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摘要 g=8un`]7 !36]ud& 光栅,特别是具有与波长相当的特征尺寸的光栅,具有偏振相关的光学特性。 这使得设计的具有高衍射效率的光栅难以用于任意偏振。 根据文献[T. Clausnitzer, et al,Proc. SPIE 5252,174-182(2003)]中报道的概念,我们展示了如何严格分析光栅的偏振相关特性,以及如何使用参数优化来设计具有高衍射效率的偏振无关光栅。 {S.>BXX hpbf&S4 \?fI t? 7(a2L&k^ 设计任务 "&+3#D
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gF|c7 /bRg?Q L:&k(YOBA 光栅特性与参数的严格分析 3lxc4@Zmd Sm{>rR 不同光栅周期的衍射效率 R{hf9R , 3`.P'Fh(k ^"8wUsP kGYTl,A{ 考虑光栅周期的选择 Wd,a?31| 7Ke&0eAw Z}6^ve 偏振相关衍射特性 dFXc/VH') n~IVNB*
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2'0K WYM NZLAk~R;0 偏振相关衍射特性 kSncZ0K{ R!\EKH ?=Pd 6=GZLpv 基于参数优化的光栅设计 j7QX,_Q vG41C k1 具有固定周期的二维参数优化 (=x"Y{% /+K?
},$0&/>ft 二维参数优化 - 设计#1 `|Z}2vo;j tfO#vw,@
si4-3eC l ,|%7- 二维参数优化 - 设计#2 F'RUel_% 3INI?y}t
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制造公差分析 - 设计#2 YNdrWBf) [tT8_}v$LN
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