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摘要 .hJcK/m ux~=}{tz 对于许多应用来说(例如背光、光学连接器和近眼显示),如何将光高效地耦合到波导结构中是一个重要的问题。对于这些应用,倾斜光栅因为能够高效地耦合单色光而被熟知。在此示例中,介绍了使用严格的傅里叶模态法(FMM,也称为RCWA)对倾斜光栅进行优化。对于给定的方向级次,优化的光栅展示出超过90%的衍射效率。此外,还研究了斜率偏差和光栅圆角的影响。 [X7gP4 )J?8"+_Y b94+GLU8b $Gcjm~ 设计任务 rX0 ?m:&m ;Sfe.ky@6 `A#0If _WZ{ i, 1级参数优化 AH?[K,3 4";NT;_q5 Bus]OF>hu :!^NjO 结果-容差分析 0\Tp/Ph aQ-SrxmO8 xd\ml
37~ }a;H2&bu 结果-容差分析 i-?mghe8 hcM9Sx"! "ruYMSpU _St":9'uU VirtualLab Fusion一瞥 6s>io%,: ?_r{G7|D ?dXAHY YP[8d, VirtualLab Fusion中的工作流程 .<Ays? zN9#qlfv 构建光栅结构 $)~ :H- −使用特殊材料的光栅结构设定[用例] eJ6 #x$I, −倾斜光栅高级设定[用例] xUNq!({T •光栅衍射效率分析 '<QFf −光栅阶序分析器[用例] hAt4+O&P •使用参数优化进行光栅参数优化 ' 6)Yf}I •使用参数运行的容差分析 fhyoSRLR: i'.D=o yo8mfH_, 9GsG* $-I VirtualLab Fusion技术 >I-rsw2 {|<yZ,,p gW<4E=fl B`||4* 文件信息 maa$kg8U*! u8t|!pMF8 ;kWWzg "G,,:H9v T]/5aA4 QQ:2987619807 +
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