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摘要 LN5q_ZvR W+4Bx=Mj 光栅,特别是具有与波长相当的特征尺寸的光栅,具有偏振相关的光学特性。 这使得设计的具有高衍射效率的光栅难以用于任意偏振。 根据文献[T. Clausnitzer, et al,Proc. SPIE 5252,174-182(2003)]中报道的概念,我们展示了如何严格分析光栅的偏振相关特性,以及如何使用参数优化来设计具有高衍射效率的偏振无关光栅。 qwn EVjf J*6B~)Sp@ xbHI4A"Z SD@ 0X[ 设计任务 ,4-],~T FlrY Xau Qs8yJH`v id`RscV] +t
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<1_3`t 基于参数优化的光栅设计 H_1&>@ 3 Kf,AnKkn' 具有固定周期的二维参数优化 i;IhsKO0R T5:xia>8O 3mg:9]X9 二维参数优化 - 设计#1 iorQ/( Z,~@_;F CqU ^bVs {QOy'
8/ 二维参数优化 - 设计#2 N+pCC ]<Q& EEx:Xk%5hX 2l:cP2fa 制造公差分析 - 设计#2 !g#y$ K(Tej W# p^ OHLT 5rQu^6& 不同光栅周期的三维参数优化 VT#`l0I} xv%]g=Q +u&3pK>f :j/sTO= 制造公差分析 3&+nV1
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