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摘要 ZZ>F ^t LNcoTdv}k 对于如背光、光学连接器和近眼显示等许多应用来说,光如何高效地耦合到波导结构中是一个重要问题。对于这些应用,众所周知倾斜光栅可以高效率地耦合单色光。这个例子展示了使用严格的傅立叶模态法(FMM,也称为RCWA)对倾斜光栅进行优化。对于预定义方向的级次,优化得到的光栅的衍射效率超过90%。此外,还研究了斜率偏差和光栅圆角的影响。 s2`} ~ vM?,#:5
mWF\h>]|. O{x-9p 建模任务 CHyT'RT W[f%m0
@ 3rJ $6W f}EsS 1阶的参数优化 -HF1c D@ %!|:
b,x$wP+ <Uu[nUJ 结果-容差分析 F9k}zAY\J r{{5@
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[0D.+("EW 1HLU
& 在VirtualLab Fusion中查看 ^HU>fkSk WDI3* dVMLn4[,MA $9h^tP'CV VirtualLab Fusion的工作流程 =zR9^k @~&|BvK% \ •构造光栅结构 <qVOd.9c - 使用特殊介质配置光栅结构[用例] f\FqZ?w - 倾斜光栅的高级配置[用例] Wo Z@ •分析光栅衍射效率 {113B) - 光栅级次分析器[用例] {]%7-4E •使用参数优化优化光栅参数 >`^;h]Q •使用参数运行进行容差分析 l,5isq
;m - 参数运行文档的用法[用例] "pO**z$Z }zIWagC6
LVy`U07C V <kJ`qbOU VirtualLab Fusion技术 ju!V1ky 7[0<,O6Q
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