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成像系统>包括光栅 3A9|{Vaz+6 I[|I\tW 任务/系统说明 2,fB$5+ 0'<S7?~| {F4: S&0x:VW 亮点 &0"`\~lA &d2/F i+
BOG )JaDW KXGs'D 在复杂光学系统中,包含光栅(如,非常大的数值孔径(NA)) t&oNJq{ 严格分析光栅衍射效率 @PI\.y_w 考虑入射光的方向分布 v$c D!`+k :z:Blp>nK/ 说明:光源 wVVe L$28 Gg+>_b{S5T ~,:f,FkSQ :8ZxO wwv 说明:光束分束器 ev3x*}d0 +EB## x<l1s j0GI[# 说明:检测透镜系统 `4=b|N+b" a !IH-XJ2 xI@~I g ![ QQF| 说明:微型晶片 _pS%tPw Q^k#?j# ,jn?s^X6Dj dd$N4& 说明:检测物镜 0D'Wr(U( W)#`4a^xj7 >4\xcL H@zk8]_P 说明:探测器 qEAF!iB]L #^9;<@M (Ka#6
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Af| 结果:3D光线追迹(只有0级) ff#-USK^R z)%1 i 8VZ-`?p xYT.J 6 结果:3D光线追迹(所有级) _a&|,ajy> "YL-!P +RkYW*|$S qo@dFKy 结果:光线追迹 a%dx\&K h,x]
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文档和技术信息 h6*`V j;)6uia*A
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