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    [分享]分析高数值孔径物镜的聚焦特性 [复制链接]

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    离线infotek
    科学家
     
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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2021-06-23
    摘要 $[e*0!e  
    e2v,#3Q\  
    高数值孔径的物镜广泛用于光刻、显微等方面。 因此，在仿真聚焦时考虑光的矢量性质是至关重要的。VirtualLab可以支持此类透镜的光线和场追迹分析。通过场追迹分析，可以清楚地显示出由于矢量效应引起的非对称焦点。相机探测器和电磁场探测器可以方便地研究聚焦区域的场，也可以深入研究矢量效应。 WJWhx4Hk  
    r38CPdE;}  
    %' Fc%3  
     N !:&$z-  
    建模任务 h#>67gJV  
    e^fjla5  
    h 9/68Gc?6  
    概述 iC">F.9#  
    Z1zC@z4sUj  
    •案例系统已预先设置了高数值孔径物镜。 MwZ`NH|n3"  
    •接下来，我们演示如何按照VirtualLab中建议的工作流程在示例系统上执行仿真。 4e4$AB"  
    @ggM5mm  
     [z?XVl<  
    q4E{?  
    光线追迹仿真 Z|.. hZG  
    V.}U p+WL  
    •首先选择“光线追迹系统分析器”作为模拟引擎。 TG($l2  
    •单击go！ <K~#@.^`  
    •获得了3D光线追迹结果。 8G=4{,(A  
    @eul~%B{X  
     Sc(2c.HO*  
    ' x|B'  
    光线追迹仿真 VrDvd  
    h$3Y,-4  
    •然后，选择“光线追迹”作为模拟引擎。 J_tJj8  
    •单击go！ &c'unKH  
    •结果得到点图（二维光线追迹结果）。 6YN4]  
    +] uY  
     !Bd2$y.  
    r\yj$Gu>(  
    场追迹仿真 ) ":~`Z*@  
    )g-*fSa  
    •切换到场追迹，然后选择“第二代场追迹”作为模拟引擎。 ky*-_  
    •单击go！ 2>mDT  
    YVzK$k'3U  
    +I U]=qS  
     WW&0FugY_  
    场追迹仿真（相机探测器） E: %%Dm  
    ,]+6kf5  
    •上图仅显示Ex和Ey场分量积分的强度。 edch'H^2+P  
    •下图显示Ex、Ey和Ez分量积分的强度：由于在高数值孔径情况下Ez分量相对较大，因此可见明显的不对称性。 =,sMOJ c>  
    FT=w`NE,+  
     aJ2-BRn  
    #3.\}d)  
    场追迹仿真（电磁场探测器） tTY(I1  
    •使用电磁场探测器可获得所有电磁场分量。 dJ$}]   
    ^0VI J)y  
    g{&ux k);  
     5dhRuc  
    场追迹仿真（电磁场探测器）  oo2VT  
     ";Lpf]<  
    •使用电磁场探测器可获得所有电磁场分量。 Qv8Z64#  
    K@h v[4  
     upWq=_  
    O,7P6  
    文件信息 6$IAm#  
    o rEo$e<  
     -~jM=f$  
    QkA79%;j  
     [z?q -$#  
    QQ：2987619807 !X8:#a(  
     
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