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    [分享]检查微型晶片的光学系统 [复制链接]

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    只看楼主 正序阅读 楼主  发表于: 2021-07-13
    成像系统>包括光栅 pO]8 dE0  
    >{nH v)  
    任务/系统说明 T$P-<s  
     prrT:Y  
    UQPU"F7.  
    Ej"u1F14J  
    亮点 jatr/  
    [>Fm [5x  
    ].mqxf  
    N'?u1P4G  
     在复杂光学系统中,包含光栅(如,非常大的数值孔径(NA)) .<YcSG  
     严格分析光栅衍射效率 Ch5+N6c^  
     考虑入射光的方向分布 f<=Fe:1.  
    BC77<R!E)  
    说明:光源 J=H)JH3  
    ?obm7<  
    :_HF j.JW  
    i zwUS!5e  
    说明:光束分束器 z7T0u.4Ss  
    r\qz5G *6  
    N$#\Xdo  
    Dl,`\b@Fw3  
    说明:检测透镜系统 uQ3[Jz`y  
    5-vo0:hk  
    1@qgF  
    {_>em*Vb  
    说明:微型晶片 "rNL `P7  
    E^CiOTN  
    tSHFm-q`  
    q.V-LXM  
    说明:检测物镜 5zB~4u  
    l,`!rF_  
    ~ ?^/u8  
    lFq{O;q7}  
    说明:探测器 (S /F)?  
    QG3&p<  
    go'j/4Tp  
    K7(MD1tk  
    结果:3D光线追迹(只有0级) 7~UR!T9  
    h{'t5&yY  
    Qa4MZj ;$K  
    ~Xv=9@,h  
    结果:3D光线追迹(所有级) bS!\#f%9"  
    5V5w:U>_z  
    Zv!{{XO2;  
    *hY2.t; X  
    结果:光线追迹 4N>>+]MWc  
    E"PcrWB&  
    diT=x52  
    s0"e'  
    结果:场追迹 '%;\YD9  
    $l[Rh1z`;+  
    UKBJ_r  
    ~Y!kB:D5;~  
    结果:线性偏振光的场追迹 04@cLDX8uB  
    n"D ?I  
    \2e0|)aF6  
    ,xsH|xW  
    文档和技术信息 c j$6  
    9S7A!AKE  
    j`>^1Q  
    'MxSd(T =  
    aX6}6zubr  
    QQ:2987619807 7jG(<!,  
     
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