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摘要 vlKKPS /(L1!BPP9m 对于如背光、光学连接器和近眼显示等许多应用来说,光如何高效地耦合到波导结构中是一个重要问题。对于这些应用,众所周知倾斜光栅可以高效率地耦合单色光。这个例子展示了使用严格的傅立叶模态法(FMM,也称为RCWA)对倾斜光栅进行优化。对于预定义方向的级次,优化得到的光栅的衍射效率超过90%。此外,还研究了斜率偏差和光栅圆角的影响。 uRcuy/CY gwjv&.T6^
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wiC , tKViM@T 结果-容差分析 2%%U)|39mB >\Pj(,'
U"G+su->e Z#V\[ 结果-容差分析 J)&+y;. 4Lq]yUj
W@}5e-q)O <iqyDPj 在VirtualLab Fusion中查看 KT?s\w ~PvzUT-^ 6$;)CO!h ~Q\ZDMTK VirtualLab Fusion的工作流程 QI{Y@xQ
} R6h •构造光栅结构 lLf01sa4 - 使用特殊介质配置光栅结构[用例] 4T^WRS - 倾斜光栅的高级配置[用例] laJ%fBWmbi •分析光栅衍射效率 Pz!yIj - 光栅级次分析器[用例] !{0!G •使用参数优化优化光栅参数 bW3o%srxa •使用参数运行进行容差分析 ^>28>!"1 - 参数运行文档的用法[用例]
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