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摘要 v ed
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对于许多应用来说(例如背光、光学连接器和近眼显示),如何将光高效地耦合到波导结构中是一个重要的问题。对于这些应用,倾斜光栅因为能够高效地耦合单色光而被熟知。在此示例中,介绍了使用严格的傅里叶模态法(FMM,也称为RCWA)对倾斜光栅进行优化。对于给定的方向级次,优化的光栅展示出超过90%的衍射效率。此外,还研究了斜率偏差和光栅圆角的影响。 ]_8 \g`"u 0Jh:6F
UdJV;T'rm !#qB%E]a 设计任务 >;W(Jb7e $u"$mg7x
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vrbh+ lej{VcG VirtualLab Fusion一瞥 >O~5s.1u >.\E'e5^C
( mlc']F L ai"D[N VirtualLab Fusion中的工作流程 --kK<9J7 i>2_hn_UR 构建光栅结构 yk{al SF −使用特殊材料的光栅结构设定[用例] :6V8 −倾斜光栅高级设定[用例] idy:Jei} •光栅衍射效率分析 GNOC5 E$I −光栅阶序分析器[用例] N<99K! •使用参数优化进行光栅参数优化 Dzr5qP?# •使用参数运行的容差分析 ,RQ-w2j? T`sM4 VWqU rI/KrBM ]U%Tm>s. VirtualLab Fusion技术 zhE7+``g MzD0F#Y
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