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    [分享]分析高数值孔径物镜的聚焦特性 [复制链接]

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    科学家
     
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    只看楼主 正序阅读 楼主  发表于: 2021-06-23
    摘要 mMtX:  
    4.i< `'  
    高数值孔径的物镜广泛用于光刻、显微等方面。 因此，在仿真聚焦时考虑光的矢量性质是至关重要的。VirtualLab可以支持此类透镜的光线和场追迹分析。通过场追迹分析，可以清楚地显示出由于矢量效应引起的非对称焦点。相机探测器和电磁场探测器可以方便地研究聚焦区域的场，也可以深入研究矢量效应。 aEC&#Q(]q  
    )R9QJSe  
    c *]6>50  
     p?4h2`P  
    建模任务 1 c4I`#_v  
    "_36WX  
    $_0~Jzt,  
    概述 $_&gT.>  
    R"k}wRnxY  
    •案例系统已预先设置了高数值孔径物镜。 ]tDuCZA  
    •接下来，我们演示如何按照VirtualLab中建议的工作流程在示例系统上执行仿真。 *lws7R  
    V|zatMHs  
     lG!We'?  
    LuUfdzH  
    光线追迹仿真 VT`C<'   
    N13wVx  
    •首先选择“光线追迹系统分析器”作为模拟引擎。 dQH9NsV7g  
    •单击go！ b'5L|1d  
    •获得了3D光线追迹结果。 j?cE0 hz  
    v6_fF5N/  
     > z1q\cz  
    _^"0"<,  
    光线追迹仿真 S2EeC&-AR  
    x5)YZ~5  
    •然后，选择“光线追迹”作为模拟引擎。 9Fv VM9  
    •单击go！ ]&RC<imq  
    •结果得到点图（二维光线追迹结果）。 O!#bM< *  
    mtg3}etA  
     o+T %n1$+V  
    d%='W|i\p&  
    场追迹仿真 | ?])]F  
    (*\*7dIo  
    •切换到场追迹，然后选择“第二代场追迹”作为模拟引擎。 %I6c}*W  
    •单击go！ h TY7`m">  
    NU?05sF  
    j* \gD  
     & e~g}7  
    场追迹仿真（相机探测器） 3BWYSJ|  
    PQFr4EY?i  
    •上图仅显示Ex和Ey场分量积分的强度。 h1'j1uI  
    •下图显示Ex、Ey和Ez分量积分的强度：由于在高数值孔径情况下Ez分量相对较大，因此可见明显的不对称性。 BVk&TGa;[$  
    S>s{t=AY~  
     %uWq)D4r  
    eL7\})!W  
    场追迹仿真（电磁场探测器） */JMPw&  
    •使用电磁场探测器可获得所有电磁场分量。 .G|9:b  
     !xz0zT.  
    Nn%[J+F  
     Y^~Dr|5%  
    场追迹仿真（电磁场探测器） cK(S{|F  
     I"<ACM  
    •使用电磁场探测器可获得所有电磁场分量。 Lupug"p0   
    -l# h^  
     p%+uv\Ix  
    2,,t+8"`  
    文件信息 #nOS7Q#uW  
    R8U?s/*  
     fxKhe[;  
    ^YLk&A)X  
     wZ_k]{J  
    QQ：2987619807 i)pAFv<$,  
     
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