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摘要 `}a-prT<f !RjC0, 对于许多应用来说(例如背光、光学连接器和近眼显示),如何将光高效地耦合到波导结构中是一个重要的问题。对于这些应用,倾斜光栅因为能够高效地耦合单色光而被熟知。在此示例中,介绍了使用严格的傅里叶模态法(FMM,也称为RCWA)对倾斜光栅进行优化。对于给定的方向级次,优化的光栅展示出超过90%的衍射效率。此外,还研究了斜率偏差和光栅圆角的影响。 bhfKhXh8 8k.#4}fP
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B@' OUcUR R[QBFL< VirtualLab Fusion一瞥 =t|,6Vp \(zUI
I-Am9\ SI=7$8T5=5 VirtualLab Fusion中的工作流程 c;n\HYk BJp~/H`vd 构建光栅结构 dkQP.Tj$i −使用特殊材料的光栅结构设定[用例] `@So6%3Y| −倾斜光栅高级设定[用例] @jZ1WHS_a •光栅衍射效率分析 A3J=,aRI_v −光栅阶序分析器[用例] C[><m2T •使用参数优化进行光栅参数优化 /8 "rCh|m- •使用参数运行的容差分析 ^pqJz^PO. 0])[\O`j AMK(-= vVjk9_Ul VirtualLab Fusion技术 I:;umyRH @z=L\e{
F^?DnZs bu=RU 文件信息 Q+O./1x*, z0&Y_Up+5
n-OQCz9Xl Qn;,OBk eEYzA QQ:2987619807 N7^sn!JB
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