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成像系统>包括光栅 $joGda y= f. ; 任务/系统说明 u9~ Ncz 5lP 8#O?=  ss }-YnG .|g@#XIwe# 亮点 NB'G{),)Z
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 Bw!J!cCj IA M a 在复杂光学系统中，包含光栅（如，非常大的数值孔径(NA)） s5+;8u9K 严格分析光栅衍射效率 @4Bl&(3S 考虑入射光的方向分布 @M-Q| `MCt m(< 说明：光源 ,X:3w3nr^ I+.U.e^gx  q UmSB"#Z ^z{Xd|{" 说明：光束分束器 tWzB Qx Vj1V;dHv  7G;1n0m-T dMsS OP0E 说明：检测透镜系统 iHc(e(CB< ^'tT_
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dZf1i FCP KaOXqFT= 说明：微型晶片 fK]%*i _" +aM[!pW(e  7BwR ]. pCo3%( 说明：检测物镜 ) 6X-m9.X A Y<L8  bo< .pK$ !s/qqq:g 说明：探测器 L>g6
9D ! )CE]s)6+2  5bXpj86mY LH+ Bu%s 结果：3D光线追迹（只有0级） >?ar L >"O[ @  }|) N5bGQe -Q5UT=^ 结果：3D光线追迹（所有级） SDS P4W5 s?S e]?i  2-ksr}: Wtk|}>Pf 结果：光线追迹 Yr yMB,\ {: _*P
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