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    [分享]检查微型晶片的光学系统 [复制链接]

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    只看楼主 正序阅读 楼主  发表于: 2021-07-13
    成像系统>包括光栅 .^[{~#Pc*  
    A04E <nr  
    任务/系统说明 Z WhV"]w&  
    <;zcz[~  
    >8w=Vlp  
    [xl+/F7  
    亮点 |OO2>(Fj  
    ko`KAU<T_  
    zd {\XW  
    aHSl_[  
     在复杂光学系统中,包含光栅(如,非常大的数值孔径(NA)) N=TDywRI  
     严格分析光栅衍射效率 s )7sgP  
     考虑入射光的方向分布 Y86 mg7[U/  
    Rj])c^ZA'*  
    说明:光源 70T{tB  
    k'-5&Q  
    m4'x>Z  
    }x?2txuu  
    说明:光束分束器 #;s5=aH  
    O|Y~^:ny  
    Jm]P,jaLc  
    G!5~`v  
    说明:检测透镜系统 xt X`3=s  
    nb #)$l  
    1p COLC%1  
    '2xfU  
    说明:微型晶片 Kb*X2#;*  
    Ag0)> PD^  
    {7LNQGiJ  
    XjU/7Q  
    说明:检测物镜 K]C@seF`  
    "\l#q$1h  
    yFjjpEpnFt  
    ^(T_rEp  
    说明:探测器 #;F*rJ[XY  
    ,O 1/|Y  
    L IRdWGQ4  
    6w4}4i  
    结果:3D光线追迹(只有0级) e>!=)6[*  
    E}8wnrxf  
    ExZ|_7^<  
    ?j@(1",=&  
    结果:3D光线追迹(所有级) w ;xbQZ|+  
    @ACq:+/Q c  
    ,w$:=;i  
    q?bKh*48  
    结果:光线追迹 V D.T=(  
    whh#J (  
    D;+sStZK3  
    %O\zYtQR  
    结果:场追迹 +9R@cUr  
    T!Z).PA#  
    HCZVvsG  
    %SN"<O!  
    结果:线性偏振光的场追迹 W?R@ eq.9  
    J @^Ypq  
    ((mR' A|`  
    WADAp\&  
    文档和技术信息 ^H~g7&f9?N  
    7L$\S[E  
    f7oJ6'K  
    l$g \t]  
    V&Q_i E  
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