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成像系统>包括光栅 6(4d3}F ^V96lKt/ 任务/系统说明 ty pbwfM] zhFm2 fPPP| |b.xG_-s1 亮点 ^ W?cuJ8 NM![WvtjW
?&~q^t?u Kob,}NgqZ 在复杂光学系统中,包含光栅(如,非常大的数值孔径(NA)) sTlel& 严格分析光栅衍射效率 -YKy"
考虑入射光的方向分布 ~qGW94 oR=i5lAU 说明:光源 wL
4Y%g ZqVbNIY }>u `8'2v u%)gnj_ 说明:光束分束器 wLXJ?iy3 {.{Wl,|7 e:9EP, NSB6 2 说明:检测透镜系统 PLc5m5 f;zNNx<
; 7D#y bhpku=ov 说明:微型晶片 CPP~,E_ cZ?QI6|[ =xI'|% lZcNio 说明:检测物镜 vv @m{,7#Y -y+>^45 "+"=iwEAz ilL0=[2 说明:探测器 FI$:R x.?5-3|d$
|/*Pimk Mn.,?IF`K 结果:3D光线追迹(只有0级) Yv;s3>r
Nujnm$!,Q 5G*cAlU /9w>:i81 结果:3D光线追迹(所有级) *Y m?gCig 8vY-bm,e az(<<2= ~f1g" 结果:光线追迹 %t9C 'x!\pE-
x%G3L\5 9oWU]A\k> 结果:场追迹 |W">&Rb<t# 'YNaLZ20
XIHN6aQ{X :gh[BeqQ) 结果:线性偏振光的场追迹 X
W)TI IHl q27O P#,u9EIJ eU?hin@X 文档和技术信息 Jg6Lr~!i 1uw#;3<L
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