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摘要 y_r(06"z1 K/ M2L&C
对于如背光、光学连接器和近眼显示等许多应用来说，光如何高效地耦合到波导结构中是一个重要问题。对于这些应用，众所周知倾斜光栅可以高效率地耦合单色光。这个例子展示了使用严格的傅立叶模态法（FMM，也称为RCWA）对倾斜光栅进行优化。对于预定义方向的级次，优化得到的光栅的衍射效率超过90％。此外，还研究了斜率偏差和光栅圆角的影响。 Dvm[W),(k
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 nF$HWp> 0+e 在VirtualLab Fusion中查看 q _Z+H4 fZrh_^yH  ~*x 2IPi H )]kxLf# VirtualLab Fusion的工作流程 "SRS{-p0 bEln.) •构造光栅结构 _@W1?;yD - 使用特殊介质配置光栅结构[用例] 7}vI/? r - 倾斜光栅的高级配置[用例]
\440gH` •分析光栅衍射效率 OrwVRqW-z - 光栅级次分析器[用例] KD.| oo •使用参数优化优化光栅参数 U7Oa
13Qz •使用参数运行进行容差分析 RL3*fRlb - 参数运行文档的用法[用例] m`}mbm^
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&3=),G E^A S65%bL VirtualLab Fusion技术 nW}jTBu_K+
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