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成像系统>包括光栅 t_dw}I a`EGx{q( 任务/系统说明 Vq .!(x <FcPxZ bMqu5G_q zbIwH6 亮点 c{m
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c 在复杂光学系统中,包含光栅(如,非常大的数值孔径(NA)) VQNYQqu`[ 严格分析光栅衍射效率 fcE/ 考虑入射光的方向分布 6yu*a_ L5zG0mC8 说明:光源 x;ICV%g/ 7kX7\[zN LRCS)UBY(. uJIRk$ 说明:光束分束器 -_{C+Y_ c5=v`hv Cdt,//xrz T4H oSei 说明:检测透镜系统 SQ^^1.V&/Y (.quX@w"m !dbA ( {0)WS}& 说明:微型晶片 -hG 9 (AM,4)lW, m m J)m SVg@xu+ 说明:检测物镜 Z+``/Q]>+ g<hv7?"[ ?(,5eg $@u^Jt, ? 说明:探测器 5& |