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摘要 VAG+y/q .P0Qs&i 对于许多应用来说(例如背光、光学连接器和近眼显示),如何将光高效地耦合到波导结构中是一个重要的问题。对于这些应用,倾斜光栅因为能够高效地耦合单色光而被熟知。在此示例中,介绍了使用严格的傅里叶模态法(FMM,也称为RCWA)对倾斜光栅进行优化。对于给定的方向级次,优化的光栅展示出超过90%的衍射效率。此外,还研究了斜率偏差和光栅圆角的影响。
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)DZ-vnZ#t0 Vlxb<$5Nh VirtualLab Fusion中的工作流程 .8uwg@yD nluyEK 构建光栅结构 q MT.7n: −使用特殊材料的光栅结构设定[用例] [E
:`jY −倾斜光栅高级设定[用例] K1wN9D{t' •光栅衍射效率分析 FsPDWy&x −光栅阶序分析器[用例] 1j)!d$8 •使用参数优化进行光栅参数优化 A>1p]# •使用参数运行的容差分析 Hk~
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UY- :,z3:PL TWR#MVMI VirtualLab Fusion技术 'Tan6Qa _=^hnv
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