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摘要 %tJ@) ! )PV-[2 对于如背光、光学连接器和近眼显示等许多应用来说,光如何高效地耦合到波导结构中是一个重要问题。对于这些应用,众所周知倾斜光栅可以高效率地耦合单色光。这个例子展示了使用严格的傅立叶模态法(FMM,也称为RCWA)对倾斜光栅进行优化。对于预定义方向的级次,优化得到的光栅的衍射效率超过90%。此外,还研究了斜率偏差和光栅圆角的影响。 )MU)'1jc, +JRPd.B"@
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-P7JaH/Q y(uE 在VirtualLab Fusion中查看 w,v~ RbGq$vYol/ 5zR9N>!c Jt}0%C3d VirtualLab Fusion的工作流程 l/F'W} 9 9S-P}xd •构造光栅结构 nFY6K%[ - 使用特殊介质配置光栅结构[用例] ^J{tOxO=l - 倾斜光栅的高级配置[用例] H|i39XV •分析光栅衍射效率 q=(.N>% - 光栅级次分析器[用例] :*MqYny& •使用参数优化优化光栅参数 OD\F*Ry~ •使用参数运行进行容差分析 ri?>@i-9= - 参数运行文档的用法[用例] `(@}O?w!1 FSn&N2[D
FqT2+VO~ X=U >r VirtualLab Fusion技术 uw,p\:D& 5$w`m3>i(
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