    k^vsQ'TD  
    说明:微型晶片 iLyJ7zby  
    1syI%I1  
    <1L?Xhoc6  
    aUBGp: (  
    说明:检测物镜 r@XH=[:  
    DAPbFY9  
    )l|/lj  
    )0Lno|l  
    说明:探测器 z TM1 e  
    %nmD>QCe  
    ZMI!Sl  
    S5W*,?  
    结果:3D光线追迹(只有0级) heAbxs  
    <H,q( :pM  
    )G a%Eg9  
    "|\G[xLOaW  
    结果:3D光线追迹(所有级) xjplJ'jB  
    is2OJ,  
    ,Qd;t  
    dC F!.  
    结果:光线追迹 :ziV3jRM  
    $Eo)i  
    7LQLeQvB  
    W 6d[v/+K+  
    结果:场追迹 TxN'[G  
    7<ZP(I5X  
    YCWt%a*I'  
    NJVAvq2E.  
    结果:线性偏振光的场追迹 SXA`o<Ma  
    Td7=La0   
    }=+J&cR  
    " wB~*,Ny  
    文档和技术信息 CPw=?<db  
    aMxg6\8  
    Ed(6%kd  
    Gs2| #*6  
    )o:%Zrk  
    QQ:2987619807 @Yv.HhO9  
     
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