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摘要 -Ph"#R& NpI "XQ 对于许多应用来说(例如背光、光学连接器和近眼显示),如何将光高效地耦合到波导结构中是一个重要的问题。对于这些应用,倾斜光栅因为能够高效地耦合单色光而被熟知。在此示例中,介绍了使用严格的傅里叶模态法(FMM,也称为RCWA)对倾斜光栅进行优化。对于给定的方向级次,优化的光栅展示出超过90%的衍射效率。此外,还研究了斜率偏差和光栅圆角的影响。 Q!.JV.( K-<<s
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R/EpfYOX '"C& dia VirtualLab Fusion一瞥 OjWg>v\v uxx(WS
z#HNJAQ#| ,4mb05w;d VirtualLab Fusion中的工作流程 Kt3T~k #u"$\[ G 构建光栅结构 ,Jrm85oG −使用特殊材料的光栅结构设定[用例] xcE2hK/+ −倾斜光栅高级设定[用例] |Ml~_m •光栅衍射效率分析 6qR5A+|; −光栅阶序分析器[用例] 'IQ;;[Q •使用参数优化进行光栅参数优化 _J&IL!S2 •使用参数运行的容差分析 Rt.2]eZEJ 0JE*| CtK ^Ycn&`s ?G>E[!8ev VirtualLab Fusion技术 \ lW*.< gY {/)"
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