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摘要
WLEjRx )G0a72 对于许多应用来说(例如背光、光学连接器和近眼显示),如何将光高效地耦合到波导结构中是一个重要的问题。对于这些应用,倾斜光栅因为能够高效地耦合单色光而被熟知。在此示例中,介绍了使用严格的傅里叶模态法(FMM,也称为RCWA)对倾斜光栅进行优化。对于给定的方向级次,优化的光栅展示出超过90%的衍射效率。此外,还研究了斜率偏差和光栅圆角的影响。 $z]gy]F 1_!*R]a q
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?ZDXT2b~~ &""~Pn8 VirtualLab Fusion中的工作流程 G:$wdT(u [>Kkj;* 构建光栅结构 <XX\4[wb −使用特殊材料的光栅结构设定[用例] iVzv/Lqm1 −倾斜光栅高级设定[用例] H?8KTl=e •光栅衍射效率分析 NA>h$N −光栅阶序分析器[用例] @!&\Z[", •使用参数优化进行光栅参数优化 l=[<gPE •使用参数运行的容差分析 #[C|%uq |_8-3 EX7cjQsml s(J,TS#I] VirtualLab Fusion技术 I2(5]85&]s 4r`u@
.HF+JHIUu 6+A<_r`#Q 文件信息 i2A>T/?{ "?hEGJ;m"
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