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成像系统>包括光栅 .^[{~#Pc* A04E <nr 任务/系统说明 Z
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zd{\XW aHSl_[ 在复杂光学系统中,包含光栅(如,非常大的数值孔径(NA)) N=TDywRI 严格分析光栅衍射效率 s)7sgP 考虑入射光的方向分布 Y86mg7[U/ Rj])c^ZA'* 说明:光源 70T{tB k '-5&Q m4'x>Z }x?2 txuu 说明:光束分束器 #;s5=aH O|Y~^:ny Jm]P,jaLc G!5~`v 说明:检测透镜系统 xtX`3=s nb #)$l 1p
COLC%1 '2xfU 说明:微型晶片 Kb*X2#;* Ag0)> PD^ {7LNQGiJ XjU/7Q 说明:检测物镜 K]C@seF` "\l#q$1h yFjjpEpnFt ^(T_rEp 说明:探测器 #;F*rJ[XY ,O1/|Y L IRdWGQ4 6w4}4i 结果:3D光线追迹(只有0级) e>!=)6[* E}8wnrxf ExZ|_7^< ?j@(1",=& 结果:3D光线追迹(所有级) w ;xbQZ|+ @ACq:+/Qc ,w$:=;i q?bKh*48 结果:光线追迹 V D.T=( whh#J
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