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成像系统>包括光栅 6$H`wDh#(& RW<4", 任务/系统说明 UMK9[Iy$<M Bc'Mj=>;  PlwM3 lrj i*T
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 ~ ^fb`f+% tY#Zl 54~{ 在复杂光学系统中，包含光栅（如，非常大的数值孔径(NA)） y qP=6 严格分析光栅衍射效率 lWUQkS
考虑入射光的方向分布 _ .I58r =JxEM7r 说明：光源 G7r .Jm^q $Xqc'4YOZ  X(Z(cY( lcVG<*gf- 说明：光束分束器 9I''$DV f ~6+>2|wIS  {4)d i9T<(sdK+ 说明：检测透镜系统 {e0(M*u $Z8riVJ7j-  ^UFNds'q .9UrWBW\I 说明：微型晶片 gu&W:FY a q#F  #+$ PD`j 3EE_ "}H> 说明：检测物镜 e7plL^^` FRXaPod  w}e_ 17A D$E#:[ 说明：探测器 Zqb*-1Qw"* MeAY\V%G=o  q(Ow:3&
qq@]xdl 结果：3D光线追迹（只有0级） &>G8DvfJ9 9_ ~9?5PU  i(V n'%cO]nSx 结果：3D光线追迹（所有级） 9 WV8ZP hf; S#.k  sejT] rJ kYR ^ 结果：光线追迹 ,$RXN8x1 (0rcLNk{|
 8<@X= Z C 'S_M@I= 结果：场追迹 ;Zn&Nc7 EYi {~
 y. (m# &T U /xzl4m6 结果：线性偏振光的场追迹 :Y4Sdj Mky^ X,r  K cW 5
fuWAw^& 文档和技术信息 u`Kc\B Sn S"`{ JCW$
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