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    [分享]检查微型晶片的光学系统 [复制链接]

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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2021-07-13
    成像系统>包括光栅 A{\7HV5  
    L7_Mg{  
    任务/系统说明 qfvd( w  
    (qlI QC  
    Tz+2g&+  
    Pk[f_%0  
    亮点 k!t5>kPSQ  
    B o.x  
    !tv3.:eT  
    +|r;t  
     在复杂光学系统中,包含光栅(如,非常大的数值孔径(NA)) [nn/a?Z4S  
     严格分析光栅衍射效率 zA9N<0[]o  
     考虑入射光的方向分布 |OF<=GGO+  
    2V/ A%  
    说明:光源 ^v*ajy.>  
    -aLBj?N c[  
    a+)Yk8%KY  
    %>Z=#1h/a  
    说明:光束分束器 mLPQ5`_  
    ?*K;+@EH  
    2W|4  
    ii2X7Q  
    说明:检测透镜系统 9 }|Bs=q  
    !;pmql  
    LPb43  
     /8Bh  
    说明:微型晶片 JxiLjvIq  
    8\!0yM#yK  
    `5<  
    ktU98Bk]  
    说明:检测物镜 Otj=vGr0  
    {a `kPfP  
    KArf:d  
    g~h`wv'  
    说明:探测器 pwT|T;j*  
    (3 8.s:-  
    y mY,*Rb  
    2U2=ja9:Y  
    结果:3D光线追迹(只有0级) 5b0Ipg  
    0?BT*  
    %FT F  
    K7M7T5<  
    结果:3D光线追迹(所有级) lEQ 63)Z  
    u Zz^>* b  
    "^;'.~@e8  
     ?Vbe  
    结果:光线追迹 uh\I'  
    QKCc5  
    Ik>sd@X*|  
    ,COSpq]6  
    结果:场追迹 SLSJn))@!  
    .MhZ=sn  
    ,aV89"}  
    L; Nz\sJ  
    结果:线性偏振光的场追迹 , =IbZ  
    QL-((dZ<  
     v#IW;Rj8  
    $7jJV(B  
    文档和技术信息 yi"V'Us  
    Z?oFee!4  
    cm%QV?  
    t2BkQ8vr  
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