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摘要 :U7m@3czU ADa'(#+6 对于许多应用来说(例如背光、光学连接器和近眼显示),如何将光高效地耦合到波导结构中是一个重要的问题。对于这些应用,倾斜光栅因为能够高效地耦合单色光而被熟知。在此示例中,介绍了使用严格的傅里叶模态法(FMM,也称为RCWA)对倾斜光栅进行优化。对于给定的方向级次,优化的光栅展示出超过90%的衍射效率。此外,还研究了斜率偏差和光栅圆角的影响。 ]JXpe]B /:j9#kj
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#z\{BtK /!*gH1s VirtualLab Fusion一瞥 Q\DD^Pbq MpV6Vbp
=m4_8)-8u ;rj=hc VirtualLab Fusion中的工作流程 ?'_Q^O> ZhWtY 构建光栅结构 ]g/%w3G −使用特殊材料的光栅结构设定[用例] %`c?cB −倾斜光栅高级设定[用例] Xj\SJ* •光栅衍射效率分析 S:UtmS+K −光栅阶序分析器[用例] XMM@EN •使用参数优化进行光栅参数优化 6'M"-9?G •使用参数运行的容差分析 E6-alBi% z90=,wd I499Rrw#E *n)3y.s VirtualLab Fusion技术 "/).:9],} VK+#!!Ha
-L/5Nbup MR90 }wXE 文件信息 Uv6#d":f;
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