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    [分享]检查微型晶片的光学系统 [复制链接]

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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2021-07-13
    成像系统>包括光栅 Wu\{)g{&  
    j~d<n_   
    任务/系统说明 A3VXh^y+  
    Ydw04WEJ  
    9 -\.|5;:  
    -^i[   
    亮点 b42"Y,sbB  
    s%K 9;(RWI  
    x4&<Vr  
    Gf(|?" H  
     在复杂光学系统中,包含光栅(如,非常大的数值孔径(NA)) ~@=*JzP?  
     严格分析光栅衍射效率 biy1!r  
     考虑入射光的方向分布 9U[ A   
    A.@S>H'P  
    说明:光源 {=5Wi|  
    w^e5"og]  
    +=v6 *%y"V  
    H B}!Lf#*P  
    说明:光束分束器 " Zo<$p3]  
    0=3Av8  
    8Z{e/wnVF  
    dWhki|c  
    说明:检测透镜系统 \G+ hi9T(  
    "enGWI H  
    HAof,* h$  
    Z%]s+V)st  
    说明:微型晶片 9ZbT41  
    r2WW}W  
    gVM&wo |  
    5C}1iZEJ  
    说明:检测物镜 8U98`# i  
    V&i/3g  
    Sm@T/+uG:  
    U}w,$ Y  
    说明:探测器 lV4|(NQ9  
    @2>A\0U  
    [8F1rZ&  
    {tq.c9+!d  
    结果:3D光线追迹(只有0级) C5q n(tv  
    w}wABO  
    ]kXiT Yg  
    sop *?0  
    结果:3D光线追迹(所有级) |\PI"rW  
    -@6R`m= >  
    7rF )fKW  
    qD@]FEw!O  
    结果:光线追迹 g j(|#n5C  
    <OQn |zU\  
    rD"$,-h  
    2pKkg>/S  
    结果:场追迹 Bu[sSoA  
    avJ%J"j8z  
    it Byw1/  
    g4Y1*`}2f  
    结果:线性偏振光的场追迹 nY]5pOF:  
    ~F gxhK2+  
    #@rvoi  
    >S<`ri'5_  
    文档和技术信息 }0Q_yuzx0m  
    36 &ghx  
    C;mcb$@  
    Pdq}~um3{  
    ,~ z*V;y)  
    QQ:2987619807  I&m C  
     
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