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摘要 yY[<0|o u $/=nU*pd 光栅,特别是具有与波长相当的特征尺寸的光栅,具有偏振相关的光学特性。 这使得设计的具有高衍射效率的光栅难以用于任意偏振。 根据文献[T. Clausnitzer, et al,Proc. SPIE 5252,174-182(2003)]中报道的概念,我们展示了如何严格分析光栅的偏振相关特性,以及如何使用参数优化来设计具有高衍射效率的偏振无关光栅。 5aln>1x>hn F)+{AQL Pu"R,a p/U+0f 设计任务 |1ST=O7.LH AC;V
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t?I8 N\HQN0d9 L0&RvI# 光栅特性与参数的严格分析 *+uHQgn( qTAc[Ko 不同光栅周期的衍射效率 FBpH21|/y dn}` i Ee@4 %/v J|X
6j&- 考虑光栅周期的选择 ynw5-aS3 ~v'3"k6 8F:e|\SB# 偏振相关衍射特性 }|5VRJA Kx=4~
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DK=cVpN%s + +aL4: 偏振相关衍射特性 x7vctjM| UN%Vg:= !2z?YZhu E@-KGsdhK 基于参数优化的光栅设计 b8%C*r7 K
=wBpLB 具有固定周期的二维参数优化 \EKU*5\Hp> {5d9$v7k4
5w\fSY 二维参数优化 - 设计#1 OKi\zS $b<6y/"
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bJYda) 6m VuyI 制造公差分析 - 设计#2 K]U;?h&CZc l3Lyea:
h.!}3\Y HLBkR>e 不同光栅周期的三维参数优化 {tThy# t=*@yQ
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