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    [分享]分析高数值孔径物镜的聚焦特性 [复制链接]

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    离线infotek
    科学家
     
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    只看楼主 正序阅读 楼主  发表于: 2021-06-23
    摘要 +0Q +0:  
    .{`C>/"}  
    高数值孔径的物镜广泛用于光刻、显微等方面。 因此，在仿真聚焦时考虑光的矢量性质是至关重要的。VirtualLab可以支持此类透镜的光线和场追迹分析。通过场追迹分析，可以清楚地显示出由于矢量效应引起的非对称焦点。相机探测器和电磁场探测器可以方便地研究聚焦区域的场，也可以深入研究矢量效应。 r[;d.3jtP  
    C8Mx>6  
    q%$p56\?3  
     Pz:,de~5Qm  
    建模任务 u1#(~[.  
    tAJ}36 aG  
    \>lA2^E f  
    概述 c@}t@k  
    GQA\JYw|oY  
    •案例系统已预先设置了高数值孔径物镜。 G?XA",AC  
    •接下来，我们演示如何按照VirtualLab中建议的工作流程在示例系统上执行仿真。 "gm5 DE  
    em0Y'J  
     cYC^;,C &|  
    ?vAhDD5  
    光线追迹仿真 ]Z6? m  
    7'i{JPm  
    •首先选择“光线追迹系统分析器”作为模拟引擎。 C|3Xz[k{  
    •单击go！ "Z,T%]  
    •获得了3D光线追迹结果。 X~"p]V_  
    =4SXntU!e  
     s>L.V2!$0  
    &V <f;PF(I  
    光线追迹仿真 GQ@mQ=i  
    .lP',hn  
    •然后，选择“光线追迹”作为模拟引擎。 Q25VG5 G  
    •单击go！ y1PyH  
    •结果得到点图（二维光线追迹结果）。 C f d* Q  
    -PSgBH[  
     a*.#Zgy:lK  
    ?H@<8Ra=3  
    场追迹仿真 j_<!y(W  
    L;j++^p  
    •切换到场追迹，然后选择“第二代场追迹”作为模拟引擎。 Lkx~>U   
    •单击go！ +>!nqp  
    C<(oaeQY  
     @,k5T51m  
     'xkl|P>=],  
    场追迹仿真（相机探测器） 4E=v)C'  
    X"_ ^^d-  
    •上图仅显示Ex和Ey场分量积分的强度。 { ,c*OR  
    •下图显示Ex、Ey和Ez分量积分的强度：由于在高数值孔径情况下Ez分量相对较大，因此可见明显的不对称性。 r#)1/`h  
    QOg >|"KL  
     Rb:<?&7ZzN  
    m<>BxX  
    场追迹仿真（电磁场探测器） =|IlORf<  
    •使用电磁场探测器可获得所有电磁场分量。 EUcD[Rv  
    ]2)A/fOW  
    Bz-jy.  
     -XCs?@8EQ  
    场追迹仿真（电磁场探测器） Y01! D"{\  
     $'Mf$h  
    •使用电磁场探测器可获得所有电磁场分量。 \#dacQ2E@  
    p2t0 4p!  
     QNU~G3  
    |H_WY#  
    文件信息 J({D~  
    I(pq3_9$  
     =tt3nfZ9  
    `DgK$QM  
     wv{ Qx^  
    QQ：2987619807 HV/:OCK  
     
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