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摘要 H9/!oI1P? K381B5_h 对于许多应用来说(例如背光、光学连接器和近眼显示),如何将光高效地耦合到波导结构中是一个重要的问题。对于这些应用,倾斜光栅因为能够高效地耦合单色光而被熟知。在此示例中,介绍了使用严格的傅里叶模态法(FMM,也称为RCWA)对倾斜光栅进行优化。对于给定的方向级次,优化的光栅展示出超过90%的衍射效率。此外,还研究了斜率偏差和光栅圆角的影响。 _x,X0ncv]@ hG?y)g\A
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Lv%3 jj 6e-ME3!<l VirtualLab Fusion一瞥 W"c\/]aD ?+t;\
8RMM97@1Q dk|LC-]`A VirtualLab Fusion中的工作流程 ,*|Q= 0;bdwIP3 构建光栅结构 * ,aF-
−使用特殊材料的光栅结构设定[用例] t*IePz] / −倾斜光栅高级设定[用例] ):$KM{X •光栅衍射效率分析 rl|'.~mc −光栅阶序分析器[用例] |Ea%nghl •使用参数优化进行光栅参数优化 U@OdQAX •使用参数运行的容差分析 "iSY;y o Nny*C`uDF x%viCkq ${Un#]g VirtualLab Fusion技术 @_ %RQO_X TKB8%/_p
D$}hoM1 //63|;EEkl 文件信息 cp`Jep<T &-=~8
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