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    [分享]分析高数值孔径物镜的聚焦特性 [复制链接]

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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2021-06-23
    摘要 Q<(aU{  
    Ti>}To}B5  
    高数值孔径的物镜广泛用于光刻、显微等方面。 因此，在仿真聚焦时考虑光的矢量性质是至关重要的。VirtualLab可以支持此类透镜的光线和场追迹分析。通过场追迹分析，可以清楚地显示出由于矢量效应引起的非对称焦点。相机探测器和电磁场探测器可以方便地研究聚焦区域的场，也可以深入研究矢量效应。 BJ{?S{"6%G  
    nIqF:6/  
    UI*&@!%bzp  
     GK#D R/OM  
    建模任务 /buj(/q^#  
    $9Gra#  
    (N5"'`NZA  
    概述 zo@,>'m  
    ;Hb"SB  
    •案例系统已预先设置了高数值孔径物镜。 cG4}daK]d  
    •接下来，我们演示如何按照VirtualLab中建议的工作流程在示例系统上执行仿真。 Cj J n  
    P1<McQ  
     u\km_e  
    ,I:[-|Q  
    光线追迹仿真 ;HiaX<O!  
    qBZ;S3  
    •首先选择“光线追迹系统分析器”作为模拟引擎。 kRH D{6mol  
    •单击go！ (U:6vk3Q  
    •获得了3D光线追迹结果。 ?i}wm`  
    s:I 8~Cc  
     D2zqDo<+;  
    `0-i>>  
    光线追迹仿真 V=c?V/pl  
    \!k\%j 9  
    •然后，选择“光线追迹”作为模拟引擎。 p$<){,R  
    •单击go！ 8DFq eY0S  
    •结果得到点图（二维光线追迹结果）。 FV%|*JW[;N  
    4+4&}8FH  
     J$-1odL0Z  
    i'}"5O+  
    场追迹仿真 xFyBF[c  
    y tTppmJF  
    •切换到场追迹，然后选择“第二代场追迹”作为模拟引擎。 Kc+9n%sp  
    •单击go！ Ah zV?6e  
    &+/$~@OK  
    y/+y |.Xg  
     {wD "|K  
    场追迹仿真（相机探测器） t`1~5#?Du(  
    B'6(Ao=3/  
    •上图仅显示Ex和Ey场分量积分的强度。 =-G4 BQ  
    •下图显示Ex、Ey和Ez分量积分的强度：由于在高数值孔径情况下Ez分量相对较大，因此可见明显的不对称性。 ~-~iCIaTb  
    D?"Q)kVuD  
     ,Uy~O(F t  
    N]G`]  
    场追迹仿真（电磁场探测器） ^;@!\Rc  
    •使用电磁场探测器可获得所有电磁场分量。 Nl{on"il  
    ~~#/jULbV  
    VGOdJ|2]Wr  
     $-gRD|oY  
    场追迹仿真（电磁场探测器） ?y^ ix+ M  
     UBx0Z0Y  
    •使用电磁场探测器可获得所有电磁场分量。 z@2nre  
    r6 kQMFA  
     +sXnC\  
    5 gwEr170  
    文件信息 QtOT'<2t]  
    MA v-#  
     ,k m`-6.2?  
    3.%jet1  
     C0L(ti;  
    QQ：2987619807 O! w&3 p  
     
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