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成像系统>包括光栅 ?bH` EQe$~}[ 任务/系统说明 q[Tl#*P?y )<%CI#s# p//mVH%
jM-7 亮点 foUBMl GkxQEL
DS+BX`i%#p 4B9D 在复杂光学系统中,包含光栅(如,非常大的数值孔径(NA)) LSR0yCU
严格分析光栅衍射效率 `,O"^zR)z 考虑入射光的方向分布 ~ z^49Ys: KjMwrMgC 说明:光源 baBPf{< w`EC6ZN _%3p&1ld 7^V`B^Vu 说明:光束分束器 La28%10 Lf:#koaC 2Jky,YLcb DJ0jtv6nQ- 说明:检测透镜系统 ^ ;K"Y'f$ V["'eJA,, ]*U+nG _>a`dp.19 说明:微型晶片 aTfc>A; 2c51kG77E s1R#X~d z0x^HDAeC 说明:检测物镜 !u:Fn)j OLWn0 P'[ISGt }
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[!%hE 说明:探测器 3s?ZyQy mq}UUk@ >sdF:(JV& lKf kRyO_S 结果:3D光线追迹(只有0级) 7L!}F;yT A~v[6*~> 8#R%jjr%T &> _aY # 结果:3D光线追迹(所有级) A
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RcC 结果:场追迹 4]E1x l BpGyjoJ2
ADM!4L(s4} Uu@qS 结果:线性偏振光的场追迹 C?MKbD=K J7`;l6+Gb I *f@M} a^^OI|? 文档和技术信息 UV</Nx)3 5!wjYQt3
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