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摘要 Y5J}*`[Mr a,B2;4" 光栅,特别是具有与波长相当的特征尺寸的光栅,具有偏振相关的光学特性。 这使得设计的具有高衍射效率的光栅难以用于任意偏振。 根据文献[T. Clausnitzer, et al,Proc. SPIE 5252,174-182(2003)]中报道的概念,我们展示了如何严格分析光栅的偏振相关特性,以及如何使用参数优化来设计具有高衍射效率的偏振无关光栅。 d@+}_R"c ;B8#Nf f^
q0#+k ) i0,'b61qE 设计任务 QFg,pTj 41pk )8~pt 6CK WKc xjm|ewo OHz>B!` 光栅特性与参数的严格分析 i\4Q v"% &}TfJ=gj 不同光栅周期的衍射效率 uxbDRlOS 3$]SP1Mc( M"q]jeaM rZ.,\ X_ 考虑光栅周期的选择 fxW,S h)O<bI8 6usy0g
D 偏振相关衍射特性 ^uU'Qc4S= t>04nN_@,s
?dWfupO{ 3YtFO;- 偏振相关衍射特性 I'23$IzPA fS( )F*J
SUSam/xeg" auV'`PR 偏振相关衍射特性 |FF"vRi8a7 C'iJFfgR (thDv rT@2 "8pfLI 基于参数优化的光栅设计 *O`76+iZ|_ 1|_8+)i; 具有固定周期的二维参数优化 hq5=>p LU#DkuIG
,bv?c@ 二维参数优化 - 设计#1 W*'gqwM& 8J&K_JC^
"82<}D^; x]({Po4 二维参数优化 - 设计#2 c$<7&{Pb @J[l^o9
6bL"Z OEu M6ol/.G[ 制造公差分析 - 设计#2 @$5! T>"GH M
wH:'5+u:6 qO5.NIs 不同光栅周期的三维参数优化 QlbhQkn Y,v8eOo45S
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