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摘要 Nvi Fq .MzOLv 对于许多应用来说(例如背光、光学连接器和近眼显示),如何将光高效地耦合到波导结构中是一个重要的问题。对于这些应用,倾斜光栅因为能够高效地耦合单色光而被熟知。在此示例中,介绍了使用严格的傅里叶模态法(FMM,也称为RCWA)对倾斜光栅进行优化。对于给定的方向级次,优化的光栅展示出超过90%的衍射效率。此外,还研究了斜率偏差和光栅圆角的影响。 xq#U4E m*\B2\2gJ
q;CayN'I +SAk:3.#CV 设计任务 ~?2rGE Y]hV-_2+Do
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(Nm}3 p /#:Rd^ 结果-容差分析 e$ThSh\+( ){+.8KI
s"pR+)jf1D MMd0O X)P 结果-容差分析 *?EO n - aQ32p4C
z0\;m{TH k&MlQ2'!< VirtualLab Fusion一瞥 oq=?i%'> <$RS*n
3'?h;`v\Lo |h#DL$ VirtualLab Fusion中的工作流程 -}=@
*See# pe\Txg6 构建光栅结构 X_vI0YX9 −使用特殊材料的光栅结构设定[用例] l81&[ −倾斜光栅高级设定[用例] ~AEqfIx*^& •光栅衍射效率分析 WF+bN#YJ −光栅阶序分析器[用例] S^3g]5YX •使用参数优化进行光栅参数优化 }2-[Ki yv •使用参数运行的容差分析 Bpk@ {E9 ?)Tz'9l f o/
D3 dNR7e VirtualLab Fusion技术 I>A^5nk a)I=U[
ir9Q##f OVDMC4K2z! 文件信息 EpFIKV! ^2&O3s
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