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摘要 '91u q \N'hbT= 对于许多应用来说(例如背光、光学连接器和近眼显示),如何将光高效地耦合到波导结构中是一个重要的问题。对于这些应用,倾斜光栅因为能够高效地耦合单色光而被熟知。在此示例中,介绍了使用严格的傅里叶模态法(FMM,也称为RCWA)对倾斜光栅进行优化。对于给定的方向级次,优化的光栅展示出超过90%的衍射效率。此外,还研究了斜率偏差和光栅圆角的影响。 1FXzAc(c! sWojQ-8}
2@=cqD7x ` $QzTv 设计任务 u"Hd55"& )-TeDIfm
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.zSimEOF jl 30\M7 VirtualLab Fusion一瞥 *x#&[> ;/hH=IT
z9);e8ck CHdet(_=v VirtualLab Fusion中的工作流程 709Uv5 &EbD.>Ci 构建光栅结构 dl3LDB −使用特殊材料的光栅结构设定[用例] J _[e9 −倾斜光栅高级设定[用例] aQym=
6%e •光栅衍射效率分析 R;Gl{ −光栅阶序分析器[用例] r-\T}e2Gz •使用参数优化进行光栅参数优化 FRJ:ym=E •使用参数运行的容差分析 X'3`Q S:! dWq/)%@t kVG6\<c] B1i!te}* VirtualLab Fusion技术 Mh-*5Rx 5LhJ8$W
X~Rk ,d3 nV,{w4t+ 文件信息 G,mH!lSm, }TAGr 0
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