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    [分享]检查微型晶片的光学系统 [复制链接]

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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2021-07-13
    成像系统>包括光栅 drCL7.j#L  
    T c-fO /0  
    任务/系统说明 ''2:ZXX  
    P'$2%P$8:~  
    Q8TR@0d  
    "P5,p"k:)  
    亮点 ,ig`'U  
    + fvVora  
    FkMM>X  
    :|l0x a  
     在复杂光学系统中,包含光栅(如,非常大的数值孔径(NA)) oKRI2ni$j9  
     严格分析光栅衍射效率 <a CzB7x  
     考虑入射光的方向分布 7\dt<VV  
    N#J8 4i;ry  
    说明:光源 *`s*l+0b  
    :CM2kh"Iu  
    ^g'uR@uU  
    J?p|Vy|9  
    说明:光束分束器 tm;\m!^X{  
    UeUOGf ,  
    z'Bvjul  
    ; {m;CKHI  
    说明:检测透镜系统 f`}u9!jVR  
    ?zo7.R-Vac  
    - 6q7ze{@  
    !ggHLZRlz  
    说明:微型晶片 1\jj3Y'i'  
    5=s|uuw/  
    MNfc1I_#  
    tjZS:@3 Z  
    说明:检测物镜 T5[(vTp  
    r*7J#M /  
    zll?/|%  
    V2Z^W^  
    说明:探测器 c:DV8'fT  
    %)}_OXWf:  
    uL-$^],  
    * se),CP!s  
    结果:3D光线追迹(只有0级) 'pAq;2AA  
    *@ \LS!N  
    m7,"M~\pX  
    ?AQR\)P  
    结果:3D光线追迹(所有级) ++kVq$9@y  
    neWx-O  
    o>M&C X+j$  
    J@N q  
    结果:光线追迹 ;S2/n$Ju_  
    n%dh|j2u  
    Xt*h2&  
    S?H qrf7<  
    结果:场追迹 \p izVt  
    7*&q"   
    ;;17 #T2  
    ]T<RC\o  
    结果:线性偏振光的场追迹 P= 26! b  
    uQkFFWS  
    C It@xi#I  
    +_fxV|}P  
    文档和技术信息 %?`$#*f\%  
    v3/G.B@=  
    u_)'}  
    6$+F5T  
    "qY_O/Eg]]  
    QQ:2987619807 M[dJQ (  
     
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