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    [分享]分析高数值孔径物镜的聚焦特性 [复制链接]

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    离线infotek
    科学家
     
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    只看楼主 正序阅读 楼主  发表于: 2021-06-23
    摘要 srhFEmgN7)  
    DYkC'+TEX  
    高数值孔径的物镜广泛用于光刻、显微等方面。 因此，在仿真聚焦时考虑光的矢量性质是至关重要的。VirtualLab可以支持此类透镜的光线和场追迹分析。通过场追迹分析，可以清楚地显示出由于矢量效应引起的非对称焦点。相机探测器和电磁场探测器可以方便地研究聚焦区域的场，也可以深入研究矢量效应。 wJ/ ~q)  
    T4vogoy  
    *J.c $1#h  
     Pb3EnNqYbM  
    建模任务 \A ;^ UxG  
    \N6<BS  
    .:T9pplq  
    概述 7Onk!NH  
    8b{U tT  
    •案例系统已预先设置了高数值孔径物镜。 QaIi.* tic  
    •接下来，我们演示如何按照VirtualLab中建议的工作流程在示例系统上执行仿真。 h<GyplG  
    G]at{(^Vz  
     EQ6l:[  
    PVZEB  
    光线追迹仿真 >J9IRAm}sc  
    L,O>6~9:^1  
    •首先选择“光线追迹系统分析器”作为模拟引擎。 Ia=&.,xub  
    •单击go！ *>G ^!e.u  
    •获得了3D光线追迹结果。 @Ap@m6K?q  
    *h>OW  
     PnI)n=(\  
    pb~Ps#"Zg  
    光线追迹仿真 `CPZPp,l6`  
    t;h+Cf4  
    •然后，选择“光线追迹”作为模拟引擎。 ]aREQ?ma&z  
    •单击go！ zwKg  
    •结果得到点图（二维光线追迹结果）。 )hePN4edj  
    Ml'bZLwq  
     \a\^(`3a[  
    P0a>+^:%  
    场追迹仿真 \MfR #k0  
    "tqS|ok.  
    •切换到场追迹，然后选择“第二代场追迹”作为模拟引擎。 t)YFTO"Jj  
    •单击go！ D%6ir*%T  
    E=$7ieW  
    =ltbSf7  
     ]}jgB 2x7  
    场追迹仿真（相机探测器） ?aP1  
    c& 9+/JYMo  
    •上图仅显示Ex和Ey场分量积分的强度。 "(9=h@@Y"  
    •下图显示Ex、Ey和Ez分量积分的强度：由于在高数值孔径情况下Ez分量相对较大，因此可见明显的不对称性。 R~U2/6V  
    ZJ;wRd@  
     n%7A;l!{  
    ,| $|kO/  
    场追迹仿真（电磁场探测器） E!:.G+SEl  
    •使用电磁场探测器可获得所有电磁场分量。 BnY\FQ)K  
    dY/|/eOt<K  
    N:m@D][/sW  
     s?4%<jz  
    场追迹仿真（电磁场探测器） ;}UIj{sj*  
     =e"H1^Ml  
    •使用电磁场探测器可获得所有电磁场分量。 %#[r_QQ^  
    1^n5CI|7u  
     JS<e`#c&  
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    文件信息 g?k#wj1uH  
    nPQZI6>  
     YzforM^F  
    r4]hS`X~%  
     Om&{4a\  
    QQ：2987619807 +z~ !#j4Q  
     
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