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摘要 D0Ls~qr ^;$9>yi1 光栅,特别是具有与波长相当的特征尺寸的光栅,具有偏振相关的光学特性。 这使得设计的具有高衍射效率的光栅难以用于任意偏振。 根据文献[T. Clausnitzer, et al,Proc. SPIE 5252,174-182(2003)]中报道的概念,我们展示了如何严格分析光栅的偏振相关特性,以及如何使用参数优化来设计具有高衍射效率的偏振无关光栅。 D'Uc?2X,& |w -s{L3@+ xXJzE|)1h! fT<3~Z>m 设计任务 ?.ofs} }a%Wu 7D .tsXQf fT=ZiHJ3Gu )ri'W
<l 光栅特性与参数的严格分析 ,t|_Nc
Ifq|MZ\ 不同光栅周期的衍射效率 8jiBLZkRf xscR Bx (1'sBm7F h}}7_I9 考虑光栅周期的选择 QRF:6bAxsL 9QkssI aw7pr464 偏振相关衍射特性 Y"dTm;& m-qOyt
>f;oY9 {m 9gZS)MZ 偏振相关衍射特性
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5UQ[vHMqI \_+Af` 偏振相关衍射特性 aZmbt,.V , _ xJ9_ f%REN3=5K =4Jg6JKYg 基于参数优化的光栅设计 clr]gib avqJ[R 具有固定周期的二维参数优化 4Cvo^k/I C%P.`Nx A
@VsK7Eo 二维参数优化 - 设计#1 (e3?--~b6 /FcwsD\=$
sZokiFJ X4"[,:Tw 二维参数优化 - 设计#2 Kn\$\?u C+gu'hD
lPz5.(5' [VOw:|Tt 制造公差分析 - 设计#2 h5))D! ~$bQ;`,L
;=8@@9 'b_SQ2+A 不同光栅周期的三维参数优化
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