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    [分享]检查微型晶片的光学系统 [复制链接]

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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2021-07-13
    成像系统>包括光栅 3A9|{Vaz+6  
    I[|I\tW  
    任务/系统说明 2,fB$5+  
    0'<S7?~|  
    {F4:  
    S&0x:VW  
    亮点 &0"`\~lA  
    &d2/F i+  
    BOG )JaDW  
    K XGs'D  
     在复杂光学系统中,包含光栅(如,非常大的数值孔径(NA)) t&oNJq{  
     严格分析光栅衍射效率 @PI\.y_w  
     考虑入射光的方向分布 v$cD!`+k  
    :z:Blp>nK/  
    说明:光源 wVVe L$28  
    Gg+>_b{S5T  
    ~,:f,FkSQ  
    :8ZxOwwv  
    说明:光束分束器 ev3x*}d0  
    +EB# #  
    x<l1s  
    j0GI[#  
    说明:检测透镜系统 `4=b|N+b"  
    a !IH-XJ2  
    xI@~Ig  
    ![ QQF|  
    说明:微型晶片 _pS%tPw  
    Q^k# ?j#  
    ,jn?s^X6Dj  
    dd$N4&  
    说明:检测物镜 0D'Wr(U(  
    W)#`4a^xj7  
     >4\xcL  
    H@zk8]_P  
    说明:探测器 qEAF!iB]L  
    #^ 9;<@M  
    (Ka# 6   
    <%z/6I Af|  
    结果:3D光线追迹(只有0级) ff#-USK^R  
    z)%1i  
    8VZ-`?p  
     xYT.J 6  
    结果:3D光线追迹(所有级) _a&|,ajy >  
    "YL-!P  
    +RkYW*|$S  
    qo@dFKy  
    结果:光线追迹 a%dx\&K  
    h,x]  
    $ZS9CkN  
    v\Ljm,+  
    结果:场追迹 (5> ibe  
    %\l,X{X  
    aW"!bAdx`,  
    'T[zh#v>S  
    结果:线性偏振光的场追迹 mw[4<vfB0a  
    mV,R0olF  
    o(P:f)B  
    9^u?v`!  
    文档和技术信息 h 6*`V  
    j;)6uia*A  
    >|?T|  
    H#inr^Xa  
    ?^~"x.<nr  
    QQ:2987619807 >K :"[?  
     
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