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    [分享]分析高数值孔径物镜的聚焦特性 [复制链接]

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    离线infotek
    科学家
     
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    只看楼主 正序阅读 楼主  发表于: 2021-06-23
    摘要 `.a L>hf  
    !|_ CXm T|  
    高数值孔径的物镜广泛用于光刻、显微等方面。 因此，在仿真聚焦时考虑光的矢量性质是至关重要的。VirtualLab可以支持此类透镜的光线和场追迹分析。通过场追迹分析，可以清楚地显示出由于矢量效应引起的非对称焦点。相机探测器和电磁场探测器可以方便地研究聚焦区域的场，也可以深入研究矢量效应。 Js+d4``W  
    WA Y<X:|We  
    c Yx=8~-  
     N-^\X3X  
    建模任务 qU8UKIP  
    >0 !J]gK  
    =\4w" /Y  
    概述 &_4A6  
    5K'EuI)  
    •案例系统已预先设置了高数值孔径物镜。 @usQ*k  
    •接下来，我们演示如何按照VirtualLab中建议的工作流程在示例系统上执行仿真。 ]+0-$t7Y  
    y NV$IN%  
     N(vbo  
    XeDU ,  
    光线追迹仿真 PkDL\Nqe  
    u-UUF  
    •首先选择“光线追迹系统分析器”作为模拟引擎。 iN<5[ztd  
    •单击go！ ^S ,E"Q  
    •获得了3D光线追迹结果。 SNvK8,"g  
    t{~"vD9Am  
     !P@u4FCs  
    vzi=[A  
    光线追迹仿真  QN_5q5  
    @<vDR">  
    •然后，选择“光线追迹”作为模拟引擎。 W\.f:"2qr  
    •单击go！ q,nj|9z V  
    •结果得到点图（二维光线追迹结果）。 'IfM~9'D  
    ;ok];4`a  
     ?[!.TU?4N  
    >qtB27jV  
    场追迹仿真 ItM?nyA  
    {(a@3m~a%  
    •切换到场追迹，然后选择“第二代场追迹”作为模拟引擎。 a]X6)6  
    •单击go！ N)poe2[  
    1<\cMY6  
    yWzvE:!)  
     u"T5m  
    场追迹仿真（相机探测器） LV8,nTYvE  
    o\|dm. "f  
    •上图仅显示Ex和Ey场分量积分的强度。 nt;A7pI`  
    •下图显示Ex、Ey和Ez分量积分的强度：由于在高数值孔径情况下Ez分量相对较大，因此可见明显的不对称性。 0?p_|X'_  
    8.-PQ  
     -HoPECe  
    pbqa  
    场追迹仿真（电磁场探测器） W@wT ,yJ8@  
    •使用电磁场探测器可获得所有电磁场分量。 ; UrwK  
    ?\vJ8H[bD  
    =Rb,`%  
     00;=6q]TA  
    场追迹仿真（电磁场探测器） ?-@h Nrx  
     ;uoH+`pf  
    •使用电磁场探测器可获得所有电磁场分量。 E/U1g4S  
     o{-PT'  
     AO']Kmm  
    f7s]:n*Ih  
    文件信息 I5x/N.  
    Y!POUMA }A  
     PI?-gc?[  
    dDpe$N  
     0*g psS  
    QQ：2987619807 /_}v|E0  
     
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