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摘要 ':3[?d1Es F]t=5
-O< 光栅，特别是具有与波长相当的特征尺寸的光栅，具有偏振相关的光学特性。 这使得设计的具有高衍射效率的光栅难以用于任意偏振。 根据文献[T. Clausnitzer, et al，Proc. SPIE 5252,174-182（2003）]中报道的概念，我们展示了如何严格分析光栅的偏振相关特性，以及如何使用参数优化来设计具有高衍射效率的偏振无关光栅。 #uF`|M$u 9)t[YE:U3!  &Q#*Nnb3 R$+p4@?S 设计任务 F{.\i *$ >JAWcT)d  vw4b@v-XQ3 Eh)VT{vp &=MVX>[ 光栅特性与参数的严格分析 <n b%$2r1 8d2\H*a9 ~ 不同光栅周期的衍射效率 H>W8F2VT C
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 1= 7ASS9 T9XUNR{& 考虑光栅周期的选择 TEh .?
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Mn/@?K?y 基于参数优化的光栅设计 ;kY~-Om $XTtD UP@
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 !yxqOT- 二维参数优化 - 设计＃1 ;Xy=;Z.]i ,`k&9o7
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 U: Wet, @aZ Tx/ 制造公差分析 - 设计＃2 ($kw*H{Ah^ ?h&?`WO (
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