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摘要 A+gS'DZ9C =u ?aP}zc 对于许多应用来说(例如背光、光学连接器和近眼显示),如何将光高效地耦合到波导结构中是一个重要的问题。对于这些应用,倾斜光栅因为能够高效地耦合单色光而被熟知。在此示例中,介绍了使用严格的傅里叶模态法(FMM,也称为RCWA)对倾斜光栅进行优化。对于给定的方向级次,优化的光栅展示出超过90%的衍射效率。此外,还研究了斜率偏差和光栅圆角的影响。 U: Wet, QxdC[t$Lp
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|Z<\k x sHc-xnd 结果-容差分析 Lr D@QBT SXZ9+<\
*>KBDFI p>;@]!YWQ VirtualLab Fusion一瞥 ft6)n T/"& xlS*9>Ij
wuA?t z'_Fg0kR{ VirtualLab Fusion中的工作流程 'v~'NWfd ~qrSHn}+PU 构建光栅结构 HDhISPg −使用特殊材料的光栅结构设定[用例] 0DmA3 −倾斜光栅高级设定[用例] jRg
gj`o •光栅衍射效率分析 JEp)8{.bW8 −光栅阶序分析器[用例] TXmS$q
•使用参数优化进行光栅参数优化 q\?s<l63 •使用参数运行的容差分析 z{
:;Rb 3W%6n-*u p>`rTaeZg gCb+hQq\ VirtualLab Fusion技术 5'I+%66?h$ 7;fC%Fq
GXVx/)H 78uImC*o 文件信息 gmRc4o 3!{imQT
|(3y09 u^tQ2&?O!P /{i~-DVME QQ:2987619807 Nrr})
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