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    [分享]分析高数值孔径物镜的聚焦特性 [复制链接]

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    科学家
     
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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2021-06-23
    摘要 ?8V.iHJk  
    4@?0wV  
    高数值孔径的物镜广泛用于光刻、显微等方面。 因此，在仿真聚焦时考虑光的矢量性质是至关重要的。VirtualLab可以支持此类透镜的光线和场追迹分析。通过场追迹分析，可以清楚地显示出由于矢量效应引起的非对称焦点。相机探测器和电磁场探测器可以方便地研究聚焦区域的场，也可以深入研究矢量效应。 JkAM:,^(  
    .Az36wD  
    U8Y%rFh1  
     yQ[;y~W  
    建模任务 Sr aZxuPg>  
    rY_~(?XS  
    +H2Jhgi  
    概述 X=$Jp.  
    .c"nDCFVR  
    •案例系统已预先设置了高数值孔径物镜。 :]-oo*xP  
    •接下来，我们演示如何按照VirtualLab中建议的工作流程在示例系统上执行仿真。 6^"QABc  
    2nB99L{6  
     {q0+PzgP  
    sxREk99lL  
    光线追迹仿真 SN{+ Pk  
    S:_Ms{S  
    •首先选择“光线追迹系统分析器”作为模拟引擎。 } GB~3 J  
    •单击go！ ii)# (b:V  
    •获得了3D光线追迹结果。 hC:'L9Y  
    Q Q3<)i  
     te+}j7SU  
    m@2E ~m  
    光线追迹仿真 "Lbsq\W>  
    C Bkoky 9&  
    •然后，选择“光线追迹”作为模拟引擎。 Zo3!Hs ZA  
    •单击go！ 5CkG^9  
    •结果得到点图（二维光线追迹结果）。 ;}46Uc#WS  
    @YI{E*?S  
     b{A[\ "  
    cfLLFPhv)  
    场追迹仿真 i 9) G t  
    OpUfK4U)  
    •切换到场追迹，然后选择“第二代场追迹”作为模拟引擎。 &K9;GZS?  
    •单击go！ v"bWVc~H  
    7*5B  
    /Y7^!3uM  
     /s\ m V  
    场追迹仿真（相机探测器） $p0nq&4c  
    uAO!fE}CJ  
    •上图仅显示Ex和Ey场分量积分的强度。 8MJJ w;  
    •下图显示Ex、Ey和Ez分量积分的强度：由于在高数值孔径情况下Ez分量相对较大，因此可见明显的不对称性。 Q]k< Y  
    N"S`9B1eD(  
     %~LY'cfPse  
    ;.>*O oe&  
    场追迹仿真（电磁场探测器） f@OH~4FG  
    •使用电磁场探测器可获得所有电磁场分量。 FZe/3sY  
    2@|`Ugjptl  
    uC'-: t#  
     ;s B=f  
    场追迹仿真（电磁场探测器） l;; 2\mL?  
     E'AR.!  
    •使用电磁场探测器可获得所有电磁场分量。 *QC6zJ  
    my 'nDi  
     ewMVUq*:  
    *[Hp&6f  
    文件信息 LE\*33k_  
    (t4i&7-  
     / ;`H )  
    HsCL%$k  
     [EAOk=X  
    QQ：2987619807 =^9h z3 j  
     
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