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摘要 777rE[\@b AA_@\: w^ 对于许多应用来说（例如背光、光学连接器和近眼显示），如何将光高效地耦合到波导结构中是一个重要的问题。对于这些应用，倾斜光栅因为能够高效地耦合单色光而被熟知。在此示例中，介绍了使用严格的傅里叶模态法（FMM，也称为RCWA）对倾斜光栅进行优化。对于给定的方向级次，优化的光栅展示出超过90％的衍射效率。此外，还研究了斜率偏差和光栅圆角的影响。 .hgH 9$\
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G VirtualLab Fusion一瞥 k5g@myb-
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 )L|C'dJ<k` G6<HO7\ VirtualLab Fusion中的工作流程 ,Z?m`cx 9 Dy)nm^ 构建光栅结构 s v6INe :
−使用特殊材料的光栅结构设定[用例] {dDq*sLf
−倾斜光栅高级设定[用例] hO%Y{Gg
•光栅衍射效率分析 3m3
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−光栅阶序分析器[用例] QT7_x`#J~o
•使用参数优化进行光栅参数优化 (%Ng'~J\|
•使用参数运行的容差分析 e7h\(`J0lj Z%KL[R}^w;  |iAEDZn
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VirtualLab Fusion技术 S'|lU@P Cl
B U'Ki \
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