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摘要 >Z5gSs0 xoN3 对于许多应用来说(例如背光、光学连接器和近眼显示),如何将光高效地耦合到波导结构中是一个重要的问题。对于这些应用,倾斜光栅因为能够高效地耦合单色光而被熟知。在此示例中,介绍了使用严格的傅里叶模态法(FMM,也称为RCWA)对倾斜光栅进行优化。对于给定的方向级次,优化的光栅展示出超过90%的衍射效率。此外,还研究了斜率偏差和光栅圆角的影响。 Ig
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UJ&<? VirtualLab Fusion一瞥 UdpF@Q >LOjV0K/
1ng!G 7g =\H!GT VirtualLab Fusion中的工作流程 ;6>2"{NW !1$])VQWI 构建光栅结构 e4 >_v(' −使用特殊材料的光栅结构设定[用例] =4FXBPoQK −倾斜光栅高级设定[用例] rustMs2p •光栅衍射效率分析 V3^&oe% −光栅阶序分析器[用例] d?A
0MKnl •使用参数优化进行光栅参数优化 t.xxSU5~% •使用参数运行的容差分析 xdp`<POn% iKX-myCz .\)U@L~ 9_Be0xgJ3^ VirtualLab Fusion技术 wea-zN 6ZP(E^.
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