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摘要 `
B+Pl6l)F E0Kt4%b 对于许多应用来说(例如背光、光学连接器和近眼显示),如何将光高效地耦合到波导结构中是一个重要的问题。对于这些应用,倾斜光栅因为能够高效地耦合单色光而被熟知。在此示例中,介绍了使用严格的傅里叶模态法(FMM,也称为RCWA)对倾斜光栅进行优化。对于给定的方向级次,优化的光栅展示出超过90%的衍射效率。此外,还研究了斜率偏差和光栅圆角的影响。 k@2@%02o9C HR?a93
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l`AA<Rj*O- RsP^T:M}$ 结果-容差分析 0 aiE0b9c _,|N`BBqd
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",Fqpu&M #K[6Ai=We} VirtualLab Fusion一瞥 Kdb:Q0B ]4-t*Em
0Y ld!L dw< b}2 VirtualLab Fusion中的工作流程 uB3Yl=P SV_b(wP9 构建光栅结构 1BA5| −使用特殊材料的光栅结构设定[用例] JztSP? −倾斜光栅高级设定[用例] )m$i``*<
•光栅衍射效率分析 <o&\/uO~H −光栅阶序分析器[用例] C Z/:(sOJ •使用参数优化进行光栅参数优化 q8fnUK?i •使用参数运行的容差分析 l#%G~c8x YU%U -D,kL 5B+I\f& VirtualLab Fusion技术 P}bw Ej Gw}b8N6E
*6P)HU@ H}&4#CQ'! 文件信息 !5h@uar }h_=
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