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    [分享]检查微型晶片的光学系统 [复制链接]

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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2021-07-13
    成像系统>包括光栅 4K:p  
    A"p7N?|%  
    任务/系统说明 r\a9<nZ{  
    /O+,vRw\A  
    ,D>$N3;  
    4R@3jGXb8q  
    亮点 7+=fD|Cl  
    <T<?7SE+  
    a+IU<O-J?  
    b=.Ikt+y  
     在复杂光学系统中,包含光栅(如,非常大的数值孔径(NA)) 8D)2/$NsY}  
     严格分析光栅衍射效率 zR">'bM:  
     考虑入射光的方向分布 ABB4(_3E  
    ]Z2;sA  
    说明:光源 *tO7A$LDT  
    &.;tdT7  
    [{- Oy#T<  
    x-mRPH  
    说明:光束分束器 do C8!  
    C]p3,G,oN  
    -BgzAxa  
    +m]$P,yMt  
    说明:检测透镜系统 CUaI66  
    sJ{NbN~`I  
    3u3(BY{"\F  
    }L3kpw  
    说明:微型晶片 Ir}r98lz  
    |ffM6W1:  
    Yu>VW\Fb  
    bT2b)nf  
    说明:检测物镜 Yc BY[i0  
    wWQv]c%  
    5VDqx@(  
    rp (nGiI  
    说明:探测器 |x3.r t  
     LkD$\i  
    .;8T*  
    GNlP]9wX  
    结果:3D光线追迹(只有0级) FY|.eY_7 {  
    lED-Jo2  
    ^w/_hY!4/  
    l\vtz5L  
    结果:3D光线追迹(所有级) M}kt q)  
    NjIe2)}'  
    ]L@VpHEj  
    ?6P P_QY  
    结果:光线追迹 W2e~!:w  
    3Sv<Viuo  
    '5\7>2fI  
    NpG5$?  
    结果:场追迹 0'{0kE[wn  
    QqA~y$'ut  
    E"ijNs  
    ;I1}g]  
    结果:线性偏振光的场追迹 EbZRU65J}O  
    Dm?>U1{   
    \$n?J(N  
    =\GuIH2  
    文档和技术信息 NHG+l)y:  
    S\RjP*H*  
    $@<qaR{t\  
    }J"}5O2,b  
    UT|FV twO  
    QQ:2987619807 -]\cUQ0  
     
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