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    [分享]分析高数值孔径物镜的聚焦特性 [复制链接]

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    科学家
     
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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2021-06-23
    摘要 `,"Jc<R7Z  
    \O~P !`  
    高数值孔径的物镜广泛用于光刻、显微等方面。 因此，在仿真聚焦时考虑光的矢量性质是至关重要的。VirtualLab可以支持此类透镜的光线和场追迹分析。通过场追迹分析，可以清楚地显示出由于矢量效应引起的非对称焦点。相机探测器和电磁场探测器可以方便地研究聚焦区域的场，也可以深入研究矢量效应。 -nSqB{s!SD  
    J-c7ZcTt  
    "$Q Gifb  
     39CPFgi<l*  
    建模任务 35T7g65;  
    mt'#j"mU  
    j!rz@Y3  
    概述 &jcr7{cD  
    f*Bc`+G  
    •案例系统已预先设置了高数值孔径物镜。 #>'0C6Xn  
    •接下来，我们演示如何按照VirtualLab中建议的工作流程在示例系统上执行仿真。 i/Z5/(zF  
    v\C+G[MV 7  
     *<1m 2t>.  
    z_)$g= 9$  
    光线追迹仿真 qE[}Cf]X  
    @P?*<b{  
    •首先选择“光线追迹系统分析器”作为模拟引擎。 /_8V+@im  
    •单击go！ v\vn}/>*d  
    •获得了3D光线追迹结果。 b`mEnI VIz  
    *XuzTGa"  
     l ki(_ @3  
    zZ63 P  
    光线追迹仿真 KtE`L4tW6  
    J2rH<Fd[up  
    •然后，选择“光线追迹”作为模拟引擎。 0OXd*  
    •单击go！ q$P"o].EK  
    •结果得到点图（二维光线追迹结果）。 v:'y&yS  
    L<n_}ucA  
     |Z;Av%%  
    t<tBOesQ  
    场追迹仿真 j#,O,\  
    :gXj( $  
    •切换到场追迹，然后选择“第二代场追迹”作为模拟引擎。 9w1)Mf}  
    •单击go！ E_P]f%  
    .1;?#t]ZV  
    81&!!qhfS  
     = j -  
    场追迹仿真（相机探测器） Lfor 0-j  
    FB""^IC?W  
    •上图仅显示Ex和Ey场分量积分的强度。 &oBJY'1  
    •下图显示Ex、Ey和Ez分量积分的强度：由于在高数值孔径情况下Ez分量相对较大，因此可见明显的不对称性。 hwJ.M4  
    @Hzsud  
     a%kj)ah  
    +e\u4k{3V  
    场追迹仿真（电磁场探测器） Wo&i)S<i0F  
    •使用电磁场探测器可获得所有电磁场分量。 eF9LZ"-s  
    lU?"\m  
    QnqX/vnR  
     #AHIlUH"m  
    场追迹仿真（电磁场探测器） tB[K4GNSQ  
     r?$\`,;  
    •使用电磁场探测器可获得所有电磁场分量。 lWR  
    ;8!D8o(+  
     .s+e hZ  
    fN9hBC@  
    文件信息  F#hM S<  
    wBf bpoE7  
     U[ed#9l>  
    xucV$[f  
     uQDu<@5^[  
    QQ：2987619807 "H({kmR  
     
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