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    [分享]分析高数值孔径物镜的聚焦特性 [复制链接]

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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2021-06-23
    摘要 Gfch|Q^INy  
    Z9bPj8d  
    高数值孔径的物镜广泛用于光刻、显微等方面。 因此，在仿真聚焦时考虑光的矢量性质是至关重要的。VirtualLab可以支持此类透镜的光线和场追迹分析。通过场追迹分析，可以清楚地显示出由于矢量效应引起的非对称焦点。相机探测器和电磁场探测器可以方便地研究聚焦区域的场，也可以深入研究矢量效应。 fltc dA  
    ,{t!->K  
    g&5VorGx  
     <WkLwP3^  
    建模任务 H8k| >4  
    /^ 7 9|$E  
    >g=:01z9  
    概述 $R36`wk  
    dU n#'<g5  
    •案例系统已预先设置了高数值孔径物镜。 1uzfV)  
    •接下来，我们演示如何按照VirtualLab中建议的工作流程在示例系统上执行仿真。 $7g(-W  
    T8 /'`s  
     b~echOj  
    24l9/v'  
    光线追迹仿真 2b1:Tt9  
    mz '8  
    •首先选择“光线追迹系统分析器”作为模拟引擎。 5OE?;PJ(  
    •单击go！ 6Z:|"AwC2  
    •获得了3D光线追迹结果。 .1M>KRSr,  
    wt,N<L  
     [-a /]  
    u?/]"4  
    光线追迹仿真 izA3INT  
    Zwl?*t\D  
    •然后，选择“光线追迹”作为模拟引擎。 <h0ptCB  
    •单击go！ roQIP%h!  
    •结果得到点图（二维光线追迹结果）。 ] "_'o~  
    qIp`'.#m  
     qpCi61lTDJ  
    rR;Om1 -,  
    场追迹仿真 B9\o:eY  
    ZrBxEf$f  
    •切换到场追迹，然后选择“第二代场追迹”作为模拟引擎。 #k, kpL<a  
    •单击go！ b2H6}s"=w  
    @^@-A\7[KO  
    Sj+#yct-  
     @,.H)\a4  
    场追迹仿真（相机探测器） #UIg<:  
    B$j,:^  
    •上图仅显示Ex和Ey场分量积分的强度。 iqYc&}k,  
    •下图显示Ex、Ey和Ez分量积分的强度：由于在高数值孔径情况下Ez分量相对较大，因此可见明显的不对称性。 e{/\znBS%  
    Z O^ +KE"  
     E}+A)7mA  
    xa:P(x3[  
    场追迹仿真（电磁场探测器） X)S4rW%  
    •使用电磁场探测器可获得所有电磁场分量。 CJ b ~~  
    = %m/  
    kPe9G  
     >6j`ZWab>  
    场追迹仿真（电磁场探测器） X:5*LB\/v  
     !JA63  
    •使用电磁场探测器可获得所有电磁场分量。 !bg3  
    C+j+q648>  
     up?8Pq*  
    ~x+w@4)a>  
    文件信息 e2Dj%=`EU  
    dewu@  
     ]]4E)j8  
    umeb&\:8S-  
     XDF" ,N)  
    QQ：2987619807 {3>^nMv@e  
     
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