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    [分享]检查微型晶片的光学系统 [复制链接]

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    离线infotek
    科学家
     
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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2021-07-13
    成像系统>包括光栅 Vu= e|A#  
    Kg;u.4.-M  
    任务/系统说明 WeiDg,]e$b  
    &02I-lD4+  
    b0| ;v-v  
    ^0tO2$  
    亮点 7TU(~]Z  
    \?_M_5Nb  
     e0z(l/UB  
    @{q:179w^  
     在复杂光学系统中，包含光栅（如，非常大的数值孔径(NA)） *ufVZzP(  
     严格分析光栅衍射效率 ?se\?q  
     考虑入射光的方向分布 y>! 8mDvZ  
    (ebC80M  
    说明：光源 x@LNjlP  
    2{}8_G   
    ;@<Rh^g]  
    , G2( l  
    说明：光束分束器 ;O~k{5.iS  
    4.e0k<]N`  
    MXa(Oi2Gg  
    <L'6CBbP  
    说明：检测透镜系统 r "uQ|  
    /UG]hJ-wn  
    !)4'[5t"U  
    = 9!|%j  
    说明：微型晶片 or qL0i  
    =1r!'<"h  
    B{tROuN<  
    S&J>15oWM`  
    说明：检测物镜 ,^1B"#0{C<  
    $)#?4v<  
    %'w?fqk  
    H8!)zZ  
    说明：探测器 91\Sb:>  
    SpC6dkxD\  
    N8KH.P+  
    6Z#$(oC  
    结果：3D光线追迹（只有0级） %7hf6Xo=  
    &dky_H  
    8pXqgIbmb  
    d+WNg2#v  
    结果：3D光线追迹（所有级） S;^'Ek"Z.  
    x8!uI)#tS  
    ]o?r( 1  
    =Cc]ugl7-  
    结果：光线追迹 c5(4rT{(m  
    'm^]X3y*  
     }eAV8LU  
    0[ZB^  
    结果：场追迹 #b9V&/ln  
    (Xl+Zi>\{  
     | Di7 ,$c  
    cV4]Y(9  
    结果：线性偏振光的场追迹 1t/mq?z:  
    `-w,6  
    t{-*@8Ke  
     |OiM(E(  
    文档和技术信息 1*f*}M  
    k&9[}a*  
     |Ae7wXOs  
    kgHZaQnD  
     4Opf[3]  
    QQ：2987619807 az[#q  
     
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