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摘要 }'$PYAf6 147QB+cE 对于许多应用来说(例如背光、光学连接器和近眼显示),如何将光高效地耦合到波导结构中是一个重要的问题。对于这些应用,倾斜光栅因为能够高效地耦合单色光而被熟知。在此示例中,介绍了使用严格的傅里叶模态法(FMM,也称为RCWA)对倾斜光栅进行优化。对于给定的方向级次,优化的光栅展示出超过90%的衍射效率。此外,还研究了斜率偏差和光栅圆角的影响。 <W"W13*j! lir=0oq<
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zR" cj ANM#Kx+ VirtualLab Fusion一瞥 1@F-t94I 6>a6;[
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c{Ah@D #Iw(+%D VirtualLab Fusion中的工作流程 4<y mlnF,+s 构建光栅结构 3
jZMXEG) −使用特殊材料的光栅结构设定[用例] k?+ 7%A] −倾斜光栅高级设定[用例] R6+)&:Ab{R •光栅衍射效率分析 #S}orWj
−光栅阶序分析器[用例] 53HA6:Q[ •使用参数优化进行光栅参数优化 :GXF=Df •使用参数运行的容差分析
=@HS a+w2cN' _fHC+lwN #,%bW[L<N VirtualLab Fusion技术 Nd~B$venh X0lPRk53(
p['RV l4bytI{63 文件信息 [jMN*p? xE/?ncTK^
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