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摘要 O+=}x]q*y ~JS@$ # 光栅，特别是具有与波长相当的特征尺寸的光栅，具有偏振相关的光学特性。 这使得设计的具有高衍射效率的光栅难以用于任意偏振。 根据文献[T. Clausnitzer, et al，Proc. SPIE 5252,174-182（2003）]中报道的概念，我们展示了如何严格分析光栅的偏振相关特性，以及如何使用参数优化来设计具有高衍射效率的偏振无关光栅。 ]4K4Nh~ xjrL@LO#  ~K(mt0T ) % ;a B#:p6 设计任务 Tv~Ho&LS dqFp"Xe"%  L2 %D$!9 K7i@7 @V^5_K 光栅特性与参数的严格分析 LIyb+rH#yg k_gl$`A 不同光栅周期的衍射效率 0eK>QZ_ M<Dvh y[  M.EL^;r HLc3KYIk 考虑光栅周期的选择 Pw6%,?lQ ]A1'+!1$  i4M%{]G3Y 偏振相关衍射特性 -uhVw_qq # sJ5#T iX
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tu/ l70 1$>> 偏振相关衍射特性 (io[O?te 2 ~V"[26t  K=pG,[ChA
z2#k /3%o= 基于参数优化的光栅设计 :0bjP Qj 8~|v:qk 具有固定周期的二维参数优化 ]x%sX|Rj
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