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摘要 053W2Si '{oe}]., 对于如背光、光学连接器和近眼显示等许多应用来说,光如何高效地耦合到波导结构中是一个重要问题。对于这些应用,众所周知倾斜光栅可以高效率地耦合单色光。这个例子展示了使用严格的傅立叶模态法(FMM,也称为RCWA)对倾斜光栅进行优化。对于预定义方向的级次,优化得到的光栅的衍射效率超过90%。此外,还研究了斜率偏差和光栅圆角的影响。 QdW%5lM+ 5&9(d_#H
{&h &: @Qc['V) 建模任务 b$Uwj<v 06Hn:IT18
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2Vu|uZd *!s4#|h 结果-容差分析 y6PAXvv'{ 1
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dIpt&nH&$ 在VirtualLab Fusion中查看 f`IgfJN yh0|f94m q/B+F%QiMQ uRL3v01?H0 VirtualLab Fusion的工作流程 %~W}262 a<Ns C1 •构造光栅结构 S|>Up%{n[ - 使用特殊介质配置光栅结构[用例] y2qESAZ%k} - 倾斜光栅的高级配置[用例] _N-7H\hF •分析光栅衍射效率 d#b{4zF" - 光栅级次分析器[用例] f<}!A$wd •使用参数优化优化光栅参数 <m6Xh^Ko; •使用参数运行进行容差分析 Z956S$gS - 参数运行文档的用法[用例] "=".ne 5~44R@`
_L=vK=, 9nG] .@H VirtualLab Fusion技术 U1"t|KW8 ROjjN W`W
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9]KkY= HJ'93, 文件信息 3=<iGX"z `-/l$A}
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