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    [分享]分析高数值孔径物镜的聚焦特性 [复制链接]

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    离线infotek
    科学家
     
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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2021-06-23
    摘要 ;|1P1H-W~M  
    V+ ~2q=  
    高数值孔径的物镜广泛用于光刻、显微等方面。 因此，在仿真聚焦时考虑光的矢量性质是至关重要的。VirtualLab可以支持此类透镜的光线和场追迹分析。通过场追迹分析，可以清楚地显示出由于矢量效应引起的非对称焦点。相机探测器和电磁场探测器可以方便地研究聚焦区域的场，也可以深入研究矢量效应。 $,#IPoi~X  
    ^M5uLm-_s  
    )g^Ewzy^X  
     dY` J,s  
    建模任务 ]H'82a  
    q8v!{Os+#  
    kV9NFo22  
    概述 ?o'arxCxZn  
    y'wW2U/ 1-  
    •案例系统已预先设置了高数值孔径物镜。 c0p=/*s(  
    •接下来，我们演示如何按照VirtualLab中建议的工作流程在示例系统上执行仿真。 ):EXh#  
    uQ+$HzxX  
     .[85<"C  
    rGL{g&_  
    光线追迹仿真 vrx3O  
    *n ?:)(  
    •首先选择“光线追迹系统分析器”作为模拟引擎。 MdjMTe s  
    •单击go！ n:)Y'52}  
    •获得了3D光线追迹结果。 HD|)D5wH|  
    +N&(lj  
     w~?eX/;  
    6x8|v7cMH  
    光线追迹仿真 t^;Fq{>  
    v!C+W$,T  
    •然后，选择“光线追迹”作为模拟引擎。 wf$ JuHPt  
    •单击go！ &}=,8Gt1G  
    •结果得到点图（二维光线追迹结果）。 HhH'\-[t  
    &g>+tkC  
     _Hj,;Z  
    %=eD)p7l-  
    场追迹仿真 q2i~<;Z)9  
    :?W:'% (`[  
    •切换到场追迹，然后选择“第二代场追迹”作为模拟引擎。 M_I\:Q  
    •单击go！ w2AWdO6  
    }CqIKoX.  
    YHAg4 eb8  
     UeQ% (f  
    场追迹仿真（相机探测器） Vk T3_f  
    e 3oIoj4o  
    •上图仅显示Ex和Ey场分量积分的强度。 " N4]e/.V  
    •下图显示Ex、Ey和Ez分量积分的强度：由于在高数值孔径情况下Ez分量相对较大，因此可见明显的不对称性。 z H4#\d  
    _%!hkc(  
     `"4EE}eQc  
    V@f#/"u'  
    场追迹仿真（电磁场探测器） }1 ^.A84a  
    •使用电磁场探测器可获得所有电磁场分量。 X[6 z  
    <Ux;dekz}  
    8;rS"!qM  
     8 EH3zm4  
    场追迹仿真（电磁场探测器） .?NAq[H%  
     n_glYSV!  
    •使用电磁场探测器可获得所有电磁场分量。  JwcP[w2  
    F4Z0g*^x  
     0[Aa2H*  
    !I&Sy]G  
    文件信息 (^\i(cfu6Q  
    fsu "Lc  
     GjBQxn  
    ;_*F [ }w  
     :wm^04<i   
    QQ：2987619807 na)ceN2h  
     
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