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    [分享]分析高数值孔径物镜的聚焦特性 [复制链接]

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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2021-06-23
    摘要 u%3i0BajY  
    6)qp*P$L  
    高数值孔径的物镜广泛用于光刻、显微等方面。 因此，在仿真聚焦时考虑光的矢量性质是至关重要的。VirtualLab可以支持此类透镜的光线和场追迹分析。通过场追迹分析，可以清楚地显示出由于矢量效应引起的非对称焦点。相机探测器和电磁场探测器可以方便地研究聚焦区域的场，也可以深入研究矢量效应。 @MiH(.Dq  
    HeLG?6  
    _ \D"E>oM  
     nirDMw[  
    建模任务 $TG =w  
    N\NyXh$  
    Es!Q8.  
    概述 vDFGd-S  
    eF~dQ4RZ  
    •案例系统已预先设置了高数值孔径物镜。 =2Cj,[$  
    •接下来，我们演示如何按照VirtualLab中建议的工作流程在示例系统上执行仿真。 x|i_P|Z  
    D`[Khsf  
     I|9 SiZ0  
    V`kMCE;?l  
    光线追迹仿真 (W[V? !1  
    `JB?c  
    •首先选择“光线追迹系统分析器”作为模拟引擎。 XJ1=m   
    •单击go！ cA)[XpQ:+W  
    •获得了3D光线追迹结果。 nhT-Ido  
    Qkcjr]#^$  
     QA3/   
    E{E0Z9t7&  
    光线追迹仿真 j8Cho5C  
    7fHc[,  
    •然后，选择“光线追迹”作为模拟引擎。 'n;OB4  
    •单击go！ 5T@aCC@$h  
    •结果得到点图（二维光线追迹结果）。 "4o=,$E=  
    A1 "SLFY  
     JH8}Ru%Z  
    `=UWqb(K_  
    场追迹仿真 a5Y IUVCv  
    _oG&OJ@  
    •切换到场追迹，然后选择“第二代场追迹”作为模拟引擎。 FAsFjRS  
    •单击go！ W,XTF  
    bD ^b  
    wE]K~y!`  
     ,m_WR7!$E  
    场追迹仿真（相机探测器） Hnk:K9u.B:  
    X5LBEOG  
    •上图仅显示Ex和Ey场分量积分的强度。 lf(`SYQnOY  
    •下图显示Ex、Ey和Ez分量积分的强度：由于在高数值孔径情况下Ez分量相对较大，因此可见明显的不对称性。 PjKEC N  
    (o5j'2:.  
     qpIC{'A.  
    }e2VY  
    场追迹仿真（电磁场探测器） /D! ;u]  
    •使用电磁场探测器可获得所有电磁场分量。 p]T<HGJ P  
    HpZ1xT  
    Zf$Np50@(  
     ~6YMD  
    场追迹仿真（电磁场探测器） #J (~_%Wi  
     8N&+7FK  
    •使用电磁场探测器可获得所有电磁场分量。 21hv%CF\9  
    ;oZ)Wt  
     5GA C`}}  
    WHXj8*]6  
    文件信息 F8-?dpf'  
    I9h ?;(  
     jTO), v:w  
    Od f[*  
     (T`E!A0I\?  
    QQ：2987619807 2 3OC2|  
     
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