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    [分享]检查微型晶片的光学系统 [复制链接]

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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2021-07-13
    成像系统>包括光栅 %;_MGae  
    ?}0,o.  
    任务/系统说明 Ie_wHcM<  
    t!XwW$@  
    WLT"ji0w2  
    #4PN"o@  
    亮点 WMdg1J+~  
    }j%5t ~Qa  
    j_AACq {.  
    $I=~S[p  
     在复杂光学系统中,包含光栅(如,非常大的数值孔径(NA)) e= AKD#  
     严格分析光栅衍射效率 fex@,I&  
     考虑入射光的方向分布 YWLj?+  
     @5FQX  
    说明:光源 >Ry01G]_/h  
    ?  t|[?  
    \dVOwr  
    CrLrw T  
    说明:光束分束器 HtFDlvdy]  
    .]^?<bG  
    s_Sk0}e  
    icgfB-1|i  
    说明:检测透镜系统 uFE)17E  
    se)TzI^]b@  
    UNYqft4  
    d6O[ @CyP  
    说明:微型晶片 D~m*!w*  
    @]j1:PN-  
    { FkF  
    p{_ " bB  
    说明:检测物镜 :X=hQ:>P  
    Ac@VGT:9  
    7dWS  
    K0~rN.C!0  
    说明:探测器 Hs8>anVo[  
    j%kncGS  
    TOt dUO  
    By |4 m  
    结果:3D光线追迹(只有0级) 2G7Wi!J  
    @{Q4^'K"  
    /: "1Z]@  
    <I?Zk80  
    结果:3D光线追迹(所有级) IxU/?Zm  
    )7F/O3Tq  
    dV_G1'  
    W\3X=@|u)  
    结果:光线追迹 sC'` ~}C  
    lxx2H1([  
    FPz9N@M%Q  
    $4LzcwG  
    结果:场追迹 C dn J&N{  
    /v{I  
    pBHRa?Y5  
    .('SW\u-  
    结果:线性偏振光的场追迹 K- v#.e4  
    B\~}3!j  
    vh^VxS  
    ^#pEPVkY  
    文档和技术信息 y[;>#j$  
    Q ,g\  
    c 9Mz]1@f  
    A.SvA Yn  
    ?<!|  
    QQ:2987619807 BPrt'Nc  
     
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