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摘要 ^q{9 >0/i[k-dk 对于许多应用来说(例如背光、光学连接器和近眼显示),如何将光高效地耦合到波导结构中是一个重要的问题。对于这些应用,倾斜光栅因为能够高效地耦合单色光而被熟知。在此示例中,介绍了使用严格的傅里叶模态法(FMM,也称为RCWA)对倾斜光栅进行优化。对于给定的方向级次,优化的光栅展示出超过90%的衍射效率。此外,还研究了斜率偏差和光栅圆角的影响。 uatm/o^~, (SpX w,:
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T-.% #eoome2Q VirtualLab Fusion一瞥 Bo)3!wO8 h}[-'>{
%'bM){ ~-ia+A6GIV VirtualLab Fusion中的工作流程 <CS(c|7 YN/|$sMD| 构建光栅结构 [)H&'5 +F −使用特殊材料的光栅结构设定[用例] k
Z?=AXu −倾斜光栅高级设定[用例] F0GxH? •光栅衍射效率分析 p*< 0"0 −光栅阶序分析器[用例] H=<S 9M •使用参数优化进行光栅参数优化 :0Bq^G"ge •使用参数运行的容差分析 PY{
G [ m4**~xfC ,BH@j%Jmy #jkf1"8 C VirtualLab Fusion技术 urbp#G/> @P#N2:jwj
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