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摘要 G o8 m *?cE]U6; 高数值孔径的物镜广泛用于光刻、显微等方面。 因此，在仿真聚焦时考虑光的矢量性质是至关重要的。VirtualLab可以支持此类透镜的光线和场追迹分析。通过场追迹分析，可以清楚地显示出由于矢量效应引起的非对称焦点。相机探测器和电磁场探测器可以方便地研究聚焦区域的场，也可以深入研究矢量效应。 N|wI=To
yy@g=<okt\
 c&ymVB?G:1
V|Smk;G 建模任务 BT qY _9 h",kA(+P  Q! WXFS 概述 y]+q mNw"+ }<m9w\pA •案例系统已预先设置了高数值孔径物镜。 UH2fP G •接下来，我们演示如何按照VirtualLab中建议的工作流程在示例系统上执行仿真。 _3.=| @L v="i0lL_
 _DS_AW}D u.43 b8! 光线追迹仿真 g,*L P M, f6UYo= •首先选择“光线追迹系统分析器”作为模拟引擎。 "6o}g. •单击go！ ;.+sz(:hm •获得了3D光线追迹结果。 |bA\>%~ r Z%l?(
 1$H*E~ eh` n?C 光线追迹仿真 Tc$Jvy-G4A d?) k<!fJk •然后，选择“光线追迹”作为模拟引擎。 k "7l\;N •单击go！ A&XI1. j6 •结果得到点图（二维光线追迹结果）。 MF69n,(o jInI%
 5 o- WA1 8`M) r'5 场追迹仿真 06X4mu{ .'aW~WR •切换到场追迹，然后选择“第二代场追迹”作为模拟引擎。 jOV,q%)^,: •单击go！ ;W 16Hr Z SHWD@WLE4  YBF|0A{[Y
-*HR0:H 场追迹仿真（相机探测器） N;gI %6 M<$a OW0 •上图仅显示Ex和Ey场分量积分的强度。 SA!P:Q?h •下图显示Ex、Ey和Ez分量积分的强度：由于在高数值孔径情况下Ez分量相对较大，因此可见明显的不对称性。 \\}tD@V" ;d5d$Np@m&
 PaIE=Q4gJ 2Tt ^^Lb 场追迹仿真（电磁场探测器） F)XO5CBK •使用电磁场探测器可获得所有电磁场分量。 $IUe](a{d D [#6jJ Ab  =zBc@VTp
d>k)aIYp 场追迹仿真（电磁场探测器） L{&5Ets
,0k3Qi% •使用电磁场探测器可获得所有电磁场分量。 PLoD^3uG) \ ?EnTu.
 A43 mX !g\ |&wwH&<[z 文件信息 V[#eeH)/ ZE393FnE
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