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摘要 ==c\* o iS02uVmBZ 对于许多应用来说(例如背光、光学连接器和近眼显示),如何将光高效地耦合到波导结构中是一个重要的问题。对于这些应用,倾斜光栅因为能够高效地耦合单色光而被熟知。在此示例中,介绍了使用严格的傅里叶模态法(FMM,也称为RCWA)对倾斜光栅进行优化。对于给定的方向级次,优化的光栅展示出超过90%的衍射效率。此外,还研究了斜率偏差和光栅圆角的影响。 1z*] MYU YKj7~yK?
{N>VK* |3vQmd !2} 设计任务 &L+u]&!6C IspY%UMl
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V %1xo|6hm- 结果-容差分析 ZSHc@r*> 27gK
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3M 结果-容差分析 670g|&v. mM>{^%2Q:
% &{>oEQ WCU[]A VirtualLab Fusion一瞥 iv\?TAZC ,HR~oT^
Gv3a<Knn4 nB"q VirtualLab Fusion中的工作流程 ~M+|g4W% = R; 0Ed&b 构建光栅结构 9fyk7~V −使用特殊材料的光栅结构设定[用例] 6?z&G6 −倾斜光栅高级设定[用例] v?5Xx{ym •光栅衍射效率分析 .#Z}}W# −光栅阶序分析器[用例] E WOn" •使用参数优化进行光栅参数优化 J*qepq`_ •使用参数运行的容差分析 'V .4Nhd wvsTP32] =]&R6P> JYs*1< VirtualLab Fusion技术 `dMl5b Yw4c`MyL
l8n#sGA % ,)u}8ty3j 文件信息 8Q?)L4.] ,RDxu7iT
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