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    [分享]检查微型晶片的光学系统 [复制链接]

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    只看楼主 正序阅读 楼主  发表于: 2021-07-13
    成像系统>包括光栅 0?>dCu\  
    "1, pHR-+R  
    任务/系统说明 *}8t{ F@k  
    4 {9B9={  
    }- Wa`t7U  
    S]E.KLR?[;  
    亮点 IT$25ZF  
    E\C9|1)  
    f|sFlUu&  
    $[yFsA6  
     在复杂光学系统中,包含光栅(如,非常大的数值孔径(NA)) "le>_Ze_>|  
     严格分析光栅衍射效率 ;`6^6p\p  
     考虑入射光的方向分布 0 Us5  
    RVeEkv[qp  
    说明:光源 Ge<nxl<Bd  
    vv=VRhwF  
    GaSPJt   
     @Pt="*g  
    说明:光束分束器 H@l}WihW  
    rl0<Ls  
    'e6WDC1Am(  
    "Y\_TtY  
    说明:检测透镜系统 3d|9t9v  
    :kGU,>BN  
    HbW0wuI  
    AFAAuFE"  
    说明:微型晶片 &iV,W4  
    p}cw{  
    RSo& (Uv  
    ^yOZArc'r  
    说明:检测物镜 Q1+dCCY#F  
    ]KmO$4  
    #t+d iR  
    f!JS= N?3  
    说明:探测器 +>PX&F  
    l'eyq}&  
    !/wtYI-`  
    IC7M$  
    结果:3D光线追迹(只有0级) k1!@^A  
    %Z1N;g0  
    )Eo)t>  
    ZMq6/G*fD  
    结果:3D光线追迹(所有级) 4#l o$#  
    vuYSVI2=H  
    eow'K 821A  
    6AhM=C  
    结果:光线追迹 <%" b9T`'  
    d m`E!R_  
    r3PT1'P?L  
    #Q /Arq  
    结果:场追迹 xKho1Z  
    7"C$pm6  
    tdu$pC6  
    j?+X\PtQ  
    结果:线性偏振光的场追迹 HZ:6zH   
    L'kmNVvYN  
    H/37)&$E(  
    r! MWbFw|X  
    文档和技术信息 >=-(UA  
    J7g8D{4  
    Dbz3;t  
    KGFv"u{  
     .P"D  
    QQ:2987619807 >o=-$gz`  
     
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