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摘要 op"$E1+ 4EXB;[] 对于许多应用来说(例如背光、光学连接器和近眼显示),如何将光高效地耦合到波导结构中是一个重要的问题。对于这些应用,倾斜光栅因为能够高效地耦合单色光而被熟知。在此示例中,介绍了使用严格的傅里叶模态法(FMM,也称为RCWA)对倾斜光栅进行优化。对于给定的方向级次,优化的光栅展示出超过90%的衍射效率。此外,还研究了斜率偏差和光栅圆角的影响。 $B#6tk~u iweD
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sBK <zR ;' nL:\ VirtualLab Fusion一瞥 vBvNu<v7te j'HkBW:L
KtB!"yy# a`E*\O'd VirtualLab Fusion中的工作流程 B51kV0 16X@^j_ 构建光栅结构 Z,c,G2D −使用特殊材料的光栅结构设定[用例] QC0!p" −倾斜光栅高级设定[用例] ?Pwx~[<1"" •光栅衍射效率分析 451'>qS −光栅阶序分析器[用例] H^~.mBP
n •使用参数优化进行光栅参数优化 _Mc>W0'5@ •使用参数运行的容差分析 lFUWV)J\ TFR(
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VirtualLab Fusion技术 _M,lQ~ C;Ic
I,ci >/+b .5> 20\b2 文件信息 gV U1Y6. V%CUMH =U
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