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    [分享]检查微型晶片的光学系统 [复制链接]

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    只看楼主 正序阅读 楼主  发表于: 2021-07-13
    成像系统>包括光栅 gcl5jB5)>  
    9-fLz?J  
    任务/系统说明 NgP&.39U  
    7_inJ$  
    woK&q7Vn  
    G$F<$  
    亮点 q1d}{DU  
    ^LoUi1j  
    X:nN0p #  
    ;'#8tGv=  
     在复杂光学系统中,包含光栅(如,非常大的数值孔径(NA)) w=T\3(%j  
     严格分析光栅衍射效率 %D\[*  
     考虑入射光的方向分布 7%x[q}  
    fof TP1  
    说明:光源 z`f($t[  
    r{L> F]Tw  
    %N>%!m  
    #Y a4ps_  
    说明:光束分束器 a%/9v"}  
    42$VhdG  
    H4&lb}  
    )<h*eS{  
    说明:检测透镜系统 3z{?_;bR  
    A>o *t=5  
    ) l:[^$=,  
    eg;~zv  
    说明:微型晶片 \/zq7j  
    OR~8sU  
    l5!|I:/*;  
    | *2w5iR  
    说明:检测物镜 oAODp!_c  
    FWrX3i  
    K* LlW@  
    <Tzrj1"Q3  
    说明:探测器 N8F~8lTi  
    96( v  
    e>+i>/Fn{h  
    `ZYoA t]C~  
    结果:3D光线追迹(只有0级) 7)`nD<j 5  
    lb4Pcd j  
    =.Pw`.  
    |"ls\ 7  
    结果:3D光线追迹(所有级) .,<1%-R34q  
    c|e~BQdRw  
    +" .X )avF  
    {FeDvhv  
    结果:光线追迹 4&<oFW\r  
    ype$ c  
    LDgrR[  
    89pEfl j2  
    结果:场追迹 LM~[@_j  
    qeVfE_<  
    jS]ru-5.  
    ]b2pG'  
    结果:线性偏振光的场追迹 j4gF;-m<  
    k]F[>26k  
     VA6}  
    P+@/O  
    文档和技术信息 ? uzRhC_)!  
    AifWf2$S  
    _hAcJ{Y  
    e'6/` Evqz  
    'N (:@]4N  
    QQ:2987619807 Q{sH3Y#l  
     
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