切换到宽版
  • 广告投放
  • 稿件投递
  • 繁體中文
    • 光学手册（上、下册，李景镇） 近代光学系统设计概论 Zemax光学设计从入门到精通(中文版) 现代光学基础（第2版 钟锡华）
    讯技光电:VirtualLab Fusion独家供应商 微小光学与微透镜阵列 光学设计与光学元件 计算光学带来的成像革命
    发帖 回复
    返回列表
    • 731阅读
    • 0回复

    [分享]分析高数值孔径物镜的聚焦特性 [复制链接]

    		 上一主题 下一主题
    在线infotek
    技术专家
     
    发帖
    4681
    光币
    17781
    光券
    0
    只看楼主 正序阅读 楼主  发表于: 2021-06-23
    摘要 ]'}L 1r  
    UpG~[u)%@  
    高数值孔径的物镜广泛用于光刻、显微等方面。 因此，在仿真聚焦时考虑光的矢量性质是至关重要的。VirtualLab可以支持此类透镜的光线和场追迹分析。通过场追迹分析，可以清楚地显示出由于矢量效应引起的非对称焦点。相机探测器和电磁场探测器可以方便地研究聚焦区域的场，也可以深入研究矢量效应。  &HW9Jn  
    fl(wV.Je|  
    f?Lw)hMrA  
     -~1~I e2  
    建模任务 Wc#24:OKe3  
    ~a:  
    E fDH6  
    概述 Nc`L;CP  
    %Zi} MPx  
    •案例系统已预先设置了高数值孔径物镜。 }OUtsh]y  
    •接下来，我们演示如何按照VirtualLab中建议的工作流程在示例系统上执行仿真。 e= AKD#  
    fex@,I&  
     kj_c%T ]/  
    fu5=k:/c  
    光线追迹仿真 >Ry01G]_/h  
    b;n[mk  
    •首先选择“光线追迹系统分析器”作为模拟引擎。 xp t:BBo  
    •单击go！ CrLrw T  
    •获得了3D光线追迹结果。 HtFDlvdy]  
    DVA:Cmh\  
     wT@og|M  
    pP_LR ks}  
    光线追迹仿真 Cy e.gsCT  
    6Oq 7#3]  
    •然后，选择“光线追迹”作为模拟引擎。 ~ }P,.QQ  
    •单击go！ 5+vaE 2v  
    •结果得到点图（二维光线追迹结果）。 mt .sucT  
    w<#!h6Y=  
     w:0E(z  
    iTwm3V P  
    场追迹仿真 Y4-t7UlS;  
    +>,I1{u%&  
    •切换到场追迹，然后选择“第二代场追迹”作为模拟引擎。 _)8s'MjA:&  
    •单击go！ ;u JMG  
    P0@,fd<  
    1?}T=)3+$  
     V!Uc(  
    场追迹仿真（相机探测器） XSR 4iu  
    D7Z /H'|  
    •上图仅显示Ex和Ey场分量积分的强度。 L0,'mS  
    •下图显示Ex、Ey和Ez分量积分的强度：由于在高数值孔径情况下Ez分量相对较大，因此可见明显的不对称性。 l#o ~W`  
    1Mzmg[L8  
     5! {D!  
    qX%_uOw:%  
    场追迹仿真（电磁场探测器） )7F/O3Tq  
    •使用电磁场探测器可获得所有电磁场分量。 dV_G1'  
    ]^E?;1$f?  
    ye&;(30Oq  
     kVgTGC"L=  
    场追迹仿真（电磁场探测器） FPz9N@M%Q  
     P:c w|Q  
    •使用电磁场探测器可获得所有电磁场分量。 ^q5#ihM  
    oR'm2d^  
     zX[U~.  
    u 9e@a9c  
    文件信息 )nkY_' BV  
    ^qs $v06  
     Z@HEj_n  
    D*jM1w_`  
     /uflpV|  
    QQ：2987619807 }2jn[${ pr  
     
    回复
    举报
    分享到
    发帖 回复
    返回列表