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    [分享]倾斜光栅的参数优化与容差分析 [复制链接]

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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2021-06-24
    摘要 h+d  \u  
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    对于许多应用来说（例如背光、光学连接器和近眼显示），如何将光高效地耦合到波导结构中是一个重要的问题。对于这些应用，倾斜光栅因为能够高效地耦合单色光而被熟知。在此示例中，介绍了使用严格的傅里叶模态法（FMM，也称为RCWA）对倾斜光栅进行优化。对于给定的方向级次，优化的光栅展示出超过90％的衍射效率。此外，还研究了斜率偏差和光栅圆角的影响。 8`]1Nt!*B  
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    VirtualLab Fusion一瞥 mh7JPbX|  
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    VirtualLab Fusion中的工作流程 ~u^MRe|`  
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    构建光栅结构 (fUpj^E)p  
    −使用特殊材料的光栅结构设定[用例] =F 9!)r  
    −倾斜光栅高级设定[用例] ")xd 'V  
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    −光栅阶序分析器[用例] yzH[~O7  
    •使用参数优化进行光栅参数优化 lHI ;fR  
    •使用参数运行的容差分析     A^3M~  
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    VirtualLab Fusion技术 O*dtVX  
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