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摘要 vrhT<+q $%CF8\0 光栅,特别是具有与波长相当的特征尺寸的光栅,具有偏振相关的光学特性。 这使得设计的具有高衍射效率的光栅难以用于任意偏振。 根据文献[T. Clausnitzer, et al,Proc. SPIE 5252,174-182(2003)]中报道的概念,我们展示了如何严格分析光栅的偏振相关特性,以及如何使用参数优化来设计具有高衍射效率的偏振无关光栅。 wOEj)fp. +mmSfuO&\ V6&!9b L_uVL#To 设计任务 l|~A#kq \K{0L tqvN0vY5 "$Z= %.3Q 7$vYo
_ 光栅特性与参数的严格分析 Pw7]r<Q <ro7vPKNa 不同光栅周期的衍射效率 *8yAG]z F3v!AvA| B:;pvW] U0
Yll4E 考虑光栅周期的选择 b8`)y< |