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成像系统>包括光栅 gcl5jB5)> 9-fLz?J 任务/系统说明 NgP&.39U 7_inJ$ woK&q 7Vn G$F<$ 亮点 q1d}{DU ^LoUi1j
X:nN0p # ;'#8tGv= 在复杂光学系统中,包含光栅(如,非常大的数值孔径(NA)) w=T\3(%j 严格分析光栅衍射效率 %D\[* 考虑入射光的方向分布 7%x[q} fof TP1 说明:光源 z`f($t[ r{L>
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a4ps_ 说明:光束分束器 a%/9v"} 42$VhdG H4&lb} )<h*eS{ 说明:检测透镜系统 3z{?_;bR A>o*t=5 ) l:[^$=, eg;~zv 说明:微型晶片 \/zq7j OR~8sU l5!|I:/*; |
*2w5iR 说明:检测物镜 oAODp!_c FWrX3i K*LlW@ <Tzrj1"Q3 说明:探测器 N8F~8lTi 96( v e>+i>/Fn{h `ZYoA
t]C~ 结果:3D光线追迹(只有0级) 7)`nD<j5 lb4Pcdj =.Pw`. |"ls\ 7 结果:3D光线追迹(所有级) .,<1%-R34q c|e~BQdRw +"
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VA6} P+@/O 文档和技术信息 ?uzRhC_)! AifWf2$S
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