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成像系统>包括光栅 5;Q9Z1
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2V)qnMxAZJ Ch,%xs.)G 在复杂光学系统中,包含光栅(如,非常大的数值孔径(NA)) D|R aj\R 严格分析光栅衍射效率 ePxwN? 考虑入射光的方向分布 YMD&U
do&0m[x% 说明:光源 j#[%-nOT ]?A-D,!( Y4)v>&H 1J @43>u{ 说明:光束分束器 ^{R.X:a nMU[S+ y~/i{a;1y UVj1nom 说明:检测透镜系统 )*T<s =]<JkWSk ;/|3U7{c SlojB ^% 说明:微型晶片 Aa`'g0wmc 'Bb@K[=s DY6ra% T 7UA|G2Zr 说明:检测物镜 'W]oQLD^R 8j<+ '
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