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摘要 TaE~s SAY LG 直接设计非近轴衍射分束器仍然是很困难的。由于有相对较大的分束角，元件的特征尺寸一般等于或小于工作波长。因此，它通常超出近轴建模方法的范围。在此示例中，将迭代傅里叶变换算法（IFTA）和薄元件近似（TEA）用于衍射元结构的初始设计，然后将傅里叶模态法（FMM）应用于严格的性能评估。 V#REjsf,t-
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 R2Zgx\VV' dXF^(y]l 使用傅里叶模态法进行性能评估 7}M2bH} \K
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Y2ETOr 使用严格的FMM进行评估以检查非近轴情况下的实际性能。 lXcx@#~
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 )wT-8o EK4d_L]I VirtualLab Fusion一瞥 #Y$hNQQ$F
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iyg*Xbmi~. VirtualLab Fusion中的工作流程 O#F4WWF EOCN&_Z; • 使用IFTA设计纯相位传输 [eC2 "&} •在多运行模式下执行IFTA tCdqh- •设计源于传输的DOE结构 V,%=AR5 −结构设计[用例] Z'\ h •使用采样表面定义光栅 cXKjrL[b −使用接口配置光栅结构[用例] Evedc*z~P •参数运行的配置 q^Y-}=w −参数运行文档的使用[用例] *{L)dW+:
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 \SB c; I NJEsz VirtualLab Fusion技术 NxsBX :XDn
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 NfjE` d8c=L8~jt 文件信息 YB2VcF.LU n CdR EXw
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