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摘要 K9*#H( w`Dzk.2 对于许多应用来说(例如背光、光学连接器和近眼显示),如何将光高效地耦合到波导结构中是一个重要的问题。对于这些应用,倾斜光栅因为能够高效地耦合单色光而被熟知。在此示例中,介绍了使用严格的傅里叶模态法(FMM,也称为RCWA)对倾斜光栅进行优化。对于给定的方向级次,优化的光栅展示出超过90%的衍射效率。此外,还研究了斜率偏差和光栅圆角的影响。 #+eV5%Si JPk3T.qp
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=fT O!uB|* 设计任务 "t"=9:_t n.y72-&v
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Y^S0K'N eeb8v:4 VirtualLab Fusion一瞥 wy_TFV mI in'M
0tB9X9 :, v(4C?vxhG VirtualLab Fusion中的工作流程 hv
.Mf.m $X~=M_W 构建光栅结构 p9_45u`u2 −使用特殊材料的光栅结构设定[用例] ;wprHXjq −倾斜光栅高级设定[用例] \{+7`4g •光栅衍射效率分析 n*iaNaU"' −光栅阶序分析器[用例] XW]|Mv[M •使用参数优化进行光栅参数优化 uD:O[H-x •使用参数运行的容差分析 HA"dw2| <WBGPzVZE O t`}eL- S_2I8G^A VirtualLab Fusion技术 hY'"^?OP 5'V'~Q%
>o>'@)I?e6 '}4[m>/ 文件信息 Gh|1%g"gm pdnL~sv
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