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摘要 fW{(lPx :">!r.Q 对于许多应用来说(例如背光、光学连接器和近眼显示),如何将光高效地耦合到波导结构中是一个重要的问题。对于这些应用,倾斜光栅因为能够高效地耦合单色光而被熟知。在此示例中,介绍了使用严格的傅里叶模态法(FMM,也称为RCWA)对倾斜光栅进行优化。对于给定的方向级次,优化的光栅展示出超过90%的衍射效率。此外,还研究了斜率偏差和光栅圆角的影响。 6Pz4\uE=
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l?E{YQq] s%vis{2 VirtualLab Fusion中的工作流程 M=8.Bp|Ye C>ICu*PW 构建光栅结构 *1ilkmL% −使用特殊材料的光栅结构设定[用例] t*=CZE - −倾斜光栅高级设定[用例] .Hescg/S •光栅衍射效率分析 2% MC Yn −光栅阶序分析器[用例] %p Ynnfr •使用参数优化进行光栅参数优化 B+$%*%b •使用参数运行的容差分析 '@a}H9>} -{KQr1{5UM X1:V<,}" "x#-sZ= VirtualLab Fusion技术 aH yx_B b}2ED9HG\
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