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摘要 .=@M> TZM *.nqQhW 直接设计非近轴衍射分束器仍然是很困难的。由于有相对较大的分束角，元件的特征尺寸一般等于或小于工作波长。因此，它通常超出近轴建模方法的范围。在此示例中，将迭代傅里叶变换算法（IFTA）和薄元件近似（TEA）用于衍射元结构的初始设计，然后将傅里叶模态法（FMM）应用于严格的性能评估。 3?5
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+.lO8 使用迭代傅立叶变换算法（IFTA）进行纯相位传输设计。 .ySesN: C~
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 dU&.gFw1 m1[QD26 结构设计 9C4l@ jrF
l5h9Eq 在近轴假设下使用薄元近似（TEA）进行结构设计。 s*8hN*A/,
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yh0|f94m 在近轴假设下使用TEA进行评估，即与设计方法相同 4
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 N 0qC/da1 >6kWmXK[ 使用傅里叶模态法进行性能评估 1I@4xC
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 g-:)} 8d6 {tT` It VirtualLab Fusion一瞥 ,m"ztu-
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v|/3Mi9mz VirtualLab Fusion中的工作流程 o6y,M!p@ &=?`; K • 使用IFTA设计纯相位传输 7 IHD?pnZ •在多运行模式下执行IFTA _ kx •设计源于传输的DOE结构 w7Pe< vT −结构设计[用例] F8 89JSZ% •使用采样表面定义光栅 N*SgP@Bt −使用接口配置光栅结构[用例] 1 IlR •参数运行的配置 o5D" <-=> −参数运行文档的使用[用例] b "Mq7&cf
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 X<m%EXvV &53#`WgJ VirtualLab Fusion技术 _$'Mx'IC=
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