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摘要 v7rEU S - .
J "g.Q 光栅，特别是具有与波长相当的特征尺寸的光栅，具有偏振相关的光学特性。 这使得设计的具有高衍射效率的光栅难以用于任意偏振。 根据文献[T. Clausnitzer, et al，Proc. SPIE 5252,174-182（2003）]中报道的概念，我们展示了如何严格分析光栅的偏振相关特性，以及如何使用参数优化来设计具有高衍射效率的偏振无关光栅。 _g+^ jR4 S\7-u \)  , sEu[m Z i-)PK^ 设计任务 aA Hx^X^ xyGk\= S  /jJi`'{U 4k9O6 5GD6%{\O 光栅特性与参数的严格分析 }?f%cRT$ F+.:Ry FS 不同光栅周期的衍射效率 [%U (l< c_#\'yeW  fmH"&>Loc BR1oE3in 考虑光栅周期的选择 9b`J2_ ]k u&)+~X  b!W!Vvf^x 偏振相关衍射特性 ByR%2_6& sjBP #_ lW
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\B _g=K 偏振相关衍射特性 6FMW}*6<
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32[ lsU>1 基于参数优化的光栅设计 Xy{\>}i]N
3Qt-%=b& 具有固定周期的二维参数优化 V+7x_>!&)
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 zUg-M 二维参数优化 - 设计＃1 CB(Qy9C%h[ Y{P0?`
 C[h"w'A2 gC-3ghmgS 二维参数优化 - 设计＃2 `Q d_Gu,M Gi})*U]P|
 %";bgU2Q <d xc"A 制造公差分析 - 设计＃2 # biI=S c]]OV7;)>
 T _}9b "F/% {0d 不同光栅周期的三维参数优化
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