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摘要 zN2sipJS8 *
+OAc`8 光栅,特别是具有与波长相当的特征尺寸的光栅,具有偏振相关的光学特性。 这使得设计的具有高衍射效率的光栅难以用于任意偏振。 根据文献[T. Clausnitzer, et al,Proc. SPIE 5252,174-182(2003)]中报道的概念,我们展示了如何严格分析光栅的偏振相关特性,以及如何使用参数优化来设计具有高衍射效率的偏振无关光栅。 cgz'6q'T J,7_5V@jJ @Cz1rKU^l &v 5yo}s 设计任务 Cs]xs9 DU 8)c$ "H G:by da I-* Jt)<RMQ^R 光栅特性与参数的严格分析 =WO{h48] A=XM(2{aN 不同光栅周期的衍射效率 >@oO7<WB l@j!j]nE xFpJ#S& e;!<3b 考虑光栅周期的选择 >`oO(d}n[0 Pyyx/u+?@ %+pXzw`B 偏振相关衍射特性
VJ=!0v IloHU6h'
u[dI81` q5HHMHB 偏振相关衍射特性 G53!wIW2: niA{L:4
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g Pc4sReo' 偏振相关衍射特性 GbL,k?ey 7gJy xQ %"KBX~3+Kj mS%D"
e 基于参数优化的光栅设计 ~z< ? Wh ]h|GaHiE 具有固定周期的二维参数优化 F'*{Fk
h D2?7=5DgS
lT(MywNsg 二维参数优化 - 设计#1 'E7|L@X"r CV&
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S8]g'! V'6%G:?0a 二维参数优化 - 设计#2 dvXu?F55 zF{z_c#3@
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"3 制造公差分析 - 设计#2 L^0jyp `[:f;2(@
Z#Zk) G4=v2_] 不同光栅周期的三维参数优化 9xWeVlfQ r-!8in2
N*$Q(K tZ6KU11O 制造公差分析 a2g1 5;kM \?GMtM,
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