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摘要 1=Npq=d NQb!?w 对于许多应用来说(例如背光、光学连接器和近眼显示),如何将光高效地耦合到波导结构中是一个重要的问题。对于这些应用,倾斜光栅因为能够高效地耦合单色光而被熟知。在此示例中,介绍了使用严格的傅里叶模态法(FMM,也称为RCWA)对倾斜光栅进行优化。对于给定的方向级次,优化的光栅展示出超过90%的衍射效率。此外,还研究了斜率偏差和光栅圆角的影响。 e$!01Y$HI 'u"r^o?
cTlitf9 xZ2^lsY 设计任务 ,au-g)IFZ
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4q%hn3\ 2AN6(k4o VirtualLab Fusion一瞥 H_3-"m &3 [+7 Nu
$~ 6Y\O Um4$. BKD VirtualLab Fusion中的工作流程 BEU^,r3z >b^|SL 构建光栅结构 c:;m BS>~ −使用特殊材料的光栅结构设定[用例] c{7<z9U −倾斜光栅高级设定[用例]
LHy-y%?i •光栅衍射效率分析 sqKLz −光栅阶序分析器[用例] h7 uv0a~0 •使用参数优化进行光栅参数优化 R
2.y=P8N •使用参数运行的容差分析 ;4E(n <<Zt.!hS $inpiO|s >LqW;/&S< VirtualLab Fusion技术 'VH%cz* c{X>i>l>
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xe6M~+ Vs/Z8t 文件信息 E05RqnqBn0 {3V%
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