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    [分享]检查微型晶片的光学系统 [复制链接]

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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2021-07-13
    成像系统>包括光栅 !A"`jc~x:  
    e&C(IEZ/N;  
    任务/系统说明 v^aARIg  
    G4Zs(:a  
    &(fB+VNrOH  
    `0rEV _$  
    亮点 G 1{F_  
    {4Q4aL(  
    %d+:0.+`n  
    D<[4}og&]  
     在复杂光学系统中,包含光栅(如,非常大的数值孔径(NA)) zh$[UdY6  
     严格分析光栅衍射效率 R>"E Xq  
     考虑入射光的方向分布 A/W-'%+`  
    ]@op  
    说明:光源 .`!|^h%0  
    k--.g(T  
    q P@4KH} e  
    NIDK:q dR  
    说明:光束分束器 uG\ +`[-{0  
    /xjHzva^ w  
    vrsO]ctI  
    t_ &FK A  
    说明:检测透镜系统 XljiK8q;%  
    ,cs`6Bd4  
    J<:qzwh  
    wO!k|7:Z  
    说明:微型晶片 yzhr"5_  
    :N#gNtC)b  
    ZoB?F  
    xW{_c[oA  
    说明:检测物镜 H~+D2A  
    R|h9ilc  
    >Qc0g(w  
    $kJvPwRO  
    说明:探测器 E.?|L-fy  
    U]dz_%CRP  
    mq~7v1kw  
    bL+Hw6;  
    结果:3D光线追迹(只有0级) j_SRCm~:  
    pi? q<p%  
    6a PZW  
    wH[@#UP3l  
    结果:3D光线追迹(所有级) 7|3Z+#|T  
    ecA[  
    z6bTcs"7h  
    Oh<[8S7]C  
    结果:光线追迹 HE+y1f]  
    ghJ81  
    2EsKC)  
    gNl@T  
    结果:场追迹 0 8vA;6zt  
    4~4PZ  
    'OSZ'F3PV  
    $k*E^~qT  
    结果:线性偏振光的场追迹 L #p-AK  
    G@h6>O  
    DM{ 7x77  
    <iiu%   
    文档和技术信息 QvK/31*QG  
    qHg\n)R"x!  
    o`\l&jUNe  
    V;ZyAp  
    /<s'@!W  
    QQ:2987619807 7Q} P}9n  
     
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