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摘要 <II>io; FJsM3|{2=d 对于许多应用来说(例如背光、光学连接器和近眼显示),如何将光高效地耦合到波导结构中是一个重要的问题。对于这些应用,倾斜光栅因为能够高效地耦合单色光而被熟知。在此示例中,介绍了使用严格的傅里叶模态法(FMM,也称为RCWA)对倾斜光栅进行优化。对于给定的方向级次,优化的光栅展示出超过90%的衍射效率。此外,还研究了斜率偏差和光栅圆角的影响。 }e>OmfxDBt Jg6@)<n
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85:mh\@-G ,,h>_IA 结果-容差分析 22E I`}"J 8HWEObRY
NLev(B:OQH jOxnf%jl 结果-容差分析 j__l'?s ?|GwuG8g
I%mGb$Q @CA{uP; VirtualLab Fusion一瞥 "l(<<Ha/ yONX?cS
'D^@e0.3 fs,>X!l+ VirtualLab Fusion中的工作流程 k.%FGn'fR ~AcjB( 构建光栅结构 wqJ1^>TB −使用特殊材料的光栅结构设定[用例] S\@U3|Q5 −倾斜光栅高级设定[用例] A/~^4DR •光栅衍射效率分析 + ;B K|([# −光栅阶序分析器[用例] HQc^ybX5 •使用参数优化进行光栅参数优化 Y>CZ •使用参数运行的容差分析 $T*g@] I5W#8g!{ 6I\4Yv$N IG4`f~k^ VirtualLab Fusion技术 =qww|B92 lkQ(?7
S"R(6:hkgu 4z^VwKH\ j 文件信息 .:Zb~ _TVKvRh
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