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摘要 JW % /^' A K~`pq[.
对于如背光、光学连接器和近眼显示等许多应用来说，光如何高效地耦合到波导结构中是一个重要问题。对于这些应用，众所周知倾斜光栅可以高效率地耦合单色光。这个例子展示了使用严格的傅立叶模态法（FMM，也称为RCWA）对倾斜光栅进行优化。对于预定义方向的级次，优化得到的光栅的衍射效率超过90％。此外，还研究了斜率偏差和光栅圆角的影响。 HV $9b~(
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 ?x5wS$^q< c4ZuW_&: 在VirtualLab Fusion中查看 hr_9;,EPh E,<\T6/%q  *gM,x4 Y jIx8k8 VirtualLab Fusion的工作流程 ;LQ# *NjL\ JGk3 b=K •构造光栅结构 5q(]1|Se i - 使用特殊介质配置光栅结构[用例] w'oo-.k - 倾斜光栅的高级配置[用例] $S6HZG:N •分析光栅衍射效率 o [bE - 光栅级次分析器[用例] M1/M}~ •使用参数优化优化光栅参数 L(WL,xnBy •使用参数运行进行容差分析 ;t;Y.*&=S - 参数运行文档的用法[用例] @)W(q5)}9"
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 M# \ < %1-K);S J VirtualLab Fusion技术 c-4m8Kg?L
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