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    [分享]检查微型晶片的光学系统 [复制链接]

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    只看楼主 正序阅读 楼主  发表于: 2021-07-13
    成像系统>包括光栅 I}o} # OJ  
    qD\9h`a  
    任务/系统说明 zSD_t  
    ?Y -;781  
    `pCy:J?d>l  
    [jlum>K  
    亮点 mF~]P8  
    "0Z /|&  
    gCPH>8JwS0  
    Y DHP-0?  
     在复杂光学系统中,包含光栅(如,非常大的数值孔径(NA)) #oa>Z.?_V  
     严格分析光栅衍射效率 pO7OP"q1  
     考虑入射光的方向分布 'Ca;gi !U  
    CUG"2K9  
    说明:光源 y;fF|t<y  
    XC~"T6F  
    :Ch XzZ  
    ,D }Ka?  
    说明:光束分束器 0\Jeyb2dl  
    '6){~ee S  
    dL+yd0 b*  
    G8__6v~  
    说明:检测透镜系统 x+za6e_k"  
    /1{:uh$  
    MK/8<i<.  
    A'~mJO/   
    说明:微型晶片 [kN_b<Pc,  
    H<fi,"X^  
    2bw) , W  
    Pf%I6bVN9  
    说明:检测物镜 *tRsm"}  
    \MmOI<Hd-  
    zb4@U=?w}  
    `W+-0F@Y?@  
    说明:探测器 _oG%bNM  
    oxeu%wj_  
    3V^5 4_  
    N;-%:nC  
    结果:3D光线追迹(只有0级) ]9w8[T:O  
    p9 ,[kb  
    YRBJ(v"9  
    '-N 5F  
    结果:3D光线追迹(所有级) nu1XT 1q1  
    aj1,h)P  
    WFk%nO/  
    0nD?X+u  
    结果:光线追迹 -?1R l:rM  
    ST[TKL<]  
    ]v>[r?X#V  
    T!9AEG  
    结果:场追迹 5HHf3E [  
    #*y.C[^5{  
    =Gzs+6A8  
    ~&ns?z>x  
    结果:线性偏振光的场追迹 $n!5JS@40  
    hPz=Ec<zW  
    EyU6^  
    sk 8DW  
    文档和技术信息 )h0>e9z>Y  
    d&|5Rk ~  
    F[jqJzCz  
    `\"<%CCe  
    K$}K2w  
    QQ:2987619807 QbSLSMoL  
     
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