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摘要 u0$7k9mE 4: cbasy 光栅，特别是具有与波长相当的特征尺寸的光栅，具有偏振相关的光学特性。 这使得设计的具有高衍射效率的光栅难以用于任意偏振。 根据文献[T. Clausnitzer, et al，Proc. SPIE 5252,174-182（2003）]中报道的概念，我们展示了如何严格分析光栅的偏振相关特性，以及如何使用参数优化来设计具有高衍射效率的偏振无关光栅。 n:he`7.6O MCQ>BP  sVkR7
^KsG oKt<s+r 设计任务 !gy'_Y /+RNPQO O  5 LX3. 0s0[U ~< , \=;b/ 光栅特性与参数的严格分析 q30WUO; p"H8;fPA0 不同光栅周期的衍射效率 _DC/`_' Beqhe\{  d5A!kU _. zx-+u7qKH 考虑光栅周期的选择 q22cp&gmX p{Pa(Z]G  F.A<e #e? 偏振相关衍射特性 ;~]&$ 2sk K?[pCF2C
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