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摘要 \y)rt ) X!Mx5fg 对于许多应用来说(例如背光、光学连接器和近眼显示),如何将光高效地耦合到波导结构中是一个重要的问题。对于这些应用,倾斜光栅因为能够高效地耦合单色光而被熟知。在此示例中,介绍了使用严格的傅里叶模态法(FMM,也称为RCWA)对倾斜光栅进行优化。对于给定的方向级次,优化的光栅展示出超过90%的衍射效率。此外,还研究了斜率偏差和光栅圆角的影响。 YpZ+n*&+ W*4-.*U8a
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Ic:(Gi- % 2c,9e` VirtualLab Fusion一瞥 /y#f3r+*2 gJXq^~-hd
g^2OkV( !/*\}\'4 VirtualLab Fusion中的工作流程 E7 Ul;d
gQelD6c 构建光栅结构 -.@r#d/ −使用特殊材料的光栅结构设定[用例] i2U{GV<K-r −倾斜光栅高级设定[用例] Mzw<{*:r •光栅衍射效率分析 C12Fl −光栅阶序分析器[用例] |&nS|2.' •使用参数优化进行光栅参数优化 &yTqZ*Yuk •使用参数运行的容差分析 }J`w4P 2K6qY)/_ Yty/3T3)e K?Nhi^f"L VirtualLab Fusion技术 ]G=L=D^cK omu|yCK
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