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    [分享]检查微型晶片的光学系统 [复制链接]

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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2021-07-13
    成像系统>包括光栅 Dp)=0<$y  
    nQ5n-A&["  
    任务/系统说明 Q36qIq_0e  
    5]AC*2(  
    D;;!ODX$?  
    n[G&ksQI  
    亮点 ?QFpv #4  
    G+X Sfr  
    n=y[CKS  
    [_1G@S6Ex  
     在复杂光学系统中,包含光栅(如,非常大的数值孔径(NA)) dwDcR,z?a  
     严格分析光栅衍射效率 b:tob0TB  
     考虑入射光的方向分布 G#d{,3Gq1  
    X!9 B2w  
    说明:光源 j$?{\iXZ  
    7f0lQ  
    DXJ`oh  
    Y8-86 *zC  
    说明:光束分束器 k'Sp.  
    ^eo|P~w g  
    ^,/RO5  
    PH+S};Uxv  
    说明:检测透镜系统 '}B+r@YCN  
    1*9U1\z  
    8,? h~prc  
    @ycDCB(D}  
    说明:微型晶片 gG*X^Uo  
    {>DE sO  
    @zU6t|mhz  
    d@XV:ae  
    说明:检测物镜 O(D ~_O.  
    mLP.t%?#   
    #xX5,r0  
    /v- 6WSN  
    说明:探测器 DAcQz4T`  
    mID"^NOi#  
    KKiE@_z  
    n%-R[vW  
    结果:3D光线追迹(只有0级) 4^WpS/#4  
    .Le?T&_  
    G Uon/G8  
    cx&>#8s&  
    结果:3D光线追迹(所有级) ]:4*L  
    wt!nMQ  
    /aZ+T5O  
    5=v}W:^v.  
    结果:光线追迹 ow_W%I=6  
    9Iwe2lu  
    1IC~e^"  
    {`LU+  
    结果:场追迹 n `&/ D  
    .1KhBgy^K  
    [d(U38BI  
    8Kg n"M3  
    结果:线性偏振光的场追迹 ADDSCY=,  
    r'^Hg/Jzt  
    nqI@Y)  
    i;/5Y'KZ  
    文档和技术信息 QPx_-  
    'ig&$fzb  
    w<Wf?aG  
    [N7{WSZ&  
    8$6Y{$&C  
    QQ:2987619807 o4m\~as)Y  
     
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