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摘要 :kZ]Swi 5
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sY?C 光栅,特别是具有与波长相当的特征尺寸的光栅,具有偏振相关的光学特性。 这使得设计的具有高衍射效率的光栅难以用于任意偏振。 根据文献[T. Clausnitzer, et al,Proc. SPIE 5252,174-182(2003)]中报道的概念,我们展示了如何严格分析光栅的偏振相关特性,以及如何使用参数优化来设计具有高衍射效率的偏振无关光栅。 b"g^Jm! j 0%xk tf j/V_h'} D5zc{) / 设计任务 vc#o(?g b+s'B4@rb Aez2n(yac !D22HSv(w 6v@Prw@.b 光栅特性与参数的严格分析 &-/J~b)" / Pjd" 不同光栅周期的衍射效率 [bLKjD BKFO^ +=WBH' NT6jwK.?)? 考虑光栅周期的选择 cMK|t;"
3 LcKc#)'EE s'O%@/;J 偏振相关衍射特性 .+7n@Sc 'O%*:'5k
XT0-"-q RXRbW %b 偏振相关衍射特性 [_N1
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kn#?+Q ?MDo. z3 偏振相关衍射特性 s:<y\1Ay ?M90K)&g{ 4Q+ ,_iP eKP>}` 基于参数优化的光栅设计 za>%hZf\ Y]
1U108 具有固定周期的二维参数优化 1dD%a91 +5fB?0D;
1D%P;eUDp 二维参数优化 - 设计#1 /G5KNSi lB}?ey
=K@LEZZ'/< E2Sj IR} 二维参数优化 - 设计#2 4n#u?) mjOxmwo
Cq@7oi]W0 S5|7D[* 制造公差分析 - 设计#2 h`Jc%6o '
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