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成像系统>包括光栅 sR nMBW. =1Jo-!{{ 任务/系统说明 l))IO`s=_ !7?wd^C'f  @U5> w\ 4tWI)}+ak 亮点 Fowh3go
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 . %7A7a ,BAF?} 04= 在复杂光学系统中，包含光栅（如，非常大的数值孔径(NA)） Bk <P~-I 严格分析光栅衍射效率 WQ`T'k#ESW 考虑入射光的方向分布 \ } f* UlytxWkUX 说明：光源 i*j+<R@ 2_v>8B  JnJz{(c
m"]ys # 说明：光束分束器 DcHMiiVM l0) uu4|  pXa? Q@ 6 k*^W
lCZ3 说明：检测透镜系统 >j3N-;o@? :B~c >:  c-d}E!C: Xi.?9J`@ 说明：微型晶片 :DJ@HY +6atbbe}  *Cw2 h 9v0|lS!- 说明：检测物镜 g G>>ynn g (k|"g`*  7/L7L5h< P+h&tXZn8 说明：探测器 +_Z/VQv `m^O nH  ;\N*iN#K vKf=t&gqr 结果：3D光线追迹（只有0级） =d}3>YHS TZg7BLfy  KG$2u:n 3I+pe; 结果：3D光线追迹（所有级） %3j5Q A$ cbH.  KJ_ R@,v\ nCU4a1rZ 结果：光线追迹 )RFeF!(" m@ YL Z
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