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摘要 'mF}+v^ #LiC@> 对于许多应用来说（例如背光、光学连接器和近眼显示），如何将光高效地耦合到波导结构中是一个重要的问题。对于这些应用，倾斜光栅因为能够高效地耦合单色光而被熟知。在此示例中，介绍了使用严格的傅里叶模态法（FMM，也称为RCWA）对倾斜光栅进行优化。对于给定的方向级次，优化的光栅展示出超过90％的衍射效率。此外，还研究了斜率偏差和光栅圆角的影响。 6k2~j j1d
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 =3FXU{"Qi4 d/e9LK VirtualLab Fusion一瞥 l 1@:&j3h
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 Q,>AT $| K~uoZ~_gA VirtualLab Fusion中的工作流程 17-K~ybc 74Lq!e3hMF 构建光栅结构 >d =k-d
−使用特殊材料的光栅结构设定[用例] f+rBIE
−倾斜光栅高级设定[用例] _]B' C
•光栅衍射效率分析 8E D6C"6
−光栅阶序分析器[用例] T7[ItLZ
•使用参数优化进行光栅参数优化 %.]qkGZe#
•使用参数运行的容差分析 ;#AV~Y-
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VirtualLab Fusion技术 >XB Lm`a
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 %|UCs8EFm tip\vS) 文件信息 M5wj79'l" ='a$>JVJ5
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