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成像系统>包括光栅 5=Il2 ? u>A2Vc! 任务/系统说明 l:*.0Tj 7n7UL0Oc1  i93^E~q] EZ[e
a< 亮点 KebC$g@W
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Y(h
 "] ]aF1 o\X|\nUk 在复杂光学系统中，包含光栅（如，非常大的数值孔径(NA)） d
9]zB-A 严格分析光栅衍射效率 ;)z+dd# 3 考虑入射光的方向分布 *d:$vaL HqXS-TG 说明：光源 iUlSRfrC$# (3&P8ZGNR  =g?k`v p EP{/]T 说明：光束分束器 !:a^f2^= Z<#h$XUA  VYk UUp bT`et*] 说明：检测透镜系统 c G { ,,;vG6^a  2:&L|; :A5 h<=[ 说明：微型晶片 uG(XbDZZ1W o@ @| 4
F  ;<#=|eD2 !UHX? <3r 说明：检测物镜 Tj6kCB XQZiJ
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MR 4]G 说明：探测器 C)ic;!$Qhb X? Or.  f |NXibmP 5 Q ,j+ 结果：3D光线追迹（只有0级） o E)xL%* @ X5#?  oiQ:&$ y DS ;.)P" 结果：3D光线追迹（所有级） u56F;y qUk-BG8^  UQjYWXvi bSa]={}L( 结果：光线追迹 l 0eh}d [Xww`OUsh
 zEDN^K ' 9[h8Dy 结果：场追迹 3|D .r-Q 1z_1Hl
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Q a 0 's6C 结果：线性偏振光的场追迹 ysFp$!9Ux l7 U<]i GL  =.qPjp_Q d
qyjVB/ko 文档和技术信息 zIr4!|X Bnw^W _
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