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摘要 z=\&i\>;Z+ ./Zk`-OBT 对于许多应用来说(例如背光、光学连接器和近眼显示),如何将光高效地耦合到波导结构中是一个重要的问题。对于这些应用,倾斜光栅因为能够高效地耦合单色光而被熟知。在此示例中,介绍了使用严格的傅里叶模态法(FMM,也称为RCWA)对倾斜光栅进行优化。对于给定的方向级次,优化的光栅展示出超过90%的衍射效率。此外,还研究了斜率偏差和光栅圆角的影响。 2DDtu[} T@B/xAq5!
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9wwqcx)3( hd<c&7|G' VirtualLab Fusion中的工作流程 YnAm{YyI `iNSr?N. 构建光栅结构 !CT5!5T −使用特殊材料的光栅结构设定[用例] "?xHlYj@+ −倾斜光栅高级设定[用例] (m/G(wg •光栅衍射效率分析 v>)"HL"XG −光栅阶序分析器[用例] PiIpnoM •使用参数优化进行光栅参数优化 S`0(*A[W* •使用参数运行的容差分析 (Zrj_P`0[ )9`qG:b' 9}<ile7^ +gtbcF@rx VirtualLab Fusion技术 JIOR4' 9 pJ"qu,w
]Ie 0S~ Be2DN5) 文件信息 "(~^w=d:$ E
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