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    [分享]检查微型晶片的光学系统 [复制链接]

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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2021-07-13
    成像系统>包括光栅 e6R "W9  
    $0*47+f  
    任务/系统说明 O5{XT]:  
    2:N_c\Vi  
    iTt=aQjd  
    <kSaSW  
    亮点 W<LaR,7  
    z}8YrVr@  
    @ RI^wZ-;  
    w+37'vQ  
     在复杂光学系统中,包含光栅(如,非常大的数值孔径(NA)) V`M,d~:Pr"  
     严格分析光栅衍射效率 Q#Y3%WF  
     考虑入射光的方向分布 ->hxHr`!%a  
    Cv~hU%1T  
    说明:光源 cx,A.Lc  
    Zd(d]M_x  
    2SJh6U  
    4:@|q:DR  
    说明:光束分束器 .O#lab`:2  
    =Yj[MVn  
    5 WppV3;  
    _;q-+"6L;  
    说明:检测透镜系统 | q16%6q  
    h<K;VpL6  
    |I}+!DDuv  
    Kk98FI0]  
    说明:微型晶片 "|'`'W  
    VQ?H:1R  
    />[6uvy#Q  
    y+scJ+<  
    说明:检测物镜 IJc#)J.2A  
    s~$4bN>LD  
    i 9tJHeSm  
    >1U@NK)HfY  
    说明:探测器 -b)zira  
    rgzI  
    <M OL{jan  
    CDYx/yO  
    结果:3D光线追迹(只有0级) W79A4l<  
    &8AS=v  
    {}o>ne nx\  
    1ysLZ;K  
    结果:3D光线追迹(所有级) \ui^ d  
    /eRtj:9M  
     |~uzQU7  
    A]?O& m |  
    结果:光线追迹 _ 1{5~  
    OEE{JVeI  
    8}oDRN!J  
    z#J/*712  
    结果:场追迹 f5b`gvCY,#  
    O 4Pd N?  
    DVoV:pk  
    `/JR}g{O  
    结果:线性偏振光的场追迹 ; 9 &1JX  
    06@0r  
    UeQ9G  
    ~`>26BWQz  
    文档和技术信息 c^Gwri4  
    .(dmuV9  
    C$RAJ  
    #or oY.o  
    :$cSQ(q9a  
    QQ:2987619807 HA.NZkq.tV  
     
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