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摘要 M)wNu #(a ;w
对于如背光、光学连接器和近眼显示等许多应用来说，光如何高效地耦合到波导结构中是一个重要问题。对于这些应用，众所周知倾斜光栅可以高效率地耦合单色光。这个例子展示了使用严格的傅立叶模态法（FMM，也称为RCWA）对倾斜光栅进行优化。对于预定义方向的级次，优化得到的光栅的衍射效率超过90％。此外，还研究了斜率偏差和光栅圆角的影响。 Yy`A0v
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 R@>^t4#_Q0 gd 7! +6 在VirtualLab Fusion中查看 6-5{7 E}/b od,,2pwK+  KRP6b:+4L .]<gm9l VirtualLab Fusion的工作流程 UxMe i sdd%u~4,X •构造光栅结构 `m"K_\w=/ - 使用特殊介质配置光栅结构[用例] }#= t%uZ/ - 倾斜光栅的高级配置[用例] ku>Bxau4> •分析光栅衍射效率 <@ 4V G - 光栅级次分析器[用例] fti0Tz' •使用参数优化优化光栅参数 /%{ CJ0Y •使用参数运行进行容差分析 h *Mi/\ - 参数运行文档的用法[用例] NNJQDkO-I
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