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摘要 #pP4\n-~hU q\ FF)H 光栅,特别是具有与波长相当的特征尺寸的光栅,具有偏振相关的光学特性。 这使得设计的具有高衍射效率的光栅难以用于任意偏振。 根据文献[T. Clausnitzer, et al,Proc. SPIE 5252,174-182(2003)]中报道的概念,我们展示了如何严格分析光栅的偏振相关特性,以及如何使用参数优化来设计具有高衍射效率的偏振无关光栅。 R;&C6S r#iZ FL3q YO7Y1(` D-e0q)RSU 设计任务 tAFKq>\ o&P}GcEIw R>SS\YC'X `<!Nk^2ap 1ael{b! 光栅特性与参数的严格分析 OJiW@Z_\ b/'{6zn 不同光栅周期的衍射效率 L;zwqdI vdw5T&Q{{C l+!!S"=8)~ 7S$Am84% 考虑光栅周期的选择 zWKnkIit, /5Aum?~ !.1oW( 偏振相关衍射特性 3qJOE6[}% Klfg:q:j+b
lM1~K [8|Y2Z\N 偏振相关衍射特性 >B>[_8=f@ $/;D8P5/&=
j6v|D>I .4on7<-a 偏振相关衍射特性 Aq'yr,
~C[p}MED ]<b$k Z9X<W` 基于参数优化的光栅设计 ?;84 M@ K$v
SdpC 具有固定周期的二维参数优化 ]0v;;PfVl6 Z]?Tx2|7
p3tu_If 二维参数优化 - 设计#1 +&hhj~I. ?LJ$:u
.OhpItn _Z~cJIEU 二维参数优化 - 设计#2 :"m~tU3& !ieMhJ5r
d4ANh+}X"_ 6oTWW@ 制造公差分析 - 设计#2 3V=(P.A Tm $+(Df|)
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