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    [分享]检查微型晶片的光学系统 [复制链接]

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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2021-07-13
    成像系统>包括光栅 X$?0C{@.}  
    4vNH"72P  
    任务/系统说明 ?}= $zN  
    N#@v`S  
    "'/+}xM"5  
    mHa~c(x  
    亮点 _xBhMu2f  
    BB_(!omq[  
    ~Q5]?ZNX  
    hjhZ":I.  
     在复杂光学系统中,包含光栅(如,非常大的数值孔径(NA)) rq1zvuUx  
     严格分析光栅衍射效率 9<kMxtk$  
     考虑入射光的方向分布 |?hsMN  
    \tY7Ga%c  
    说明:光源 FYb]9MX  
    K@Xj)  
    keStK8  
    \HQ.Pwr 6  
    说明:光束分束器 FlY"OU*  
    [k&7h,  
    Zv* uUe  
    [Dmf.PUe  
    说明:检测透镜系统 >/NegJh'F}  
     vNdW.V}  
    m=Mk@xfQ#  
    A,(9|#%L  
    说明:微型晶片 P*OT&q  
    B\l0kiNT  
    E`{DX9^  
    ;0NJX)GL  
    说明:检测物镜 }SyK)W5Y  
    )-Z*/uF^  
    A PrrUo  
    k ~F ,n  
    说明:探测器 1=ZQRJW0B  
    P0U&+^W"9  
    wD W/?lT&  
    B\% Gp}  
    结果:3D光线追迹(只有0级) 7|"$YV'DM  
    s OLjT34  
    P"Z1K5>2L  
    ePxAZg$ `>  
    结果:3D光线追迹(所有级) }o\} qu*  
    !89hO4 0r  
    51* [Ibx  
    $BG]is,&5  
    结果:光线追迹 JXR]G  
    UPPlm\wb*  
    [HQ/MkP-Z  
    J,s:CBCGL  
    结果:场追迹 B]mMwqM#  
    NzN"_ojM  
    P m&^rC;  
    w'7J`n: {]  
    结果:线性偏振光的场追迹 W7{^/s5r  
    0%,?z`UY  
    ;Cjj_9e,:  
    H6Gs&yk3  
    文档和技术信息 I :bT"N  
    {~G~=sC$  
    =Lnip<t>ja  
    H ]!P[?  
    |CQ0{1R1  
    QQ:2987619807 KP $AT}D  
     
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