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成像系统>包括光栅 A{\7HV 5 L 7_Mg{ 任务/系统说明 qfvd(w (qlIQC Tz+2g&+ Pk[f_%0 亮点 k!t5>kPSQ Bo.x
!tv3.:eT +|r;t 在复杂光学系统中,包含光栅(如,非常大的数值孔径(NA)) [nn/a?Z4S 严格分析光栅衍射效率 zA9N<0[]o 考虑入射光的方向分布 |OF<=GGO+ 2V/A% 说明:光源 ^v*ajy.> -aLBj?N c[ a+)Yk8%KY %>Z=#1h/a 说明:光束分束器 m LPQ5`_ ?*K;+@EH 2W|4 ii2X7Q 说明:检测透镜系统 9 }|Bs=q !;pmql LPb43 /8Bh 说明:微型晶片 JxiLjvIq 8\!0yM#yK `5< ktU98Bk] 说明:检测物镜 Otj=vGr0 {a `kPfP KArf:d g~h`wv' 说明:探测器 pwT|T;j* (3 8.s:- ymY,*Rb 2U2=ja9:Y 结果:3D光线追迹(只有0级) 5b0Ipg 0?BT* %FT F K7M7T5< 结果:3D光线追迹(所有级) lEQ63)Z uZz^>*b "^;'.~@e8
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