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    [分享]分析高数值孔径物镜的聚焦特性 [复制链接]

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    科学家
     
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    只看楼主 正序阅读 楼主  发表于: 2021-06-23
    摘要 =`k', V_  
    ]-sgzM]q  
    高数值孔径的物镜广泛用于光刻、显微等方面。 因此，在仿真聚焦时考虑光的矢量性质是至关重要的。VirtualLab可以支持此类透镜的光线和场追迹分析。通过场追迹分析，可以清楚地显示出由于矢量效应引起的非对称焦点。相机探测器和电磁场探测器可以方便地研究聚焦区域的场，也可以深入研究矢量效应。 m@W>ku  
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    建模任务 KRM:h`+-.-  
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    概述 XFv^j SF  
    uE}$ZBi q  
    •案例系统已预先设置了高数值孔径物镜。 GvBmh.  
    •接下来，我们演示如何按照VirtualLab中建议的工作流程在示例系统上执行仿真。 y q!{\@-  
    !-m 'diE  
     XE8%t=V!c$  
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    光线追迹仿真 .JBTU>1]_n  
    '?$R YU,  
    •首先选择“光线追迹系统分析器”作为模拟引擎。 F+]cFx,/  
    •单击go！ M0t9`Z9  
    •获得了3D光线追迹结果。 8<{i=V*x4  
    t[/APm-k~>  
     ; Kh!OBZFo  
    WFTwFm6  
    光线追迹仿真 tC5>K9Ed  
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    •然后，选择“光线追迹”作为模拟引擎。 ')TS'p,n  
    •单击go！ nE56A#,Q,  
    •结果得到点图（二维光线追迹结果）。 hOYP~OR  
    CY\D.Eow  
     D,()e^o  
    "TVmxE%(  
    场追迹仿真 8v)iOPmDC  
    :m<#\!?  
    •切换到场追迹，然后选择“第二代场追迹”作为模拟引擎。 ,Fn-SrB:  
    •单击go！ T@Z-;^aV  
    abp\Ih^b  
    =imJ0V~RW  
     pjma<^|F  
    场追迹仿真（相机探测器） aK8s0G!z?5  
    }lP`3e  
    •上图仅显示Ex和Ey场分量积分的强度。 |-HNHUF  
    •下图显示Ex、Ey和Ez分量积分的强度：由于在高数值孔径情况下Ez分量相对较大，因此可见明显的不对称性。 @}s EP&$  
    Q\}Ck+d` a  
     +i[vJRLxl~  
    a+j"8tHu$  
    场追迹仿真（电磁场探测器） dl(!{tZ#  
    •使用电磁场探测器可获得所有电磁场分量。 Lf`<4 P  
    5z:#Bl-,L  
    e>P>DmlW  
     fX2OH)6U  
    场追迹仿真（电磁场探测器） mNsd&Rk'  
     _j*a5fsPU  
    •使用电磁场探测器可获得所有电磁场分量。 O Q$C#:?  
    }qR6=J+Dx  
     7 .]H9  
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    文件信息 bq9/ d4  
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     Ir=G\/A  
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    QQ：2987619807 fYW9Zbov-  
     
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