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    [分享]检查微型晶片的光学系统 [复制链接]

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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2021-07-13
    成像系统>包括光栅 DT#Z6A  
    n/GJ&qLi:g  
    任务/系统说明 xqaw00,s  
    |-VbJd  
    7=]Y7 "XCf  
    c#(&\g2H  
    亮点 `H\NJ,  
    =v/x&,Uj@6  
    WWWfQ_u2  
    {,i='!WIm  
     在复杂光学系统中,包含光栅(如,非常大的数值孔径(NA)) "_/5{Nc$  
     严格分析光栅衍射效率 Jl,\^)DSw  
     考虑入射光的方向分布 TZk.h8  
    .A Z+|?d  
    说明:光源 g3,F+  
    Q*AgFF%wn  
    9:6d,^X  
    MFLw^10(T  
    说明:光束分束器 `pd1'5Hm  
    7q:  
    vW4N[ .+  
    {v}jV{'^um  
    说明:检测透镜系统 ^o*$+DbC  
    >@U lhJtW  
    yj{:%Km:`  
    5Ai$1'*p  
    说明:微型晶片 <0I=XsE1iX  
    j\8'P9~%  
    SvGs?nUU  
    uu582%tiG  
    说明:检测物镜 prg8Iq'w  
    \:wLUGFl 5  
    {01wW1  
    K1>(Fs$  
    说明:探测器 yw)Ztg)  
    Y^f12%  
    Y_<(~eN`  
    =Z(#j5TGvH  
    结果:3D光线追迹(只有0级) XS/5y(W  
    CiGN?1|  
    Aw *:5I[  
    v mXY}Ul  
    结果:3D光线追迹(所有级) &vp0zYd+v  
    ~0>{PD$@  
    tY=n("=2  
    3M&75OE  
    结果:光线追迹 m=< ;)  
    &Wup 7  
    RycO8z*p  
    L"6@3  
    结果:场追迹 Sm%MoFf  
    d.&~n`Rv!p  
    RFkJ^=}  
    Zb7:qe<UN  
    结果:线性偏振光的场追迹 jP";ll|c  
    +<ey Iw  
    lFY;O !Y5\  
    :I}_  
    文档和技术信息 U q6..<#  
    h D/b O  
    VmB/X))   
    +6{KrREX)  
    R%Yws2Le2  
    QQ:2987619807 o;JBe"1  
     
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