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摘要 =A={Dpv[> Bzn{~&i?W: 对于许多应用来说(例如背光、光学连接器和近眼显示),如何将光高效地耦合到波导结构中是一个重要的问题。对于这些应用,倾斜光栅因为能够高效地耦合单色光而被熟知。在此示例中,介绍了使用严格的傅里叶模态法(FMM,也称为RCWA)对倾斜光栅进行优化。对于给定的方向级次,优化的光栅展示出超过90%的衍射效率。此外,还研究了斜率偏差和光栅圆角的影响。 ?z% @;& /AV
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x7K s:lar4>kM 设计任务 F+,X%$A#? O&l(`*P
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r?Jxl< 9)0AwLlv 结果-容差分析 s^ rO I~ <$wh@$PK
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;8/w'oe*j #P *%FgROl VirtualLab Fusion一瞥 kK&tB Mm`jk%:%]
/:v+:-lU >JwdVy^ VirtualLab Fusion中的工作流程 )hmU/E@ <HM\ZDo@P 构建光栅结构 &?>h#H222 −使用特殊材料的光栅结构设定[用例] {PgB~|W −倾斜光栅高级设定[用例] (A O]f fBU •光栅衍射效率分析 %])-+T −光栅阶序分析器[用例] |0FRKD] •使用参数优化进行光栅参数优化 ,\!4A •使用参数运行的容差分析 DLcfOOn1I ,!t1( H
Ze~$by|9f L,!?'.*/] VirtualLab Fusion技术 -q' n p0H (1H_V(
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