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    [分享]分析高数值孔径物镜的聚焦特性 [复制链接]

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    离线infotek
    科学家
     
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    只看楼主 正序阅读 楼主  发表于: 2021-06-23
    摘要 /'fDXSdP  
    ;;hyjFGq%  
    高数值孔径的物镜广泛用于光刻、显微等方面。 因此，在仿真聚焦时考虑光的矢量性质是至关重要的。VirtualLab可以支持此类透镜的光线和场追迹分析。通过场追迹分析，可以清楚地显示出由于矢量效应引起的非对称焦点。相机探测器和电磁场探测器可以方便地研究聚焦区域的场，也可以深入研究矢量效应。 AWXpA1(  
    xevP2pYG:  
    E0^%|Mh]b  
     YQdX>k  
    建模任务 H&Y{jqua  
    uo'31V0  
    #x@lZ!Y  
    概述 !LOors za  
    Guw|00w,Q$  
    •案例系统已预先设置了高数值孔径物镜。 8{SU?MHQLE  
    •接下来，我们演示如何按照VirtualLab中建议的工作流程在示例系统上执行仿真。 Pph8"`mv.m  
    xf"5<PTW</  
     D>b5Uwt  
    )(Mr f{  
    光线追迹仿真 uoY`qF.`  
    <!}l~Ln15  
    •首先选择“光线追迹系统分析器”作为模拟引擎。 S50x0$%<W  
    •单击go！ Wo9psv7.  
    •获得了3D光线追迹结果。 x36#x  
    0O,T=z[+>  
     Xu94v{u3  
    A :bPIXb  
    光线追迹仿真 H4'DL'83  
    Sja{$zL+W  
    •然后，选择“光线追迹”作为模拟引擎。 \y H3Y  
    •单击go！ }i7U}T  
    •结果得到点图（二维光线追迹结果）。 Qj<{oZp&  
    "G9'm  
     IgVo%)n  
    G9n /S=R?  
    场追迹仿真 Wd` QpW  
    SU%rWH  
    •切换到场追迹，然后选择“第二代场追迹”作为模拟引擎。 d9-mWz(V+  
    •单击go！ s w.AfRQP  
    n^pZXb;Y  
    7XVzd]jH  
     FfxX)p1t  
    场追迹仿真（相机探测器） &xBK\  
    ,d>X/kd|o  
    •上图仅显示Ex和Ey场分量积分的强度。 od}EM_  
    •下图显示Ex、Ey和Ez分量积分的强度：由于在高数值孔径情况下Ez分量相对较大，因此可见明显的不对称性。 V(2j*2R!  
    -e{)v'C)  
     qH h'l;.  
    C?60`^  
    场追迹仿真（电磁场探测器） ..q63dr  
    •使用电磁场探测器可获得所有电磁场分量。 HLSfoQ&)v  
    6/mkJj+"  
    _iGU|$a  
     C](z#c~c  
    场追迹仿真（电磁场探测器） xdL/0 N3  
     ,zN3? /7  
    •使用电磁场探测器可获得所有电磁场分量。 jKj=#O  
    "s>fV9YyZ  
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    C,{F0-D  
    文件信息 y^ X\^Kq  
    V/3 {^Fcr  
     h eE'S/  
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     rmPne8D=c(  
    QQ：2987619807 1C0Y0{6,  
     
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