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摘要 N)H "'#- gvA}s/ 对于许多应用来说(例如背光、光学连接器和近眼显示),如何将光高效地耦合到波导结构中是一个重要的问题。对于这些应用,倾斜光栅因为能够高效地耦合单色光而被熟知。在此示例中,介绍了使用严格的傅里叶模态法(FMM,也称为RCWA)对倾斜光栅进行优化。对于给定的方向级次,优化的光栅展示出超过90%的衍射效率。此外,还研究了斜率偏差和光栅圆角的影响。 |QDoi[
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apo)cR jk9f{Iu VirtualLab Fusion一瞥 2.D2
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EtKq.<SJ n#lbfN 4 VirtualLab Fusion中的工作流程 X0G,tl +e>SK!kB7 构建光栅结构 Alxf;[s −使用特殊材料的光栅结构设定[用例] J~m$7T3Af −倾斜光栅高级设定[用例] 2n:<F9^" •光栅衍射效率分析 3iCe5VF −光栅阶序分析器[用例] S6<o?X9,I •使用参数优化进行光栅参数优化 P`biHs8O •使用参数运行的容差分析 hdPGqJE 5/=$p:E> q)?%END A2|Bbqd VirtualLab Fusion技术 WH:dcU 0D(8-H
rNP;53FtZl iWs6 !s! 文件信息 j&8YE7 j3Od7bBS]
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