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成像系统>包括光栅 g0M9v]c
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} - )brq3L 亮点 Qf<@
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*5Aq\g,n gsD0N^ 在复杂光学系统中,包含光栅(如,非常大的数值孔径(NA)) 9 ! 6\8 严格分析光栅衍射效率 lMW4SRk1C 考虑入射光的方向分布 ")?NCun> <&Q(I+^ 说明:光源 0*umf.R #5a'Z+ { kF"<W MRZ/%OZ. 说明:光束分束器 RbA.%~jjx* =3=
$F% >Vl8ZQ8 D/7hVwMw: 说明:检测透镜系统 tMQz'3,X {24Y1ohK wg0hm#X e|&}{JP{[ 说明:微型晶片 WUesTA> L^Q q[> 5J 0Sc ZUiInO 说明:检测物镜 2B<0|EGtzw 3Hg}G#]WS !(L\X'jH JRT,%;*, 说明:探测器 ^,;AM(E 5lp}; JLZ=$ d RxZ#`$F 结果:3D光线追迹(只有0级) x-3!sf@ >QJfTkD$ O"Ua|8 \XI9 +::% 结果:3D光线追迹(所有级) w6w'Jx lAcXi$pF JMa[Ulz {?zbrgQ<Z 结果:光线追迹 v!b
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