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摘要 4!{lySW <rgK}&q
光栅，特别是具有与波长相当的特征尺寸的光栅，具有偏振相关的光学特性。 这使得设计的具有高衍射效率的光栅难以用于任意偏振。 根据文献[T. Clausnitzer, et al，Proc. SPIE 5252,174-182（2003）]中报道的概念，我们展示了如何严格分析光栅的偏振相关特性，以及如何使用参数优化来设计具有高衍射效率的偏振无关光栅。 *$%~/Q@] 69r%b 7#  \0 h>!u x+4K ,r; 设计任务 UAXp; W` 95#]6*#[4!  K_L7a>Fr lfM vNv 1 jB0gNe 光栅特性与参数的严格分析 DDR4h"Y }O~D3z4l0 不同光栅周期的衍射效率 4dFr~ { HcIJ&".~  wic sf <] c\o_U9=n 考虑光栅周期的选择 @>46.V{P}B B)@Xz<Q  h?dSn:Y\? 偏振相关衍射特性 MV$E_@pg ]>)shH=Yx
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 DI8I'c-P 0o$RvxJ 偏振相关衍射特性 % %X/gvaJ @ xo8"kl  Awfd0L;9
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 *bp N!2 qfT9g>EF 二维参数优化 - 设计＃2 ;C*2Djb*n ^NU_Tp:2^
 *<cRQfA1 &J/!D# 制造公差分析 - 设计＃2 yx?oxD Jg M/W9"N[ta
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