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    [分享]检查微型晶片的光学系统 [复制链接]

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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2021-07-13
    成像系统>包括光栅 vcSb:('  
    LHq*E`  
    任务/系统说明 VB~Do?]*k%  
    BsYJIKfW  
    -V:7j8  
    8VMD304  
    亮点 w=ZK=@  
    0~ cbB  
    y9 K'(/  
    lv& y<d;  
     在复杂光学系统中,包含光栅(如,非常大的数值孔径(NA)) @Cl1G  
     严格分析光栅衍射效率 #|6M*;lN|  
     考虑入射光的方向分布 nk+9 J#Gs  
    - S%8  
    说明:光源 BSg 3  
    IR"=8w#MP  
    f:h<tlob  
    27UnH: =  
    说明:光束分束器 G V%@A  
    i",oPz7  
    t,qz%J&a  
    CoM?cS S  
    说明:检测透镜系统 7@ mP;K0  
    Oyy E0  
    Y NGS"3F  
    86~q pN  
    说明:微型晶片 't3nh  
    Bmi9U   
    ^j7]> I  
    |$c~Jq  
    说明:检测物镜 d0-T\\U  
    vFsl]|<;8  
    rq^VOK|L  
    Q}]RB$ZS  
    说明:探测器 ]]|vQA^  
    {(^%2dk83C  
    ?yAjxoE~?  
    E^t}p[s  
    结果:3D光线追迹(只有0级) 6g'+1%O  
    G":u::hR  
    O+o_{t\R  
    F vHd `  
    结果:3D光线追迹(所有级) _E xd:  
    pAc "Wo(Q  
    RU,!F99'1  
    usI$  
    结果:光线追迹 ]f3R;d  
    A]OVmw  
    &y.6Hiy&  
    Y>PC>  
    结果:场追迹 cy#N(S[ 1  
    Z_[jah  
    K?acRi  
    n}4Lq^$  
    结果:线性偏振光的场追迹 4$8\IJ7G  
    ,98`tB0  
    %ysf FE  
    IsP!ZcV;  
    文档和技术信息 D2Dk7//82Y  
    >y iE}  
    XB\n4 |4  
    ;.b^A  
    $Z4IPs  
    QQ:2987619807 -LEpT$v|  
     
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