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    [分享]检查微型晶片的光学系统 [复制链接]

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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2021-07-13
    成像系统>包括光栅 CtTG`)"|  
    %E3|b6k\  
    任务/系统说明 T#DJQ"$  
    AmM^&  
    aAh")B2  
    ;-~ Wfh+  
    亮点 w1KLQd:yq  
    :iD( [V  
    sycN  
    Q%o ]&Hdn  
     在复杂光学系统中,包含光栅(如,非常大的数值孔径(NA)) sEt5!&  
     严格分析光栅衍射效率 lj/ ?P9  
     考虑入射光的方向分布 GC?\GV  
    #.$p7]  
    说明:光源 -Mb nYs)  
    !`hiXDk*2  
    ,}2M'DSWa  
    w}zl=w{G  
    说明:光束分束器 d!{,[8&  
    oJ ,t]e*q=  
    y&-wb'==p  
    A7>0Pn%D3  
    说明:检测透镜系统 H^_[nL  
    @aN<nd`q)  
    .n[!3X|d  
    , ?WTX  
    说明:微型晶片 [?r`8K2!,  
    $xNM^O  
    :/c=."z.  
    {-2I^Ym 5i  
    说明:检测物镜 (/14)"Sk  
    |lm   
    P#\L6EO.  
    #WwQ^6ESc  
    说明:探测器 |!euty ::  
    HUuL3lYka  
    5&D)W>{d  
    rY4{,4V  
    结果:3D光线追迹(只有0级) cx_FtD  
    v~[=|_{  
    x[U/ 8#f&  
    f;!1=/5u-  
    结果:3D光线追迹(所有级) _Isju S  
    /)ps_gM  
    ~Os"dAgZFY  
    FU kO$jnO  
    结果:光线追迹 aFjcyD  
    1Y6<i8  
    |&`NB|  
    <f %JZ4p*  
    结果:场追迹 vz #VW  
    }26?bd@e`  
    f]L`^WU  
    i 2hP4<;h  
    结果:线性偏振光的场追迹 89*CoQ  
    h}k&#X)7  
    c"Kl@ [1\~  
    }-?_c#G 3  
    文档和技术信息 X<dQq`kZ  
    c?A(C#~ z  
    C&YJvMu  
    j|gQe .,1  
    S 1sNVW  
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