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    [分享]检查微型晶片的光学系统 [复制链接]

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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2021-07-13
    成像系统>包括光栅 tn#cVB3  
    ?7}ybw3t]  
    任务/系统说明 R2v9gz;W  
    >TMd1? ,  
     9u^M{6  
    _V 4O#;%?  
    亮点 /78]u^SW  
    yX4 Vv{g  
    ! ui   
    6@TU9AZS `  
     在复杂光学系统中,包含光栅(如,非常大的数值孔径(NA)) fX]`vjM{  
     严格分析光栅衍射效率 sC.b '1P  
     考虑入射光的方向分布 n&Ckfo_D  
    MA,*$BgZ  
    说明:光源 (>vyWd]  
    hw,nA2w\  
    Tf~eH!~0  
    ,VS(4  
    说明:光束分束器 y_X jY  
    o2X95NiH  
    c ef[T(>  
    ?h6|N%U'  
    说明:检测透镜系统 9 wZ?")2  
    2HtsSS#0Q  
    u"q5 6}Q?]  
    a M9v  
    说明:微型晶片 Ly&+m+Gwu  
    kV+^1@"  
    dpTsTU!\  
    H.\`(`6  
    说明:检测物镜 g]lEG>y1R  
    n1J u =C  
    wn.~Dx  
    W?5')  
    说明:探测器 PFuhvw~?  
    Iz1x|EQ  
    7b+r LyS0  
    N2O *g`YC  
    结果:3D光线追迹(只有0级) < mQXS87  
    tsAV46S  
    U3X5tED  
    T[Zs{S  
    结果:3D光线追迹(所有级) &J)<1!|  
    uR ?W|a  
    -T,?'J0 2  
    !gve]>M  
    结果:光线追迹 }:m/@LKB  
    ~f h  
    l)9IgJ|<b  
    ^FKiVKI:  
    结果:场追迹 RNi%6A1  
    zbmC? 2$  
    r }lGcG)  
    eAfi!!Z<  
    结果:线性偏振光的场追迹 x "{aO6M  
    $AZYY\1  
    P9/ (f$=  
    f`n4'dG  
    文档和技术信息 WeM38&dWY  
    T&lgWOls  
    5p (zhfuG  
    2)n`Bd  
    QWk3y"5n<  
    QQ:2987619807 LH5Z@*0#  
     
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