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摘要 Qg6W5Hc &ZL3{M 对于如背光、光学连接器和近眼显示等许多应用来说,光如何高效地耦合到波导结构中是一个重要问题。对于这些应用,众所周知倾斜光栅可以高效率地耦合单色光。这个例子展示了使用严格的傅立叶模态法(FMM,也称为RCWA)对倾斜光栅进行优化。对于预定义方向的级次,优化得到的光栅的衍射效率超过90%。此外,还研究了斜率偏差和光栅圆角的影响。 } :Z#}8 /z BxJT0
F<!)4>2@ XS$OyW_Q 建模任务 7O,U?p 4wrk2x[
hAHq\ MNSbtT*^ 1阶的参数优化 2(/g} 8T(e.I
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n> ^[T[.S lkBdl#]9 结果-容差分析 :]J Ye* }N*_KzPIa
H<^/Ati,| .l@xsJn 在VirtualLab Fusion中查看 }!6\|;Qsz, D$T%\
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s VirtualLab Fusion的工作流程 YfRkwKjy( C:Hoq( •构造光栅结构 wQRZ"ri, - 使用特殊介质配置光栅结构[用例] e*L.U~ZR - 倾斜光栅的高级配置[用例] qbv#I; •分析光栅衍射效率 [ :zO}r: - 光栅级次分析器[用例] =9j8cC5y •使用参数优化优化光栅参数 P{u0ftyX} •使用参数运行进行容差分析 d9q(xZ5 - 参数运行文档的用法[用例] u?9" jX 6C-z=s)P&
i\dc>C ; ~q~MoN<R VirtualLab Fusion技术 X$yN_7|+ A\#iXOd
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