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摘要 A]H+rxg 1"v;w!uh 对于许多应用来说(例如背光、光学连接器和近眼显示),如何将光高效地耦合到波导结构中是一个重要的问题。对于这些应用,倾斜光栅因为能够高效地耦合单色光而被熟知。在此示例中,介绍了使用严格的傅里叶模态法(FMM,也称为RCWA)对倾斜光栅进行优化。对于给定的方向级次,优化的光栅展示出超过90%的衍射效率。此外,还研究了斜率偏差和光栅圆角的影响。 PU-~7h+$ ]nfS vPb
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b 设计任务 P]6pPS ~gBqkZ# y?
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mY`b|cS3p$ jBE=Ij 结果-容差分析 <78>6u/W% I gFz[)
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~4 \bR V).M\ VirtualLab Fusion一瞥 l;|1C[V _@^msyoq
MaMs( ~+T~}S VirtualLab Fusion中的工作流程 P}VD}lEyO Eydk645:3 构建光栅结构 ol:_2G2xQ −使用特殊材料的光栅结构设定[用例] .5I1wRN49 −倾斜光栅高级设定[用例] Q7DkhKT •光栅衍射效率分析 Wg$MKc9Vy[ −光栅阶序分析器[用例] SQz>e •使用参数优化进行光栅参数优化 LXK+WB/s •使用参数运行的容差分析 4Yn*q~f %*s[s0$c wEkW= #[i({1`^L VirtualLab Fusion技术 nKHyq\ = j}00,WH
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$4 `Zk?.1*2/ 文件信息 ^(6.M\Q /#Xz+#SqY
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