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摘要 t&:'Ag.G 'VFxg, 对于许多应用来说(例如背光、光学连接器和近眼显示),如何将光高效地耦合到波导结构中是一个重要的问题。对于这些应用,倾斜光栅因为能够高效地耦合单色光而被熟知。在此示例中,介绍了使用严格的傅里叶模态法(FMM,也称为RCWA)对倾斜光栅进行优化。对于给定的方向级次,优化的光栅展示出超过90%的衍射效率。此外,还研究了斜率偏差和光栅圆角的影响。 D/:~#)
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o4o&} #<0%_Ca VirtualLab Fusion一瞥 Hq$AF K8Gc5#OF
y`:}~nUdT Z}f$KWj VirtualLab Fusion中的工作流程 K+dkImkh wblEx/FqE^ 构建光栅结构 gR.zL>=_5e −使用特殊材料的光栅结构设定[用例] mj[PKEdkB −倾斜光栅高级设定[用例] Nz#T)MGO` •光栅衍射效率分析 {2R b^K −光栅阶序分析器[用例] );@Dr!H •使用参数优化进行光栅参数优化 Wd~aSz9 •使用参数运行的容差分析 !~04^( yY4*/w7*j4 hdW",Bf' uT8/xNB! VirtualLab Fusion技术 5,I'6$J
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