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摘要 ^.$r1/U )jQe K 光栅，特别是具有与波长相当的特征尺寸的光栅，具有偏振相关的光学特性。 这使得设计的具有高衍射效率的光栅难以用于任意偏振。 根据文献[T. Clausnitzer, et al，Proc. SPIE 5252,174-182（2003）]中报道的概念，我们展示了如何严格分析光栅的偏振相关特性，以及如何使用参数优化来设计具有高衍射效率的偏振无关光栅。 9FR1Bruf 2>_LX!kyP]  ZkV vL4yIK myo~Qqt? 设计任务 ]ge^J3az$u '-1jWw:8  oqU#I~ - nm%4L ;V(}F!U\z 光栅特性与参数的严格分析 #I@[^^Vw ( ;S ]{z% 不同光栅周期的衍射效率 i?s&\3--Y 1) kl  jwE(]u W*WH .1& 考虑光栅周期的选择 ]NhWhJ: Nv$gKC6 ,G  )T~ +>+t 偏振相关衍射特性 MxvxY,~{0 )<&CnK
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基于参数优化的光栅设计 a9q?9X aRb:.\ \zc 具有固定周期的二维参数优化 BE@H~<E J
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 YyBq+6nq5 二维参数优化 - 设计＃1 KKTfxNxJn F$.s 6Hh.
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 @<{ #v .T V<I${i$]0 不同光栅周期的三维参数优化 &7nfTc
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