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摘要 \zj8| + O$$s]R6 对于许多应用来说(例如背光、光学连接器和近眼显示),如何将光高效地耦合到波导结构中是一个重要的问题。对于这些应用,倾斜光栅因为能够高效地耦合单色光而被熟知。在此示例中,介绍了使用严格的傅里叶模态法(FMM,也称为RCWA)对倾斜光栅进行优化。对于给定的方向级次,优化的光栅展示出超过90%的衍射效率。此外,还研究了斜率偏差和光栅圆角的影响。 >-y'N.l^ S'6(&"XCH
O;qS3 oxcAKo 设计任务 R['qBHQ? og2]B\mN4
K +w3YA Fm [,u 1级参数优化 5G\vV]RR& Z[0xqGYLB
S1&6P)X.Za i/)Uj-*G) 结果-容差分析 n/^wzG s|EP/=9i
\i`/k( @xO<~ 结果-容差分析 HK:?Y[ebs AO8`ItNZdT
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Q # s)ZL`S?</ VirtualLab Fusion一瞥 7U?x8%H* #G9S[J=xe
A5?[j
QT0 +uv]dD*i VirtualLab Fusion中的工作流程 bS*
"C,b~s Mg^GN-l 构建光栅结构 E >SnH
−使用特殊材料的光栅结构设定[用例] uv9cOd −倾斜光栅高级设定[用例] /0"Y.
@L •光栅衍射效率分析 Ov?k4kJ −光栅阶序分析器[用例] AX]lMe
•使用参数优化进行光栅参数优化
<K4'|HU/ •使用参数运行的容差分析 q|gG{9 nuKjp Ap! nJ'O(Wh,) j6IWdqXe VirtualLab Fusion技术 #,!.e 0[9A*
f4`=yj* ~{U~9v^v( 文件信息 MH!'g7iK8 \t^q@}~0Wz
lh8`.sWk4V oD~VK,.
Sn" 1XU QQ:2987619807 x*bM C&Ea
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