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摘要 _<=h#lH QNH3\<IS 对于如背光、光学连接器和近眼显示等许多应用来说,光如何高效地耦合到波导结构中是一个重要问题。对于这些应用,众所周知倾斜光栅可以高效率地耦合单色光。这个例子展示了使用严格的傅立叶模态法(FMM,也称为RCWA)对倾斜光栅进行优化。对于预定义方向的级次,优化得到的光栅的衍射效率超过90%。此外,还研究了斜率偏差和光栅圆角的影响。 ;%;||?'v ij;P5OA
$tej~xZK RGrQ>'RL 建模任务 bF5"ab0 :>U+HQll
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m xqY {Wu[e,p 结果-容差分析 Q<gUu^rq ambr}+}
)]s<Czm% D:/q<<| 在VirtualLab Fusion中查看 e[s}tjx /(.:l +[w[ iaLZ|\`3a 6|~^P!& VirtualLab Fusion的工作流程 5n{d jP 2`TV(U@ •构造光栅结构 6)7cw8^ - 使用特殊介质配置光栅结构[用例] L9lJ4s - 倾斜光栅的高级配置[用例] _{-[1-lN5_ •分析光栅衍射效率 ;j7G$s9 - 光栅级次分析器[用例] :mW<
E •使用参数优化优化光栅参数 <f M}Kk •使用参数运行进行容差分析 q=Vh"]0g - 参数运行文档的用法[用例] k5Fj"U Gx6%Z$2n
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O9p s?{g J=k=cFUX 文件信息 t ^[fu, E6ZkO/
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