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    [分享]检查微型晶片的光学系统 [复制链接]

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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2021-07-13
    成像系统>包括光栅 5R)[Ou.  
    \_?yzgf  
    任务/系统说明 =#jTo|~u4o  
    )G mb? !/^  
    !eV^Ah>PZ  
    V@Ax}<$A  
    亮点 _@7(g(pY 3  
    4^0\dq  
    <Nvlk\LQ  
    0,bt^a  
     在复杂光学系统中,包含光栅(如,非常大的数值孔径(NA)) f]hBPkZ6  
     严格分析光栅衍射效率 `Y0fst<,  
     考虑入射光的方向分布 )eVzSj>MT  
    <. ezw4ju  
    说明:光源 makaI0M  
    n<=y"*  
    r}Ltv?4  
    =P 1RdyP  
    说明:光束分束器  B$@1QG  
    \MF3CK@/  
    !'+\]eA  
    6Q?BwD+>  
    说明:检测透镜系统 1<;\6sg  
    j )<;g(  
    QziN]  
    ^tQPJ  
    说明:微型晶片 K3j_C` Se  
    C3]\$  
    o7m99(  
    tX+0 GLz  
    说明:检测物镜 2*N&q|ED  
    /j`i/Ha1  
    !."Izz/  
    zw}@nqp   
    说明:探测器 u}Lc|_ea`  
    b0!*mrF]6  
    +oE7~64LL  
    ~JAH-R  
    结果:3D光线追迹(只有0级) Q@PJ)fwN  
    xhw8#  
    f+Pg1Q0zI  
    =ZxW8 DK  
    结果:3D光线追迹(所有级) 0f_66`  
    w:~nw;.T  
    n ;Ql=4  
    :!r9 =N9  
    结果:光线追迹 7qCJ]%)b6  
    &*Q|d*CP  
    %i;r]z-  
    >xhd[  
    结果:场追迹 67Af} >Q  
    QCZ,K" y  
    E geG,/-`  
    Y\ #.EVz  
    结果:线性偏振光的场追迹 2hjre3"?  
    hY\Eh.  
    Jnh;;<  
    ujI 3tsl  
    文档和技术信息 6i*ArGA   
    Co{MIuL  
    x!Z:K5%O  
    eO|^Lu]+  
    '6Pu[^x  
    QQ:2987619807 :F!dTD$  
     
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