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    [分享]检查微型晶片的光学系统 [复制链接]

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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2021-07-13
    成像系统>包括光栅 ->J5|c#  
    8D`TN8[W  
    任务/系统说明 '2m"ocaf  
    sJm v{wM  
    L.% zs  
    {5JYu  
    亮点 8FgF6ip  
    M#xol/)h  
    )wk9(|[o  
    s"X0Jx}  
     在复杂光学系统中,包含光栅(如,非常大的数值孔径(NA)) SHqz &2u  
     严格分析光栅衍射效率 o> yo9n%t  
     考虑入射光的方向分布 Fhs/<w-  
    BJnysQ  
    说明:光源 /1?{,Das=  
    G+K`FUNA  
    oX?~  
    `6{4?v  
    说明:光束分束器 *N%)+-   
    1c:/c|shQ_  
    2\G[U#~bi  
    L}>ts(!q&  
    说明:检测透镜系统 gX/?  
    0t)5KO  
    (YHK,aC>u  
    KZ|p_{0&  
    说明:微型晶片 }XRRM:B|)(  
    QX+&[G!DZH  
    CZ ,2Rq  
    hIwqSKq9  
    说明:检测物镜 h]k1vp)Q y  
    x^y&<tA  
    (o1o);AO  
    Gvc/o$_  
    说明:探测器 `&SBp }W}  
    *%2,= p  
    I<hMS6$<LE  
    g>_d,#F  
    结果:3D光线追迹(只有0级) T$tO[QR/  
    !FeNx*31i  
    b&.3uls6  
    lF)k4 +M  
    结果:3D光线追迹(所有级) &a";jO GB  
    ^\3z$ntF  
    V#V<Kz  
    T@Th?  
    结果:光线追迹 Z%7X"w  
    Ej'N !d.  
    ?wMS[Kj  
    3y*dBw  
    结果:场追迹 A "~Oi  
    M/jdMfU  
    &5 R-bYGW  
    l1]'3]P(  
    结果:线性偏振光的场追迹 w/Wd^+I In  
    |JTDwmR  
    BzI(  
    L7s _3\  
    文档和技术信息 _&PF(/w  
    5} 1qo7;  
    9D51@b6k  
    xd]7?L@h.I  
    ybpU?n  
    QQ:2987619807 x$6FvgP(  
     
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