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摘要 r: n^U# ]t]s/;9]K 对于许多应用来说(例如背光、光学连接器和近眼显示),如何将光高效地耦合到波导结构中是一个重要的问题。对于这些应用,倾斜光栅因为能够高效地耦合单色光而被熟知。在此示例中,介绍了使用严格的傅里叶模态法(FMM,也称为RCWA)对倾斜光栅进行优化。对于给定的方向级次,优化的光栅展示出超过90%的衍射效率。此外,还研究了斜率偏差和光栅圆角的影响。 ZbCu -a{v nm66U4.@
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X'e@(I!0 PoY+Y3 VirtualLab Fusion中的工作流程 i3s-l8\\z bl(rCbj(w 构建光栅结构 UyBI;k^]
−使用特殊材料的光栅结构设定[用例] >Rs:Fw|jro −倾斜光栅高级设定[用例] j*<H18^G •光栅衍射效率分析 "'-f?kZ −光栅阶序分析器[用例] y^=\w?d •使用参数优化进行光栅参数优化 z'3 •使用参数运行的容差分析 N|?"=4Z? "zL<:TQ" 5`*S'W}\> ([iMOE[D3 VirtualLab Fusion技术 mu04TPj q5YgKz?IC
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@b[o7/ 文件信息 pJ"Wg@+ gI6./;;x
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