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摘要 UV}73Sp ej&<GM| 对于许多应用来说(例如背光、光学连接器和近眼显示),如何将光高效地耦合到波导结构中是一个重要的问题。对于这些应用,倾斜光栅因为能够高效地耦合单色光而被熟知。在此示例中,介绍了使用严格的傅里叶模态法(FMM,也称为RCWA)对倾斜光栅进行优化。对于给定的方向级次,优化的光栅展示出超过90%的衍射效率。此外,还研究了斜率偏差和光栅圆角的影响。 c8)/:xxl *BD=O@
W$JebW<z( kE.x+2 设计任务 . .QB~ oRN-xng
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DPrBFmHF 1级参数优化 /wQL @L84>3O
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qo+N,x9o [~W`E1, VirtualLab Fusion一瞥 8 9{HJ9} zWw2V}U!
})vOaYT|- /)N@M VirtualLab Fusion中的工作流程 0YH+B 2Zuq?1= 构建光栅结构 j^`X~gE −使用特殊材料的光栅结构设定[用例] v,NHQyk −倾斜光栅高级设定[用例] @Un/c:n •光栅衍射效率分析 +&tgJ07A −光栅阶序分析器[用例] n?#!VN3 •使用参数优化进行光栅参数优化 (VyNvB •使用参数运行的容差分析 puSLqouTM |1Dc!V'?" YF#HSf7 TAL/a*7\ VirtualLab Fusion技术 dGZntT2D ?wMHS4
IC/(R! Crj |sqZ $Mu 文件信息 Jsg
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