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摘要 1|gEY;Ru `$i`i 'S 对于如背光、光学连接器和近眼显示等许多应用来说,光如何高效地耦合到波导结构中是一个重要问题。对于这些应用,众所周知倾斜光栅可以高效率地耦合单色光。这个例子展示了使用严格的傅立叶模态法(FMM,也称为RCWA)对倾斜光栅进行优化。对于预定义方向的级次,优化得到的光栅的衍射效率超过90%。此外,还研究了斜率偏差和光栅圆角的影响。 $$8"i+,K +EpT)FJX
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l&C%oW ;bZ)q 在VirtualLab Fusion中查看 xF ,J[Aj hsl Js^ p%G\5.GcJL 51rM6
BT VirtualLab Fusion的工作流程 zcA"\ Fc nR}TE •构造光栅结构 31_5k./ - 使用特殊介质配置光栅结构[用例] 8gx^e./ - 倾斜光栅的高级配置[用例] #<?j784 •分析光栅衍射效率 s{CSU3vYmi - 光栅级次分析器[用例] e0hT •使用参数优化优化光栅参数 ;`xu)08a •使用参数运行进行容差分析 lh5k@\X - 参数运行文档的用法[用例] lID5mg31 + W +<~E
B[Tw0rQ XL"e<P;t VirtualLab Fusion技术 Mk^o*L{H 9,9( mbWJv
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