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成像系统>包括光栅 R. N*G]K 5 ,)1e+EnV& 任务/系统说明 /`> P |J }b`*%141  6K}=K?3Z N3p3"4_]fy 亮点 &/9oi_r%r
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 vEGK{rMA j&.BbcE45 在复杂光学系统中，包含光栅（如，非常大的数值孔径(NA)） {9
O`/| 严格分析光栅衍射效率 Z&,}Fgl!F 考虑入射光的方向分布 =*jcO119L cmI#R1\ 说明：光源 s`RJl V ?C35  _ GSw\r #cS,5(BM 说明：光束分束器 t;Om9 N &=2 /  +ctv]'P _ K8Zk{on 说明：检测透镜系统 6^;!9$G|D*
+`-a*U94  mNoqs&UB " M^W:4_ 说明：微型晶片 AW5g ( Hw &M2a  ^ {f ^WL= Z;D3lbqE 说明：检测物镜 6a? p?I K^ (p=GR#  #Ca's'j&f ;NE/!! 说明：探测器 om?CF l _`>7
Q) ,7  J|S^K kC q}Z
T?Xk? 结果：3D光线追迹（只有0级） Y{RB\}f( !#1A7[WN  tY'QQN|| =hIT?Z6 A 结果：3D光线追迹（所有级） y51D-vj yMl'1 W  5C1Rub) L]N2r MM 结果：光线追迹 H^;S}<pxW k^c=y<I
 k=2l9C3Z ok%!o+nk. 结果：场追迹 1Z8Oh_D C ?^ezEpW
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oV>AFs6 文档和技术信息 Sx9:$"3.X N 3p 7 0
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