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摘要 J<QZ)<T,& #Az#_0= 对于如背光、光学连接器和近眼显示等许多应用来说,光如何高效地耦合到波导结构中是一个重要问题。对于这些应用,众所周知倾斜光栅可以高效率地耦合单色光。这个例子展示了使用严格的傅立叶模态法(FMM,也称为RCWA)对倾斜光栅进行优化。对于预定义方向的级次,优化得到的光栅的衍射效率超过90%。此外,还研究了斜率偏差和光栅圆角的影响。 jJ$B^Y"4 B_Q{B|eEt&
V;xPZ2C; 8%#8PLB2 建模任务 b;UBvwY_ ~3?-l/ $
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Lc{arhN KD &nLm! 结果-容差分析 J 7R(X p|t" 4HQ
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n9+33^ PT SWV*w[X<X 在VirtualLab Fusion中查看 k56Qas+3= djOjd, q>2bkc GY# g%f5hy VirtualLab Fusion的工作流程 ~DInd-<5 <#C,66k •构造光栅结构 PR.3EL - 使用特殊介质配置光栅结构[用例] >o?v[:u* - 倾斜光栅的高级配置[用例] kL*P 3
0 •分析光栅衍射效率 <u!cdYo@ - 光栅级次分析器[用例] u[b |QR=5 •使用参数优化优化光栅参数 @=Q!a (g •使用参数运行进行容差分析 mQ:{>` - 参数运行文档的用法[用例] lI=<lmM0|/ \"a{\E,{;
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