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摘要 zmr=iK yel>-=Vn 光栅,特别是具有与波长相当的特征尺寸的光栅,具有偏振相关的光学特性。 这使得设计的具有高衍射效率的光栅难以用于任意偏振。 根据文献[T. Clausnitzer, et al,Proc. SPIE 5252,174-182(2003)]中报道的概念,我们展示了如何严格分析光栅的偏振相关特性,以及如何使用参数优化来设计具有高衍射效率的偏振无关光栅。 n/$Bd FH %T'?7^\> ~e{2Y% yl 0?Y 设计任务 + W@r p# LvWU
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)[p8 W**=X\"' 光栅特性与参数的严格分析 =7e8N&-nv ]XPGlM 不同光栅周期的衍射效率 #H!~:Xu /2FX"I[0V% *D AgcB 4T^M@+&| 考虑光栅周期的选择 @lTUag'U0 Ne^#5 T @b>]q$)(} 偏振相关衍射特性 _KZ(Yq>SdY ++dV5 N23s{S t 4aV3x&6X 偏振相关衍射特性 DVB:8"Bu @=;6:akz` aNqVs|H >,] #~d 偏振相关衍射特性 r#Pd@SV Ce:R
p? Gi<f/xQk> (XW#,=rYk 基于参数优化的光栅设计 k&~vVx Xrz0ch 具有固定周期的二维参数优化 Rp@u.C< &McmA kkJg/:g 二维参数优化 - 设计#1 wz,
\zh UoLO#C0i gIRCJ=e[b ~f@<] 二维参数优化 - 设计#2 3R{-\ZMd NGze: gPmO TM"-X\e~{ .1pEq~> 制造公差分析 - 设计#2 yq<YGNy! sRMzU xJ"KR:CD> Ja (/ym^ 不同光栅周期的三维参数优化 ALwuw^+ V`H#|8\i /tUl(Fp J` o?b%L 制造公差分析 r]E$uq
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