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摘要 X*w;6 V *YGj^+ 对于许多应用来说(例如背光、光学连接器和近眼显示),如何将光高效地耦合到波导结构中是一个重要的问题。对于这些应用,倾斜光栅因为能够高效地耦合单色光而被熟知。在此示例中,介绍了使用严格的傅里叶模态法(FMM,也称为RCWA)对倾斜光栅进行优化。对于给定的方向级次,优化的光栅展示出超过90%的衍射效率。此外,还研究了斜率偏差和光栅圆角的影响。 Ye$;
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p#-=mXE/2 Cbl>eKw VirtualLab Fusion一瞥 bv7xh*/ 'tcve2Tt
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VirtualLab Fusion中的工作流程 ZNpC&
"`G nh80"Ny5 构建光栅结构 x]?V*Jz −使用特殊材料的光栅结构设定[用例] >Z<ZT −倾斜光栅高级设定[用例] q8.Z7ux •光栅衍射效率分析 X+<9-]= −光栅阶序分析器[用例] {7MY*&P$, •使用参数优化进行光栅参数优化 ~l.C- •使用参数运行的容差分析 p!)tA RlU ?F
wZbT*rU c&aqN\'4" VirtualLab Fusion技术 x1STjI>i Z=;=9<vA
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