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    [分享]检查微型晶片的光学系统 [复制链接]

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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2021-07-13
    成像系统>包括光栅 Uq/FH@E=  
    imw,Nb  
    任务/系统说明 Sy()r 6n  
    n.is+2t  
    ?TTtGbvU  
    t$~CLq5ad  
    亮点 W'lejOiw  
    Bl[4[N  
    ;&7dX^oH  
    R `K1L!`3  
     在复杂光学系统中,包含光栅(如,非常大的数值孔径(NA)) mk.1jx ?l  
     严格分析光栅衍射效率 ,^wjtA 3j8  
     考虑入射光的方向分布 [QUaC3l)  
    X6 E^5m  
    说明:光源 hNU$a?eVpR  
    F^4mO|  
    (-S\%,hO  
    'aV])(Wm>  
    说明:光束分束器 0MpZdJ  
    YOOcHo.F  
    ;Qn)~b~  
    m4\e `nl  
    说明:检测透镜系统 BN7]u5\7  
    & 6="r}  
    0nr5(4h  
    J(>T&G;  
    说明:微型晶片 aFw \ w>*^  
    6&* z  
    okm }%#|  
    _p*a`,tK  
    说明:检测物镜 @tT2o@2Y^  
    VEsIhjQ  
    ?i{/iH~Sf  
    4yK{(!&i+  
    说明:探测器 s@ 02 ?+/  
    WU$l@:Yo  
    @bRKJPU9)  
    iWGn4p'  
    结果:3D光线追迹(只有0级) g{6FpuA|0  
    l"zwH  
    D?.H|%  
    t1`.M$  
    结果:3D光线追迹(所有级) ;{lb_du2:  
    *3iEO>  
    icK>|   
    $sxRRe m{?  
    结果:光线追迹 rSa=NpFxLu  
    K>2M*bGc p  
    gp+aUK~o  
    Ev Ye1Y-  
    结果:场追迹 4^Ke? ;v  
    1,7  
    ^>/~MCyM.  
    8|L;y[v  
    结果:线性偏振光的场追迹 Lm8uN?  
    W" Tj.oCUG  
    5[y+X|Am  
    ^ 0.`1$  
    文档和技术信息 :\Q#W4~p  
    dI+Y1Vq  
    LzTdi%u$0|  
    i@`qam   
     "F=ta  
    QQ:2987619807 }U'VVPh _  
     
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