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    [分享]分析高数值孔径物镜的聚焦特性 [复制链接]

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    离线infotek
    科学家
     
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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2021-06-23
    摘要 AzO3(1:  
    Rc:cVK  
    高数值孔径的物镜广泛用于光刻、显微等方面。 因此，在仿真聚焦时考虑光的矢量性质是至关重要的。VirtualLab可以支持此类透镜的光线和场追迹分析。通过场追迹分析，可以清楚地显示出由于矢量效应引起的非对称焦点。相机探测器和电磁场探测器可以方便地研究聚焦区域的场，也可以深入研究矢量效应。 7! b)'W?  
    b|ksMB>)  
    "o#)vA`  
     W3{<e"  
    建模任务 7{+Io  
    E0)mI)RW.  
    w HHF=Q  
    概述 gc2|V6(  
    ?9zoQ[  
    •案例系统已预先设置了高数值孔径物镜。 kk_9G -M  
    •接下来，我们演示如何按照VirtualLab中建议的工作流程在示例系统上执行仿真。 GkGC4*n  
    t`8e#n 9  
     ~0[G/A$]  
    |+;KhC  
    光线追迹仿真 bV )PT`-,  
    k$0|^GL8  
    •首先选择“光线追迹系统分析器”作为模拟引擎。 zN)|g  
    •单击go！ HzG~I8o(d  
    •获得了3D光线追迹结果。 *<.WL"Qhl  
    Jp.3KA>  
     k{}[>))Q  
    lNA'M&  
    光线追迹仿真 ~aqT~TL_  
    9&XV}I,~?|  
    •然后，选择“光线追迹”作为模拟引擎。 K.V!@bPlw9  
    •单击go！ nv_m!JG7  
    •结果得到点图（二维光线追迹结果）。 n $O.>  
    J/]o WC`u  
     2sd ) w  
    w8ZHk?:  
    场追迹仿真 \sHy.{  
    x  tYV"  
    •切换到场追迹，然后选择“第二代场追迹”作为模拟引擎。 yd0=h7s  
    •单击go！ 75\RG+kQ  
    <@U.   
    KD%xo/Z.  
     j'#jnP*P  
    场追迹仿真（相机探测器） >Bh)7>`3c  
    @Hspg^  
    •上图仅显示Ex和Ey场分量积分的强度。 ;l/}Or2  
    •下图显示Ex、Ey和Ez分量积分的强度：由于在高数值孔径情况下Ez分量相对较大，因此可见明显的不对称性。 @pqY9_:P1  
    Xc8= 2n  
     )tN?: l  
    'B:Z=0{>N  
    场追迹仿真（电磁场探测器） &prdlh=UE  
    •使用电磁场探测器可获得所有电磁场分量。 ]/ZA/:Oa+  
    $tDCS  
    cotxo?)Zv  
     B&4fYpn  
    场追迹仿真（电磁场探测器） B91S h`  
     P S_3Oq)  
    •使用电磁场探测器可获得所有电磁场分量。 iioct_7,g<  
    pPiYPfs  
     Tsm)&$JI8  
    .q5J^/kr  
    文件信息 "t (1tWO1o  
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     c W81  
    #;\L,a|>*  
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    QQ：2987619807 y'J:?!S,Yu  
     
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