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    [分享]分析高数值孔径物镜的聚焦特性 [复制链接]

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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2021-06-23
    摘要 n{jGOfc  
    CN ?gq^  
    高数值孔径的物镜广泛用于光刻、显微等方面。 因此，在仿真聚焦时考虑光的矢量性质是至关重要的。VirtualLab可以支持此类透镜的光线和场追迹分析。通过场追迹分析，可以清楚地显示出由于矢量效应引起的非对称焦点。相机探测器和电磁场探测器可以方便地研究聚焦区域的场，也可以深入研究矢量效应。 XP}<N&j  
    }0 ?3:A  
    fV~~J2IK  
     E`J@h l$N  
    建模任务 C,zohlpC  
    HKeK<V  
    ig"L\ C"T  
    概述 DfB7*+x{  
    ';"VDLb3  
    •案例系统已预先设置了高数值孔径物镜。 H*6W q  
    •接下来，我们演示如何按照VirtualLab中建议的工作流程在示例系统上执行仿真。 {)Xy%QV  
    7Yy ;  
     3XKf!P  
    cb bFw  
    光线追迹仿真 _ dg\\c  
    ,//S`j$S  
    •首先选择“光线追迹系统分析器”作为模拟引擎。 0`H# '/  
    •单击go！ /@5YW"1  
    •获得了3D光线追迹结果。 T{'RV0%   
    ('~LMu_  
     lxi<F  
    Hp?/a?\Xm  
    光线追迹仿真 $ Q0n  
    =u;MCQ[  
    •然后，选择“光线追迹”作为模拟引擎。 JS77M-Ac  
    •单击go！ t,' <gI  
    •结果得到点图（二维光线追迹结果）。 TZ`SZDc7_  
    JI5Dy>u:  
     s^SJY{  
    /RF7j;  
    场追迹仿真 (.,G=\!  
    N g,j#  
    •切换到场追迹，然后选择“第二代场追迹”作为模拟引擎。 _cwpA#x`}  
    •单击go！ K^[?O{x^B  
    adw2x pj  
    4P0}+  
     0YHFvy)  
    场追迹仿真（相机探测器） Pc9H0\+Xk  
    _f{{( 7  
    •上图仅显示Ex和Ey场分量积分的强度。 e(yh[7p=  
    •下图显示Ex、Ey和Ez分量积分的强度：由于在高数值孔径情况下Ez分量相对较大，因此可见明显的不对称性。 0$njMnB2l  
    F[0]/  
     KSL`W2}  
    9FX-1,Jx  
    场追迹仿真（电磁场探测器） <vP=zk  
    •使用电磁场探测器可获得所有电磁场分量。 =lC7gS!U  
    /O9EQPm(  
    &wX]_:?  
     T;#FEzBz  
    场追迹仿真（电磁场探测器） uw7zWJ n  
     ;Xw~D_uv  
    •使用电磁场探测器可获得所有电磁场分量。 54/=G(F   
    IK]d3owA  
     YS ][n_  
    ctUp=po  
    文件信息 `x|?&Ytmf9  
    W%J\qA  
     N;gfbh]  
    5X+A"X ;C  
     qb4z T  
    QQ：2987619807 xkn;,`t^lJ  
     
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