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摘要 'r%(,=L MkJBKS 对于许多应用来说(例如背光、光学连接器和近眼显示),如何将光高效地耦合到波导结构中是一个重要的问题。对于这些应用,倾斜光栅因为能够高效地耦合单色光而被熟知。在此示例中,介绍了使用严格的傅里叶模态法(FMM,也称为RCWA)对倾斜光栅进行优化。对于给定的方向级次,优化的光栅展示出超过90%的衍射效率。此外,还研究了斜率偏差和光栅圆角的影响。 [w@S/K[_| ,pGA|ob
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2!V@ −使用特殊材料的光栅结构设定[用例] U.t][#<3 −倾斜光栅高级设定[用例] [y'blCb •光栅衍射效率分析 W&
0R/y7 −光栅阶序分析器[用例] AJ*17w •使用参数优化进行光栅参数优化 h?SRX_ •使用参数运行的容差分析 C@`#@1X T{+a48,; 8Z\q)T [iq^'E VirtualLab Fusion技术 ,Owk;MV@ 67Pmnad
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