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    [分享]检查微型晶片的光学系统 [复制链接]

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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2021-07-13
    成像系统>包括光栅 G_ -8*.  
    {C>E*qp}f  
    任务/系统说明 g:dtfa/]  
    KM-d8^\:  
    =6.4  
    zD"n7;  
    亮点 pL [JGn  
    ,J*C'#sW  
    ey/{Z<D  
    .z+S @s[O  
     在复杂光学系统中,包含光栅(如,非常大的数值孔径(NA)) }}?,({T|n  
     严格分析光栅衍射效率 1hTE^\W  
     考虑入射光的方向分布 7\0}te  
    Ji#eA[  
    说明:光源 -- >q=hlA  
    *JD-|m K  
    8-|| Nh  
    5&C:&=Y  
    说明:光束分束器 _O,k0O   
    n0a|GZyO]  
    E|,RM;7  
    [_BQ%7D U  
    说明:检测透镜系统 n g,&;E  
    >0X_UDAWz  
    ,=IGqw  
    @S<6#zR  
    说明:微型晶片 K[q{)>,9  
    ln1!%B;  
    Ndz'^c  
    =w5]o@  
    说明:检测物镜 -F$v`|(O+  
    1IPRI<1U  
    xqQLri}  
    >vPv 4e7&3  
    说明:探测器 cM_!_8o  
    +RBX2$kB  
    *|4/XHi  
    vojXo|c  
    结果:3D光线追迹(只有0级) Oq9E$0JW  
    #E$*PAB  
    71+ bn  
    -UoTBvObAm  
    结果:3D光线追迹(所有级) }&LVD$Bz  
    n&%0G2m:  
    po!bRk[4  
    E[ttamU  
    结果:光线追迹 Gk']Ma2J}  
    |)65y  
    .<zN/&MXf  
    =E w<s5C@  
    结果:场追迹 iLt2L;v>h  
    ZOBcV,K  
    ]~:WGo=_  
    LC, 6hpmh  
    结果:线性偏振光的场追迹 dKQu  
    yvWM]A  
    ()Q#@?c~  
    nB;[;dC z  
    文档和技术信息 c6T[2Ig  
    P84= .* >  
    P''>wjMH0  
    z2lT4SAv+  
    #62*'.B4  
    QQ:2987619807 0j :u.x  
     
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