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    [分享]分析高数值孔径物镜的聚焦特性 [复制链接]

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    离线infotek
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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2021-06-23
    摘要 xI ,2LGO  
    C]^H&  
    高数值孔径的物镜广泛用于光刻、显微等方面。 因此，在仿真聚焦时考虑光的矢量性质是至关重要的。VirtualLab可以支持此类透镜的光线和场追迹分析。通过场追迹分析，可以清楚地显示出由于矢量效应引起的非对称焦点。相机探测器和电磁场探测器可以方便地研究聚焦区域的场，也可以深入研究矢量效应。 vVGDDDz/  
    HM>lg`S  
    "5cM54Z0  
     wf, 7==  
    建模任务 .xf<=ep  
    G!4(BGx&  
    .4. b*5  
    概述 2Q;9G6p  
    2r$#m*  
    •案例系统已预先设置了高数值孔径物镜。 Kn+S,1r  
    •接下来，我们演示如何按照VirtualLab中建议的工作流程在示例系统上执行仿真。 :Xc@3gF  
    3_JCU05H}  
     S"9zc ,]  
    FP[!BUOf"  
    光线追迹仿真 cj11S>D  
    a^,(v  
    •首先选择“光线追迹系统分析器”作为模拟引擎。 5s(1[(  
    •单击go！ h|X^dQb]  
    •获得了3D光线追迹结果。 q2HYiH^L  
    ]v+31vdf:O  
     lRh9j l  
    cqxVAzb  
    光线追迹仿真 ;Eu3[[V  
    9Fn\FYUq  
    •然后，选择“光线追迹”作为模拟引擎。 Jk,;JQ  
    •单击go！ m%?V7-9!k  
    •结果得到点图（二维光线追迹结果）。 IK*07h/!  
    r$)w7Gk<  
     x@8a''  
    :[;hu}!&  
    场追迹仿真 (sWLhUgRX  
    pW4 cX  
    •切换到场追迹，然后选择“第二代场追迹”作为模拟引擎。 ctcS:<r/3@  
    •单击go！ G:g69=x y  
    O12eH  
    yCCrK@{oo  
     FVh U^  
    场追迹仿真（相机探测器） 2wF8 P)  
    "Ks,kSEzu  
    •上图仅显示Ex和Ey场分量积分的强度。 ~/j\Z  
    •下图显示Ex、Ey和Ez分量积分的强度：由于在高数值孔径情况下Ez分量相对较大，因此可见明显的不对称性。 h=-"SW  
    )>BHL3@  
     YuB+k^  
    W`^@)|9^)  
    场追迹仿真（电磁场探测器） v%Wx4v@%SE  
    •使用电磁场探测器可获得所有电磁场分量。 sVex (X  
    v+9 9 -.  
    y(K" -?  
     (h:Rh  
    场追迹仿真（电磁场探测器） >LDhU%bH  
     V')0 Mr  
    •使用电磁场探测器可获得所有电磁场分量。 R :B^  
    \l~*PG2  
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    文件信息 '] +Uu'a  
    X1~1&:V,<  
     4[N^>qt =  
    }f2r!7:x  
     0Fu~%~#E$  
    QQ：2987619807 8_N]e'WUh  
     
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