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    [分享]分析高数值孔径物镜的聚焦特性 [复制链接]

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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2021-06-23
    摘要 V`fh,(:  
    7 cIVK}&  
    高数值孔径的物镜广泛用于光刻、显微等方面。 因此，在仿真聚焦时考虑光的矢量性质是至关重要的。VirtualLab可以支持此类透镜的光线和场追迹分析。通过场追迹分析，可以清楚地显示出由于矢量效应引起的非对称焦点。相机探测器和电磁场探测器可以方便地研究聚焦区域的场，也可以深入研究矢量效应。 s^KxAw_IV  
    B4|% E$1+  
    ^ACp_RM  
     =C3l:pGMB;  
    建模任务 At bqj?  
    rX{|]M":T  
    bNaJ{Dm$R  
    概述 {8B\-LUR  
    >MP PYVn7  
    •案例系统已预先设置了高数值孔径物镜。 A<.Q&4jb  
    •接下来，我们演示如何按照VirtualLab中建议的工作流程在示例系统上执行仿真。 ] &G5/ ]f  
    Fsq S)  
     .cZ&~ N  
    ([9h.M6v  
    光线追迹仿真 caj)  
    ?pF;{  
    •首先选择“光线追迹系统分析器”作为模拟引擎。 s9E:6  
    •单击go！ giu~"#0/F  
    •获得了3D光线追迹结果。 "!Qhk3*  
    T:!sfhrZ~<  
     {YGz=5^  
    'g=yJ  
    光线追迹仿真 xd .I5  
    Dh9-~}sW'  
    •然后，选择“光线追迹”作为模拟引擎。 dIpt&nH&$  
    •单击go！ |t]9RC.;7  
    •结果得到点图（二维光线追迹结果）。 2Qy!Aa  
    \W( p)M  
     %~W}262  
    Bw#ubQJ8}  
    场追迹仿真 {X =\  
    .e"jnP~  
    •切换到场追迹，然后选择“第二代场追迹”作为模拟引擎。 6/-!oo   
    •单击go！ #VO2O0GR  
    Wig0OZj  
    O?2<rbx  
     ]Z84w!z  
    场追迹仿真（相机探测器） tAC,'im:*  
    DS$ _"'g%i  
    •上图仅显示Ex和Ey场分量积分的强度。 .gPsJ?b  
    •下图显示Ex、Ey和Ez分量积分的强度：由于在高数值孔径情况下Ez分量相对较大，因此可见明显的不对称性。 18n84RkI9  
    iP!Y4F  
     gP`!MlY@  
    8uGPyH  
    场追迹仿真（电磁场探测器） #P4dx'vm  
    •使用电磁场探测器可获得所有电磁场分量。 (jm.vL&5j  
    Z~,.l  
    sTA/2d  
     kCwTv:)  
    场追迹仿真（电磁场探测器） y(]|jRo  
     m+m6"yE#_  
    •使用电磁场探测器可获得所有电磁场分量。 GY",AL8f  
    )4`Ml*7x  
     D}061~zb$  
    /-hF<oNQ  
    文件信息 1IlR  
    o5D"<-=>  
     b "Mq7&cf  
    |O)deiJRy  
     j^ _I{  
    QQ：2987619807 a?Y1G3U'  
     
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