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    [分享]分析高数值孔径物镜的聚焦特性 [复制链接]

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    离线infotek
    科学家
     
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    只看楼主 正序阅读 楼主  发表于: 2021-06-23
    摘要 H;TOPtt2  
    YoV^xl6g  
    高数值孔径的物镜广泛用于光刻、显微等方面。 因此，在仿真聚焦时考虑光的矢量性质是至关重要的。VirtualLab可以支持此类透镜的光线和场追迹分析。通过场追迹分析，可以清楚地显示出由于矢量效应引起的非对称焦点。相机探测器和电磁场探测器可以方便地研究聚焦区域的场，也可以深入研究矢量效应。 RR~sEUCo{  
    ;Xfd1    
    q19k<BqR  
     =A0"0D{\  
    建模任务 9&[) (On74  
    |z!q r}i  
    8(vC jL  
    概述 3ZW/$KP/  
    ]689Q%D  
    •案例系统已预先设置了高数值孔径物镜。 j{Yt70Wv  
    •接下来，我们演示如何按照VirtualLab中建议的工作流程在示例系统上执行仿真。 NSMjr_  
    {dy` %It  
     "%.|n|  
    fB;&n  
    光线追迹仿真 d{iu+=NXz  
    f"Z qA'KB#  
    •首先选择“光线追迹系统分析器”作为模拟引擎。 QoW ( tM  
    •单击go！ #[k~RYS3  
    •获得了3D光线追迹结果。 J+/}K>2#  
    2p$n*|T&c  
     %Lh-aP{[e  
    m6bWmGn GC  
    光线追迹仿真 VL_)]LR*)  
    e/]O<,*  
    •然后，选择“光线追迹”作为模拟引擎。 WX%h4)z*  
    •单击go！ Eonq'Re$  
    •结果得到点图（二维光线追迹结果）。 Ht`<XbQ>  
    <_BqpZ^`  
     l]a^"4L4`o  
    L<f-Ed9|  
    场追迹仿真 `YFkY^T  
    Qag|nLoT  
    •切换到场追迹，然后选择“第二代场追迹”作为模拟引擎。 D:YN_J"kV  
    •单击go！ tIi!* u  
    )^jQkfL  
    5z9r S<  
     ~&wXXVK3  
    场追迹仿真（相机探测器） FSW3'  
    cwH,l$  
    •上图仅显示Ex和Ey场分量积分的强度。 FX7Cjo#=R  
    •下图显示Ex、Ey和Ez分量积分的强度：由于在高数值孔径情况下Ez分量相对较大，因此可见明显的不对称性。 'sm[CNzS  
    S`pF7[%rp  
     g)=V#Bglv  
    F`YFo)W  
    场追迹仿真（电磁场探测器） 9O),/SH;:  
    •使用电磁场探测器可获得所有电磁场分量。 iyA*J CD  
    ucQezmie  
    uHfhRc9  
     3q'K5} _  
    场追迹仿真（电磁场探测器） $x;tSJ)m~  
     +G5'kYzJ  
    •使用电磁场探测器可获得所有电磁场分量。 gzl%5`DBw  
    S[-.tvI;Q  
     |RHO+J  
    =1gDjF9|  
    文件信息 UlK/x"JDv  
    xT{TVHdU  
     DWF >b  
    c_~XL^B@  
     PRMZfYc  
    QQ：2987619807 fs wZM\@  
     
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