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摘要 rBS2>?
{ $X X 光栅,特别是具有与波长相当的特征尺寸的光栅,具有偏振相关的光学特性。 这使得设计的具有高衍射效率的光栅难以用于任意偏振。 根据文献[T. Clausnitzer, et al,Proc. SPIE 5252,174-182(2003)]中报道的概念,我们展示了如何严格分析光栅的偏振相关特性,以及如何使用参数优化来设计具有高衍射效率的偏振无关光栅。 ,?fN#gc : Kj=;>u 5(KG=EHj_ (Q\\Gw 设计任务 EuLXtq `M,Nd'5&| C*$|#.l B0S8vU >]^>gUmq 光栅特性与参数的严格分析 OM1*Iy 5UPPk$8` 不同光栅周期的衍射效率 tb: bD d_} /XjN%| [Yn;G7cK 考虑光栅周期的选择 6/VNuQ_# G^ K*+ >QA/Mi~R 偏振相关衍射特性 HqB|SWyK 9N<*S'Z
Q;=6ag' ofVEao 偏振相关衍射特性 vT&j{2U7XW <( cM*kV
<&KLo>B^ qjJ{+Rz2 偏振相关衍射特性 2B5A!?~> 2\DTJ`Y, Al=(sHc' ~v^%ze 基于参数优化的光栅设计 IPwj_jvw
,0BR-# 具有固定周期的二维参数优化 VjC*(6<Gj -3u@hp_
r[6#G2 二维参数优化 - 设计#1 2%`^(\y F\zkyk4
\nrgAC-b n9N#&Q"7m
二维参数优化 - 设计#2 Cc@=? qPL^zM+
[0h* & >6*(}L9 制造公差分析 - 设计#2 ROP C | '.=Wk^,Ua
lv=yz\ v<{wA`'R+ 不同光栅周期的三维参数优化 -J-3_9I hN Z4v/
t|go5DXz4 %~][?Y >< 制造公差分析 : =
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