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摘要 $N?8[ "#C2+SKM1 对于如背光、光学连接器和近眼显示等许多应用来说,光如何高效地耦合到波导结构中是一个重要问题。对于这些应用,众所周知倾斜光栅可以高效率地耦合单色光。这个例子展示了使用严格的傅立叶模态法(FMM,也称为RCWA)对倾斜光栅进行优化。对于预定义方向的级次,优化得到的光栅的衍射效率超过90%。此外,还研究了斜率偏差和光栅圆角的影响。 ~"+"6zg 2@S}x@^
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/A{ Zf'DI `n&:\Ib 在VirtualLab Fusion中查看 &%OY"Y~bI! jOGdq;| z0[@O)Sj &=lc]sk VirtualLab Fusion的工作流程 svpQ.Q $tZ
{>!N •构造光栅结构 ]dUG=dWO - 使用特殊介质配置光栅结构[用例] P&0eu - 倾斜光栅的高级配置[用例] 8'PZA,CW •分析光栅衍射效率 @R&d<^I&M - 光栅级次分析器[用例] l<6GZ •使用参数优化优化光栅参数 kqBZsfF •使用参数运行进行容差分析 R XCn;nM4 - 参数运行文档的用法[用例] $d*9]M4 kY)Vr3uGA
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D, ")n75 n\+c3 文件信息 0he3[m}Nr nXT`7
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