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摘要 t:c.LFrF CH/rp4NeSy 光栅，特别是具有与波长相当的特征尺寸的光栅，具有偏振相关的光学特性。 这使得设计的具有高衍射效率的光栅难以用于任意偏振。 根据文献[T. Clausnitzer, et al，Proc. SPIE 5252,174-182（2003）]中报道的概念，我们展示了如何严格分析光栅的偏振相关特性，以及如何使用参数优化来设计具有高衍射效率的偏振无关光栅。 lRdChoL$2 ~_ a-E  r%N)bNk~ F gI3 设计任务 MY/}-* | bN88ua}k{  59-c<I/}f J.
@9zA& XZwK6F)L 光栅特性与参数的严格分析 BluVm M3Vj |D.ND%K& 不同光栅周期的衍射效率 Xm 2'6f, u2[w#  i@CxI<1' |)G<,FJQE_ 考虑光栅周期的选择 _t XlF; w*MpX
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