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摘要 eG!ma` v 6,q_M(;c 对于许多应用来说(例如背光、光学连接器和近眼显示),如何将光高效地耦合到波导结构中是一个重要的问题。对于这些应用,倾斜光栅因为能够高效地耦合单色光而被熟知。在此示例中,介绍了使用严格的傅里叶模态法(FMM,也称为RCWA)对倾斜光栅进行优化。对于给定的方向级次,优化的光栅展示出超过90%的衍射效率。此外,还研究了斜率偏差和光栅圆角的影响。 SfC* ZM}< l3>e-kP
1L4-;HYJm b)Da6fp 设计任务 #<b\B qYG g:)iEw>a
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VtI`Qcjc InbB2l4G VirtualLab Fusion一瞥 4jebx
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xRacgny:I j}//e%$a VirtualLab Fusion中的工作流程 ">.k 6Q ]b%U9hmL^f 构建光栅结构 s=(q#Z −使用特殊材料的光栅结构设定[用例] [?I<$f" −倾斜光栅高级设定[用例] SkmTW@v •光栅衍射效率分析 Zw0KV%7hD −光栅阶序分析器[用例] dB6,pY( •使用参数优化进行光栅参数优化 R&.&x'< •使用参数运行的容差分析 T.;{f{ E,.PT^au 1k4\zVgi ljZRz$y VirtualLab Fusion技术 |Qcz5M90e uxD3+Q
JH]S'5X8K 6WZffB{-TK 文件信息 KF+r25uy[+ @,.D]43
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