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摘要 N?:S?p9R@ roQIP%h! 对于许多应用来说(例如背光、光学连接器和近眼显示),如何将光高效地耦合到波导结构中是一个重要的问题。对于这些应用,倾斜光栅因为能够高效地耦合单色光而被熟知。在此示例中,介绍了使用严格的傅里叶模态法(FMM,也称为RCWA)对倾斜光栅进行优化。对于给定的方向级次,优化的光栅展示出超过90%的衍射效率。此外,还研究了斜率偏差和光栅圆角的影响。 )~ kb7rfl
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c$;enAf@ VirtualLab Fusion中的工作流程 F9" K 5`Z#m:+u 构建光栅结构 IA'AA|v −使用特殊材料的光栅结构设定[用例] 'M{_S −倾斜光栅高级设定[用例] R_}(p2 •光栅衍射效率分析 ;.Y`T/eWS −光栅阶序分析器[用例] tuSgh! •使用参数优化进行光栅参数优化 _{aVm&^kA •使用参数运行的容差分析 &r_B\j3 =&'j;j tz{]H9 %JZIg! VirtualLab Fusion技术 V
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