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    [分享]检查微型晶片的光学系统 [复制链接]

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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2021-07-13
    成像系统>包括光栅 r0&LjH&R  
    Ik5-ooZ&{  
    任务/系统说明 Xooh00  
    v=dN$B5y3  
    *j1Skd.#At  
    wLO"[,  
    亮点 =:R${F  
    Ae^4  
    @#o 7U   
    X9" T(`  
     在复杂光学系统中,包含光栅(如,非常大的数值孔径(NA)) ~% ]V,-4  
     严格分析光栅衍射效率 i6;rh-M?.  
     考虑入射光的方向分布 v{1g`E  
    MD4m h2  
    说明:光源 e+2lus,u6t  
    :=q9ay   
    hOIg 7=v  
    =q"0GUei3  
    说明:光束分束器 Fo ,8"m  
    <0l:B ;3  
    wt_ae|hv  
    \0qFOjVj  
    说明:检测透镜系统 vj#m#1\ f  
    /<O9^hA|  
    Fgh an.F  
    G[zysxd  
    说明:微型晶片 xA n|OSe  
    %md9ou`  
    .'-t>(}v  
    rg%m   
    说明:检测物镜 dj6Lf  
    P=9sP:[f6  
    7 X~JLvN  
    \naG  
    说明:探测器 `I|Y7GoUO  
    zRau/1Y0  
    t#]VR7]  
    `\BBdQ#bH  
    结果:3D光线追迹(只有0级) AMK3I`=8WO  
    k5)IBO  
    3`"k1W  
    +fMW B  
    结果:3D光线追迹(所有级) R3BK\kf&  
    D9r;Ys%  
    r9-)+R J  
    ^M1O)   
    结果:光线追迹 UyNP:q:  
    kY~yA2*G  
    <%`z:G3  
    K<u~[^R  
    结果:场追迹 }L5;=A']S  
    $T2zs$  
    g-+/zEOUS  
    U4e9[=q`'  
    结果:线性偏振光的场追迹 \]L h a  
    kN vNV(4  
    ?Y$3R"p@3`  
    `zcpaE.@  
    文档和技术信息 mj2sbRiSR=  
    F2=#\U$  
    8O*O 5   
    Pv8AWQQJ  
    CT{ X$N  
    QQ:2987619807 d[ce3':z  
     
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