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摘要 _X)]/A%@ /sVmQqVY 光栅,特别是具有与波长相当的特征尺寸的光栅,具有偏振相关的光学特性。 这使得设计的具有高衍射效率的光栅难以用于任意偏振。 根据文献[T. Clausnitzer, et al,Proc. SPIE 5252,174-182(2003)]中报道的概念,我们展示了如何严格分析光栅的偏振相关特性,以及如何使用参数优化来设计具有高衍射效率的偏振无关光栅。 tAb3ejCo? JV!}"[ pe+m%;nzR +PO& z!F 设计任务 G+iJS!= 2Mu(GUe; U27ja|W^ _K~?{". 'YEiT#+/ 光栅特性与参数的严格分析 ;e~K<vMm;y %;` 3I$ 不同光栅周期的衍射效率 !p)cP"fa hflDVGBW u[!Ex=9W Q?%v b 考虑光栅周期的选择 hy:K) _
Pv@;)s(- _"'-fl98* 偏振相关衍射特性 6.4,Qae9E +Jc-9Ko\c;
16I(S b$FXRR\G 偏振相关衍射特性 U3w*z6OG ,qlFk|A|
5gPAX $j H >2)!w 偏振相关衍射特性 I3?:KVa sQT,@'" {XYf"ONi Vs[!WJ
7 基于参数优化的光栅设计 !Jo.Un7 QLTE`t5w3' 具有固定周期的二维参数优化 dk2o>jI4; L G9#D
F~O!J@4] 二维参数优化 - 设计#1 o6;VrpaNi z~a]dMs"(P
fKT(.VNq5 @i:_JOl 二维参数优化 - 设计#2 6UJBE<ntj "i*Gi
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?jzadC el Qod2m$>wp} 制造公差分析 - 设计#2 sw &sF kLqFh<
Wkv**X} I!Za2? 不同光栅周期的三维参数优化 IN]bAd8" )O%lh
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