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成像系统>包括光栅 = O
qw`jw _ ,h h O 任务/系统说明 OzFA>FK0f; f
IUz%YFn  rPV\ F JrF\7*rh9 亮点 :*wnO;eN
Kt,EN bF
 q ? x.P2 zwA kXj 在复杂光学系统中，包含光栅（如，非常大的数值孔径(NA)） } k[gR I ] 严格分析光栅衍射效率 zOR 考虑入射光的方向分布 r)jj]$0 Bc {#ia 说明：光源 90%alG 1>y 8oI)q4V  `TBI{q[y 9JHu{r" M 说明：光束分束器 P)?) H]J" . bh>_ W_h  6 x*u S~' sjLI^#a 说明：检测透镜系统 :@6,|2b e= `[JX}<~i  ;!(.hCHvr }.<%46_Z- 说明：微型晶片 4_3
DQx9s W&[}-E8<Y  56Q9RU(M @g*=xwve=~ 说明：检测物镜 q9j9"M' m /"\+Hv  !BHIp7p hB#z8D 说明：探测器 .7-Yu1{2 EM+_c) d}  0z g\thL [@@Ovv 结果：3D光线追迹（只有0级） %(`4wo}, gIR{!'
 CErkmod{}e pA9:1*+;; 结果：3D光线追迹（所有级） #`6A}/@.+ XDv T#(Pu  ^F<[5e)M 1MdVWFKXV 结果：光线追迹 YX+Da"\ [{F8+a^
 3 6D-J)-Z Z']D8>d 结果：场追迹 wVD-}n1" dB7E&"f
 ?^ 9TtxM FAA qdK0 结果：线性偏振光的场追迹 C[:Q?LE
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rt5UT~ 文档和技术信息 Lxm1.TOJ #`5 M(
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