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    [分享]检查微型晶片的光学系统 [复制链接]

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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2021-07-13
    成像系统>包括光栅 493*{  
    O;3>sLgc  
    任务/系统说明 pd$[8Rmj_  
    5)X=*I  
    [dz _R  
    3Jn ;}  
    亮点 8 L Cb+^  
    f _:A0  
    )boE/4  
    J<lW<:!3]  
     在复杂光学系统中,包含光栅(如,非常大的数值孔径(NA)) ;$Jo+#  
     严格分析光栅衍射效率 RxQ*  
     考虑入射光的方向分布 {{!-Gr  
    :Zlwy-[  
    说明:光源 Q/Rqa5LI:  
    8eRLy/`gd  
    Q,Eo mt  
    +kD R.E:  
    说明:光束分束器 19#\+LWA  
    |N]XJ)?  
    * v#o  
    4skD(au8  
    说明:检测透镜系统 7t3!) a|lI  
    -nwypu  
    B#R|*g:x  
    vP,n(reM  
    说明:微型晶片 !()Qm,1u  
     ~$J2g  
    "r2 r   
    ?V=CB,^  
    说明:检测物镜 9- # R)4_  
    Dt1jW  
    W*Y/l~x}  
    cz$2R  
    说明:探测器 7j{?aza  
    w!XD/j N  
    St^5Byd<  
    ugBCBr  
    结果:3D光线追迹(只有0级) !'I8:v&D  
    |vC~HJpuv'  
    GA.8@3  
    'c~4+o4co  
    结果:3D光线追迹(所有级) [fy LV`  
    H,NF;QPPC  
    .]K%G\*`:  
    QsW/X0YBv  
    结果:光线追迹 LRF103nw  
    X wtqi@zlE  
    ajpX L  
    H"F29Pu2  
    结果:场追迹 Tsx>&WC  
    & nK<:^n  
    }GIt!PG  
    D/' dTrR  
    结果:线性偏振光的场追迹 S|}L&A  
    d"Y{UE  
    yh=N@Z*zP  
    Xnh8e  
    文档和技术信息 *lb<$E]="!  
    :zR!/5  
    6H|S;K+  
    )pn3~t<e d  
    :E?V.  
    QQ:2987619807 |f##5fB  
     
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