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    [分享]检查微型晶片的光学系统 [复制链接]

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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2021-07-13
    成像系统>包括光栅 :E@3Vl#U  
    $a"n1ou  
    任务/系统说明 $[/&74#0HX  
    yA.4G_|I  
    9=V:&.L  
    Ffv`kn@  
    亮点 =IW?WIXk  
    /Ya_>+oo  
    [h34d5'w  
    /s[l-1zW  
     在复杂光学系统中,包含光栅(如,非常大的数值孔径(NA)) yLdVd P  
     严格分析光栅衍射效率 f/Hm{<BY  
     考虑入射光的方向分布 sPMa]F(  
    ^*S)t. "  
    说明:光源 \e'R @  
    }= 6'MjF]  
    :xh?e N&  
    .Jrqm  
    说明:光束分束器 # P?6@\  
    , 'ZD=4_  
    G_k~X"  
    o(r\E0 I  
    说明:检测透镜系统 o;=l ^-  
    2GWMlI  
    w[ !^;#  
    L.2/*H#  
    说明:微型晶片 W'.s\e?gh  
    'C ~ y5j  
    ;+<&8.=,)  
    A%D7bQ  
    说明:检测物镜 w - Pk7I  
    -Gw$#!  
    _-9@qe  
    I{lT>go  
    说明:探测器 ni6{pK4Wqm  
    ]"1`+q6i  
    GA?87N  
    z(fAnn T?  
    结果:3D光线追迹(只有0级) & M~`:R  
    Fx $Q;H!.  
    ld^=#]g  
    qZh1`\G  
    结果:3D光线追迹(所有级) P  '>SmQ  
    |d*&y#kV  
    9XRZ$j}L  
    kIGbG;"_  
    结果:光线追迹 $P(v{W)  
    (q4),y<:[  
    `S2[5i  
    P4F3Dc  
    结果:场追迹 8 XICF  
    &g.+V/<[  
    n< ud> JIb  
    mFSw@CC  
    结果:线性偏振光的场追迹 ( @3\`\X  
    C":o/;,1  
    ??i,Vr@)w  
    "bm  
    文档和技术信息 K,w"_T  
    3q'&j, ,^  
    XvE9 b5}  
    )QG<f{wS  
    }yJ$SR]t  
    QQ:2987619807 Ty<L8+B|  
     
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