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    [分享]检查微型晶片的光学系统 [复制链接]

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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2021-07-13
    成像系统>包括光栅 R<Ojaj=V  
    ta> g:  
    任务/系统说明 R,C)|*ef  
    2*vOo^f  
    ik+qx~+`Qv  
    Cmm"K[>Rx  
    亮点 w (W+Y+up  
    +hpXMO%?  
    Dn) =V.  
    _J 6|ju\  
     在复杂光学系统中,包含光栅(如,非常大的数值孔径(NA)) W'E!5T^  
     严格分析光栅衍射效率 t LdBnf  
     考虑入射光的方向分布 FAjO-T4(  
    K7F uMB  
    说明:光源 9U>ID{  
    ?cG+rC%  
    ;DL|%-%;$r  
    5@tpJ8E8$  
    说明:光束分束器 J#L-Slav%  
    ') 5W  
    (zWzF_v  
    j1N1c~2  
    说明:检测透镜系统 COOazXtW  
    4))u*c/,  
    >@[`,  
    /R8>f  
    说明:微型晶片 I--WS[  
    g:q+.6va"  
    5{zXh  
    W:aAe%S  
    说明:检测物镜 ^LfCLI9Z  
    _c['_HC  
    k)'hNk"x  
    $G"PZ7  
    说明:探测器 doBfpQ2  
    MnO,Cd6{%d  
    ndOPD]A'  
    [@";\C_I  
    结果:3D光线追迹(只有0级) #KXazZu"  
    +>.plvZhu  
    yH|ucN~k5S  
    j$Vv'on  
    结果:3D光线追迹(所有级) P~#!-9?  
    {dg3 qg~  
    w^ui%9 &6H  
    Fh? ;,Z  
    结果:光线追迹 fg8V6FS  
    O*z x{a6  
    b*nyt F  
    bS&'oWy*B  
    结果:场追迹 1#^[{XlAx  
     k1L GT&  
    q5BJsw  
    -]Z!_[MlDF  
    结果:线性偏振光的场追迹 )"WImf:*  
    OZbwquF@  
    29Kuq;6  
    l'&l!D&   
    文档和技术信息 itm;,Sbg  
    j5R= K*y  
    9u1_L`+b  
    =P'=P0G  
    +; C|5y  
    QQ:2987619807 Al3Hu-Hf;`  
     
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