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    [分享]分析高数值孔径物镜的聚焦特性 [复制链接]

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    科学家
     
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    只看楼主 正序阅读 楼主  发表于: 2021-06-23
    摘要 4dok/ +Ec  
    0Gs]>B4r/  
    高数值孔径的物镜广泛用于光刻、显微等方面。 因此，在仿真聚焦时考虑光的矢量性质是至关重要的。VirtualLab可以支持此类透镜的光线和场追迹分析。通过场追迹分析，可以清楚地显示出由于矢量效应引起的非对称焦点。相机探测器和电磁场探测器可以方便地研究聚焦区域的场，也可以深入研究矢量效应。 PA=BNKlH  
    $I/p6  
    GbE3 :;JI  
     d{trO;%#f  
    建模任务 >lj3MNSH  
    T*ic?!  
    A+l"  
    概述 POG5x  
    $+);!?^|:  
    •案例系统已预先设置了高数值孔径物镜。 Tc*PDt0C  
    •接下来，我们演示如何按照VirtualLab中建议的工作流程在示例系统上执行仿真。 2X]\:<[4  
    ,-"]IR!,w  
     5a~1RL  
    Xo5L:(?K  
    光线追迹仿真 +vnaEy  
    yh)q96m-V=  
    •首先选择“光线追迹系统分析器”作为模拟引擎。 Pn#Lymxh_a  
    •单击go！ xVe!  
    •获得了3D光线追迹结果。 i*tj@5MY-  
    KJ~pY<a?  
     F)IP~BE-k  
    y*D 8XI$  
    光线追迹仿真 re!CF8 q  
    O(d'8`8  
    •然后，选择“光线追迹”作为模拟引擎。 ;@ e |}Gk  
    •单击go！ EGt)tI&  
    •结果得到点图（二维光线追迹结果）。 [Wh 43Z  
    21[F%,{.),  
     E*l"uV  
    h CiblM  
    场追迹仿真 P:v y  
    0>`69&;g|  
    •切换到场追迹，然后选择“第二代场追迹”作为模拟引擎。 dB5DJ:$W$  
    •单击go！ T,fz/5w  
    R[c_L=  
    1}pR')YL[  
     /b|sv$BN  
    场追迹仿真（相机探测器） WKf~K4BL>  
    [ n2udV  
    •上图仅显示Ex和Ey场分量积分的强度。 v+G:,Tc"  
    •下图显示Ex、Ey和Ez分量积分的强度：由于在高数值孔径情况下Ez分量相对较大，因此可见明显的不对称性。 ?1uAY.~ZZB  
    kYAvzuGRb  
     _biJch  
    AL0Rn e N  
    场追迹仿真（电磁场探测器） MlZ`g,{  
    •使用电磁场探测器可获得所有电磁场分量。 kWd'gftQ  
    ^~Sn{esA  
    ?q P }=nJ  
     7 'S]  
    场追迹仿真（电磁场探测器） ||V:',#,W  
     7yp*I[1Qf>  
    •使用电磁场探测器可获得所有电磁场分量。 GpL#, qYc  
    "x)DE,  
     l_ c?q"X  
    Tt\w^Gv\d  
    文件信息 z@i4dC  
    d eg>m?Y  
     v,&2 !Zv  
    +mQSlEo  
     o__q)"^~-  
    QQ：2987619807 SOmn2 }   
     
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