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    [分享]检查微型晶片的光学系统 [复制链接]

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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2021-07-13
    成像系统>包括光栅 ?bH`  
    EQe$~}[  
    任务/系统说明 q[Tl#*P?y  
    )<%CI#s#  
    p//mV H%  
    jM-7  
    亮点 foUBMl  
    GkxQEL  
    DS+BX`i%#p  
    4B9D  
     在复杂光学系统中,包含光栅(如,非常大的数值孔径(NA)) LSR0yCU  
     严格分析光栅衍射效率 `,O"^zR)z  
     考虑入射光的方向分布 ~z^49Ys:  
    KjMwrMgC  
    说明:光源 baBPf{<  
    w`EC6ZN  
    _%3p&1ld  
    7^V`B^Vu  
    说明:光束分束器 La28%10  
    Lf:#koaC  
    2Jky,YLcb  
    DJ0jtv6nQ-  
    说明:检测透镜系统 ^;K"Y'f$  
    V["'eJA,,  
    ] *U+nG  
    _>a`dp.19  
    说明:微型晶片 aTfc>A;  
    2c51kG77E  
    s1R#X~d  
    z0x^HDAeC  
    说明:检测物镜 !u:Fn)j  
    OLWn0  
    P'SGt  
    } @ [!%hE  
    说明:探测器 3s?ZyQy  
    mq}UUk@  
    >sdF:(JV&  
    lKf kRyO_S  
    结果:3D光线追迹(只有0级) 7L!}F;yT  
    A~ v[6*~>  
    8#R%jjr%T  
    &> _aY #  
    结果:3D光线追迹(所有级) A k~|r#@  
     ^Y!$WP  
    Zx`/88!x[  
    I FvigDj?  
    结果:光线追迹 _+)n}Se  
    4=%,0.yt  
    O$x +>^  
    @My RcC  
    结果:场追迹 4]E1x l  
    BpGyjo J2  
    ADM!4L(s4}  
    Uu@qS  
    结果:线性偏振光的场追迹 C?MKb D=K  
    J7`;l6+Gb  
    I*f@M}  
    a^^OI|?  
    文档和技术信息 UV</Nx)3  
    5!wjYQt3  
    -;;m/QM  
    _{ 2`sL)  
    zo8&(XS  
    QQ:2987619807 mwn$ey&QE  
     
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