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摘要 FM$XMD0= C;];4[XR 对于如背光、光学连接器和近眼显示等许多应用来说,光如何高效地耦合到波导结构中是一个重要问题。对于这些应用,众所周知倾斜光栅可以高效率地耦合单色光。这个例子展示了使用严格的傅立叶模态法(FMM,也称为RCWA)对倾斜光栅进行优化。对于预定义方向的级次,优化得到的光栅的衍射效率超过90%。此外,还研究了斜率偏差和光栅圆角的影响。 -61{ MMiA RTHD2
!f[LFQD "bZ%1)+ 建模任务 l8 k@.<nCO q}p&<k
ZpvURp,I cw|3W] 1阶的参数优化 / E}L%OvE C?m2R(RF
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li!.(b 6U~AKq"+f 在VirtualLab Fusion中查看 1=:=zyEEo -d5b,leC^ .P(k |D& {2 l35K= VirtualLab Fusion的工作流程 V,:^@ 7d n]:Xmi8p •构造光栅结构 '[(]62j - 使用特殊介质配置光栅结构[用例] 9'+Eu)l: - 倾斜光栅的高级配置[用例] 3}R}|Ha
J# •分析光栅衍射效率 NV\t%/ ? - 光栅级次分析器[用例] l7#5.%A •使用参数优化优化光栅参数 U[7 &
•使用参数运行进行容差分析 GPV=(}z - 参数运行文档的用法[用例] San3^uX )+ifVv50
Io_bS+ XzLB#0 VirtualLab Fusion技术 8LuM eGs
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