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摘要 bkc*it K7([Gc9 对于许多应用来说(例如背光、光学连接器和近眼显示),如何将光高效地耦合到波导结构中是一个重要的问题。对于这些应用,倾斜光栅因为能够高效地耦合单色光而被熟知。在此示例中,介绍了使用严格的傅里叶模态法(FMM,也称为RCWA)对倾斜光栅进行优化。对于给定的方向级次,优化的光栅展示出超过90%的衍射效率。此外,还研究了斜率偏差和光栅圆角的影响。 x NjQ"'i8 5\=
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#4b]j".P!n \xbUr`WBY VirtualLab Fusion一瞥 b,YNCb]H ]d-.Mw,'
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VirtualLab Fusion中的工作流程 jS~Pdz PkI+z_ 构建光栅结构 ];4!0\M −使用特殊材料的光栅结构设定[用例] |oke)w=gn −倾斜光栅高级设定[用例] /KX+'@ •光栅衍射效率分析 !{(Bc8
hT −光栅阶序分析器[用例] {x.0Yh7 •使用参数优化进行光栅参数优化
q:TNf\/o •使用参数运行的容差分析 [5& nH@og L/r_MtN fO&`A:JY <K`E*IaW VirtualLab Fusion技术 -PAEJn5$O C[G+SA1&W
eF22 ~P GaG>0x 文件信息 [GI~ & |Z<\k x
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