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摘要 ^TDHPBlG 7
bpV= 对于许多应用来说(例如背光、光学连接器和近眼显示),如何将光高效地耦合到波导结构中是一个重要的问题。对于这些应用,倾斜光栅因为能够高效地耦合单色光而被熟知。在此示例中,介绍了使用严格的傅里叶模态法(FMM,也称为RCWA)对倾斜光栅进行优化。对于给定的方向级次,优化的光栅展示出超过90%的衍射效率。此外,还研究了斜率偏差和光栅圆角的影响。 ymzlRs1^Ct ,!Q2^R
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D 设计任务 1'}~;?_ G#K=n
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3C2L _ K3 llI`"a VirtualLab Fusion一瞥 rFdovfb
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rT5dv3^MW! mZ*!$P:vy" VirtualLab Fusion中的工作流程 )CEfG
-x@mS2 构建光栅结构 e=TB/W_ −使用特殊材料的光栅结构设定[用例] 3fM~R+p −倾斜光栅高级设定[用例] hcwKi
•光栅衍射效率分析 h_Q9c −光栅阶序分析器[用例] (|"KsGl •使用参数优化进行光栅参数优化 hbzU?_} •使用参数运行的容差分析 GuNzrKDr vt@.fT#e g!cTG-bh>J @'s^ VirtualLab Fusion技术 t%V!SvT8+ $_% a=0
-T`rk~A9A HTvA]-AuM 文件信息 G2zfdgW${/ tLJ"] D1w
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