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成像系统>包括光栅 493*{ O;3>sLgc 任务/系统说明 pd$[8Rmj_ 5)X=*I
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)boE/4 J<lW<:!3] 在复杂光学系统中,包含光栅(如,非常大的数值孔径(NA)) ;$Jo+# 严格分析光栅衍射效率 RxQ * 考虑入射光的方向分布 {{!-Gr :Zlwy-[ 说明:光源 Q/Rqa5LI: 8eRLy/`gd Q,Eo mt +kD
R.E: 说明:光束分束器 19#\+LWA |N] XJ)? * v#o 4skD(au8 说明:检测透镜系统 7t3!)a|lI -nwypu B#R|*g:x vP,n(reM 说明:微型晶片 !()Qm,1u ~$J2g "r2 r ?V=CB,^ 说明:检测物镜 9-
#R)4_ Dt1jW W*Y/l~x} cz$2R 说明:探测器 7j{?aza w!XD/jN St^5Byd< ugBCBr 结果:3D光线追迹(只有0级) !'I8:v&D |vC~HJpuv' GA.8@3 'c~4+o4co 结果:3D光线追迹(所有级) [fyLV` H,NF;QPPC .]K%G\*`: QsW/X0YBv 结果:光线追迹 L RF103nw Xwtqi@zlE
ajpXL H"F29Pu2 结果:场追迹 Ts x>&W |