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摘要 |r6<DEg z0doLb^! 对于许多应用来说(例如背光、光学连接器和近眼显示),如何将光高效地耦合到波导结构中是一个重要的问题。对于这些应用,倾斜光栅因为能够高效地耦合单色光而被熟知。在此示例中,介绍了使用严格的傅里叶模态法(FMM,也称为RCWA)对倾斜光栅进行优化。对于给定的方向级次,优化的光栅展示出超过90%的衍射效率。此外,还研究了斜率偏差和光栅圆角的影响。 -3F|)qwK #dU-*wmJ +Z/Pj_.o #6@7XC 设计任务 ]B\H = gOq
>` ^jq QG+`? &*A7{76x 1级参数优化 <mi*AY w}X <]u Z!v)zH\ AEp|#H'
> 结果-容差分析 yC(xi"! `ZC_F!
E <$qe2FtUq Hj2E -RwG 结果-容差分析 JPRo<jt= M4~^tML>Ey K!=Y4"5% o]u,<bM$ VirtualLab Fusion一瞥 "**Tw' :
M=0o< *6IytWOX5 mu@He&w" VirtualLab Fusion中的工作流程 r01Z
0> {DlQTgP 构建光栅结构 vgKZr −使用特殊材料的光栅结构设定[用例] @komb IK −倾斜光栅高级设定[用例] z_nv|5" •光栅衍射效率分析 L6<.>\^Z" −光栅阶序分析器[用例] 1u>[0<U~E •使用参数优化进行光栅参数优化 z{$2bV •使用参数运行的容差分析 =[5F~--Tf O2N7qV3U, %j $r" 1zIX
$A VirtualLab Fusion技术 BLaF++Fop 94.|l %/; *Ewwb OKi}aQ2R* 文件信息 {gT4Oq__ 7!sR%h5p ;}B6`v 1L;3e@G >bRoQ8 QQ:2987619807 xyzYY}PS
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