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摘要 ,=`iQl3(y/ ^THyohK 对于如背光、光学连接器和近眼显示等许多应用来说,光如何高效地耦合到波导结构中是一个重要问题。对于这些应用,众所周知倾斜光栅可以高效率地耦合单色光。这个例子展示了使用严格的傅立叶模态法(FMM,也称为RCWA)对倾斜光栅进行优化。对于预定义方向的级次,优化得到的光栅的衍射效率超过90%。此外,还研究了斜率偏差和光栅圆角的影响。 ^_JByBD 9u] "($
?TY/'-M5 aui3Mq#f 建模任务 '*n2<y #]lK! :
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($[)Tcq*~ -9^A,vX 在VirtualLab Fusion中查看 *e
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M;F` ;B6m;[M+ VirtualLab Fusion的工作流程 ?qR11A};tG l[M?"<Ot; •构造光栅结构 >PoVK{&y - 使用特殊介质配置光栅结构[用例] %mMPALN]{ - 倾斜光栅的高级配置[用例] Kld#C51X f •分析光栅衍射效率 zM!2JC - 光栅级次分析器[用例] QT7PCHP •使用参数优化优化光栅参数 \I
#}R4z •使用参数运行进行容差分析 *1CZRfWI - 参数运行文档的用法[用例] 0=V
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#Iwxt3K =w2_1F" VirtualLab Fusion技术 &20}64eW% jRNDi_u?Wb
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