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    [分享]倾斜光栅的参数优化与容差分析 [复制链接]

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    科学家
     
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    只看楼主 正序阅读 楼主  发表于: 2021-06-24
    摘要 +G7[(Wz(z  
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    对于许多应用来说（例如背光、光学连接器和近眼显示），如何将光高效地耦合到波导结构中是一个重要的问题。对于这些应用，倾斜光栅因为能够高效地耦合单色光而被熟知。在此示例中，介绍了使用严格的傅里叶模态法（FMM，也称为RCWA）对倾斜光栅进行优化。对于给定的方向级次，优化的光栅展示出超过90％的衍射效率。此外，还研究了斜率偏差和光栅圆角的影响。 19oyoi"  
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    结果-容差分析 kKC] n   
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    VirtualLab Fusion一瞥 *F(<:3;2  
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    VirtualLab Fusion中的工作流程 Hbu :HFJ!  
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    构建光栅结构 'S#^ 70kt  
    −使用特殊材料的光栅结构设定[用例] 2IkyC`  
    −倾斜光栅高级设定[用例] eV;nTj  
    •光栅衍射效率分析  8#1o  
    −光栅阶序分析器[用例] -|=)  
    •使用参数优化进行光栅参数优化 ##1/{9ywy  
    •使用参数运行的容差分析     nmuU*o L  
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    VirtualLab Fusion技术 RYl\Q,#  
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