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摘要 D5gFXEeh T )&A2q 光栅,特别是具有与波长相当的特征尺寸的光栅,具有偏振相关的光学特性。 这使得设计的具有高衍射效率的光栅难以用于任意偏振。 根据文献[T. Clausnitzer, et al,Proc. SPIE 5252,174-182(2003)]中报道的概念,我们展示了如何严格分析光栅的偏振相关特性,以及如何使用参数优化来设计具有高衍射效率的偏振无关光栅。 [>vLf2OID (fhb0i- CmWeY$Jb [DYQ"A=)d 设计任务 K,tQ!kk %6t:(z }t!Gey lPe&h]@ > 7kC^
30@T3 光栅特性与参数的严格分析 !@5 9) ^23~ZHu 不同光栅周期的衍射效率 5f rX ~kV/!= ~EW(Gs!=C 5G}?fSQ> 考虑光栅周期的选择 0RzEY!9g+ I !-
U'{ q#~ (/ 偏振相关衍射特性 \a<wKTkn s$IDLs,WM
g9OY<w5s] UklUw 偏振相关衍射特性 )J=! L\ ?C]vS_jAh
;2G*wR S*pGMuui 偏振相关衍射特性 pt?bWyKG )',R[|< )w em|:H pR<`H' 基于参数优化的光栅设计 cF*TotU_m .C%<P"=J4h 具有固定周期的二维参数优化 aNsBcov3O n>z9K')
Nd4f^Y 二维参数优化 - 设计#1 KV91)U 'I|v[G$l
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v}S+!|U 制造公差分析 - 设计#2 hXw]K" SZ7:u895E
A.F%Ycq ?JbilK}a 不同光栅周期的三维参数优化 `b&%Hm 3=#<X-);
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