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    [分享]检查微型晶片的光学系统 [复制链接]

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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2021-07-13
    成像系统>包括光栅 g0M9v]c  
    ]$xN`O4W{  
    任务/系统说明 zSM;N^X8?  
    $9In\ x  
    h}@)oSX }  
    - )brq3L  
    亮点 Qf<@ :T*  
    50 VH>b_  
    *5Aq\g,n  
    gsD0N^  
     在复杂光学系统中,包含光栅(如,非常大的数值孔径(NA)) 9! 6\8  
     严格分析光栅衍射效率 lMW4SRk1C  
     考虑入射光的方向分布 ")?NCun>  
    <&Q(I+^  
    说明:光源 0*umf .R  
    #5a'Z+  
    { kF"<W  
    MRZ/%OZ.  
    说明:光束分束器 RbA.%~jjx*  
    =3= $F%  
    >Vl8ZQ8  
    D/7hVwMw:  
    说明:检测透镜系统 tMQz'3,X  
    {24Y1ohK  
    wg0hm#X  
    e|&}{JP{[  
    说明:微型晶片 WUesTA>  
    L^Q q[>  
    5J0Sc  
    ZUiI nO  
    说明:检测物镜 2B<0|EGtzw  
    3Hg}G#]WS  
    !(L\X'jH  
    JRT,%;*,  
    说明:探测器 ^,;AM(E  
    5lp};  
    JLZ=$d  
    RxZ#`$F  
    结果:3D光线追迹(只有0级) x-3!sf@  
    >QJfTkD$  
    O"Ua|8  
    \XI9 +::%  
    结果:3D光线追迹(所有级) w6w'Jx  
    lAcXi$pF  
    JMa[Ulz  
    {?zbrgQ<Z  
    结果:光线追迹 v!b 8_0~u6  
    tm[e?+Iq  
    RX DPT  
    (b}}'  
    结果:场追迹 $*Z Zh  
    PiTe/  
    OYC\+ =  
    n$S`NNO{]  
    结果:线性偏振光的场追迹 Q|+g= |%^  
    !R/- |Kjy  
    yavoGk  
     iNxuQ7~  
    文档和技术信息 EE<^q?[3^  
    5_}e?T&s  
    rW&# Xw/a  
    -< 0PBl  
    l*+5WrOS  
    QQ:2987619807 *~0Ko{Avc  
     
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