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摘要 IO/%X;Y_ F-K=Ot j 光栅，特别是具有与波长相当的特征尺寸的光栅，具有偏振相关的光学特性。 这使得设计的具有高衍射效率的光栅难以用于任意偏振。 根据文献[T. Clausnitzer, et al，Proc. SPIE 5252,174-182（2003）]中报道的概念，我们展示了如何严格分析光栅的偏振相关特性，以及如何使用参数优化来设计具有高衍射效率的偏振无关光栅。 7g@P$e] }2dz];bR  t [gz#' ,= o)R,[ 设计任务 LvP{"K; *6uZ"4rb.  =~;SUO $x_6
.AOZ, Lbb{ z 光栅特性与参数的严格分析 v4_p3& aj .-Y3oWV 不同光栅周期的衍射效率 xRu m q cspO5S>#  7kDX_ ,i Qn`$xY9mT 考虑光栅周期的选择 8j~:p! @
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