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    [分享]检查微型晶片的光学系统 [复制链接]

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    只看楼主 正序阅读 楼主  发表于: 2021-07-13
    成像系统>包括光栅 pk^K:Xs}  
    P,xKZ{(  
    任务/系统说明 *]AdUEV?  
    ;LG#.~f  
    JBi*P.79^  
    }\%Fi/6Z{  
    亮点 O!P H&;H  
    `V`lo,"\  
    PK{acen  
    S<VSn}vn  
     在复杂光学系统中,包含光栅(如,非常大的数值孔径(NA)) |.F$G<  
     严格分析光栅衍射效率 =h0,?]z  
     考虑入射光的方向分布 n;@bLJ$W  
    0 vtt"f)Y[  
    说明:光源 kS_(wp A  
    :pGaFWkvO  
    *VFf.aPwYi  
    znxnL,-  
    说明:光束分束器 *1v[kWa?  
    )2bvQy8K  
    |$vX<. S  
    mS^tX i5hg  
    说明:检测透镜系统 ;A]@4*q  
    VHCK2}ps  
    ?AJKBW^  
    2 lj'"nm  
    说明:微型晶片 .!f$ \1l  
    Y8m1M-#w  
    Y~L2  
    *h'=3w:G  
    说明:检测物镜 E%r k[wI  
    JT3-AAi[Z  
    In18_ bc  
    !a7[ 8&  
    说明:探测器 sE:M@`2L  
    77\] B  
    P(+&OoY2  
    2w["aVr =  
    结果:3D光线追迹(只有0级) 0`X]o'RxS  
    &Xf^Iu  
    XZ^^%*ew  
    "uaMk}[ <!  
    结果:3D光线追迹(所有级) H."EUcE{  
    -Z 4e.ay5  
    -_1>C\h"  
    bgK'{_o-  
    结果:光线追迹 /atW8 `&  
    Dpl A?  
    gP0LCK>  
    n ~shK<!C  
    结果:场追迹 yXHUJgjl/  
    Dey<OE&  
    cc~O&?)i  
    m 8aITd8  
    结果:线性偏振光的场追迹 2QJ{a46}  
    v":x4!kdX  
    1Cgso`  
    _V7r1fY:  
    文档和技术信息 3E!|<q$ z  
    C~o7X^[R\  
    C -\S/yd  
    zi]\<?\X  
    BYVY)<v/  
    QQ:2987619807 D/vOs[X o,  
     
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