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摘要 +/mCYI "o u{bKe
对于如背光、光学连接器和近眼显示等许多应用来说，光如何高效地耦合到波导结构中是一个重要问题。对于这些应用，众所周知倾斜光栅可以高效率地耦合单色光。这个例子展示了使用严格的傅立叶模态法（FMM，也称为RCWA）对倾斜光栅进行优化。对于预定义方向的级次，优化得到的光栅的衍射效率超过90％。此外，还研究了斜率偏差和光栅圆角的影响。 a+k3w zJ
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 a[}?!G-Wt| 7u :kR;wk 在VirtualLab Fusion中查看 !S GRK01 PG Y x] r  ph!h8@e ta x:9j|~ VirtualLab Fusion的工作流程 ' T7 3V yqtHlz% •构造光栅结构 U y)pEE u - 使用特殊介质配置光栅结构[用例] <KCyXU* - 倾斜光栅的高级配置[用例] [Ran/D\. •分析光栅衍射效率 Tl]yl$ - 光栅级次分析器[用例] P;'ZdZ(SLu •使用参数优化优化光栅参数 y
)<+?@sP •使用参数运行进行容差分析 7,alZ"%W - 参数运行文档的用法[用例] f$dIPt(
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