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成像系统>包括光栅 l;F3kA gKn"e|A 任务/系统说明 JX`+b OAR#* ~q  I GOqV>; s?7g3H5#0k 亮点 IbF[nQ
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 _{C:aIl[2 ixE72bX 在复杂光学系统中，包含光栅（如，非常大的数值孔径(NA)） /i"L@t)\t 严格分析光栅衍射效率 Y!Wz7
C 考虑入射光的方向分布 oCXBek?\ 9Ze TS~i 说明：光源 7M=`Z{=9 ]'EtLFv)  W;eHDQ| Y
u8a8p| 说明：光束分束器 T&fqn!i X GbtmmQG  Fp'k{ ?8) _, 说明：检测透镜系统 xQ-]Iw5 oV&AJ=|\  7=aF-;X3jj K8ecSs}}J 说明：微型晶片 .FtW $Y~y 5BN!uUk m+  < A; R%\V aP>%iRk'J! 说明：检测物镜 -;Y*;x e WIa4!\Ky!  ^Z$%OM, )k.;.7dXe 说明：探测器 %J5zfNe)& KtG|m'\D  nNSq6 Cj \ /xWsbG\ 结果：3D光线追迹（只有0级） Pe EC|&x Pe6MDWR  U^-:qT;CX 4@&8jZ)a 结果：3D光线追迹（所有级） E=_ M=5] 1
`hj]@.]  jSsbLa@ CE=&ZHt9 结果：光线追迹 }S\ \"SBC -R?~Yysd7K
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