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摘要 g#o9[su 4jC7>mE 光栅,特别是具有与波长相当的特征尺寸的光栅,具有偏振相关的光学特性。 这使得设计的具有高衍射效率的光栅难以用于任意偏振。 根据文献[T. Clausnitzer, et al,Proc. SPIE 5252,174-182(2003)]中报道的概念,我们展示了如何严格分析光栅的偏振相关特性,以及如何使用参数优化来设计具有高衍射效率的偏振无关光栅。 :VE0eJ]J6 -fOBM 4 "p[3^<~uQ szp.\CMz 设计任务 XW:%YTv BzTzIo5 `o21f{1]X& B^/(wHBp S2EV[K8# 光栅特性与参数的严格分析 y 7z)lBy\ -m$2"_ 不同光栅周期的衍射效率 x M{SFF t:n$9WB) N'Vj& DWC PNH>LT^ 考虑光栅周期的选择 omI"xx h$p}/A ON"p^o>/_? 偏振相关衍射特性 lXXWQ= zICrp
g|M>C:ZT 3*-!0 偏振相关衍射特性 <DhuY/o #JR$RH
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jWso'K 偏振相关衍射特性 n<ecVFft XpPcQIM* !w/]V{9`X rdH^"( 基于参数优化的光栅设计 u]P9ip"Z 6\? 2=dNX 具有固定周期的二维参数优化 $g\p)- aU \/9 O5`u*V
n!U1cB{ 二维参数优化 - 设计#1 AR c &_' evZ8
u $qazj -i]2b 二维参数优化 - 设计#2 CKX3t:HP0 F<{k~
3dgPP@7d$ 7wHd*{^9N 制造公差分析 - 设计#2 ~xcU6@/ <kazV<"
eWXR #g!%> lU`t~|>r+ 不同光栅周期的三维参数优化 uEkGo5
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