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[h34d5'w /s[l-1zW 在复杂光学系统中,包含光栅(如,非常大的数值孔径(NA)) yLdVd
P 严格分析光栅衍射效率 f/Hm{<BY
考虑入射光的方向分布 sPMa]F( ^*S)t.
" 说明:光源 \e'R@ }=6'MjF] :xh?eN& .Jrqm 说明:光束分束器 #P?6@\ , 'ZD=4_ G_k~X" o(r\E0I 说明:检测透镜系统 o;=l^- 2GWMlI w[!^;# L.2/*H#
说明:微型晶片 W'.s\e?gh 'C
~y5j ;+<&8.=,) A%D7bQ 说明:检测物镜 w -
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