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    [分享]分析高数值孔径物镜的聚焦特性 [复制链接]

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    离线infotek
    科学家
     
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    只看楼主 正序阅读 楼主  发表于: 2021-06-23
    摘要 7KzMa%=  
    01P ~K|s  
    高数值孔径的物镜广泛用于光刻、显微等方面。 因此，在仿真聚焦时考虑光的矢量性质是至关重要的。VirtualLab可以支持此类透镜的光线和场追迹分析。通过场追迹分析，可以清楚地显示出由于矢量效应引起的非对称焦点。相机探测器和电磁场探测器可以方便地研究聚焦区域的场，也可以深入研究矢量效应。 Q:#Kt@W  
    _P]!J~$5  
    J"TM[4^\Y  
     ggR--`D[  
    建模任务 4\6-sL?rW  
    aYyUe>  
    ;C+g)BW  
    概述 az=(6PX  
    k;?Oi?]  
    •案例系统已预先设置了高数值孔径物镜。 't5 I%F  
    •接下来，我们演示如何按照VirtualLab中建议的工作流程在示例系统上执行仿真。 U =G^w L  
    x`#|8  
     jW G=k#WN  
    UOg4 E  
    光线追迹仿真 R1%2]?  
    N%,!&\L  
    •首先选择“光线追迹系统分析器”作为模拟引擎。 v\UwL-4[  
    •单击go！ i{$h]D_fD  
    •获得了3D光线追迹结果。 =c>w  
    EpO5 _T_  
     P=j89-e  
    us^2Oplq<  
    光线追迹仿真 f~3_Rv!  
    mu1Lgs$;  
    •然后，选择“光线追迹”作为模拟引擎。 nv9kl Q@  
    •单击go！ >+ZD 6l/  
    •结果得到点图（二维光线追迹结果）。 x-e?94}^  
    e[lRY>Pe5  
     ZN:~etd  
    E!eBQ[@  
    场追迹仿真 KvM}g2"  
    O-M4NKl]6  
    •切换到场追迹，然后选择“第二代场追迹”作为模拟引擎。 B>11  
    •单击go！ ?d -$lI  
    F_Q?0 Do0'  
    S&C  
     Use`E  
    场追迹仿真（相机探测器） @Ik@1  
    |Ki\Q3O1  
    •上图仅显示Ex和Ey场分量积分的强度。 S'I{'jP5  
    •下图显示Ex、Ey和Ez分量积分的强度：由于在高数值孔径情况下Ez分量相对较大，因此可见明显的不对称性。 4gTD HQP  
    m,~ @1  
     0wmz2zKV  
    nr#DE?  
    场追迹仿真（电磁场探测器） N|,6<|  
    •使用电磁场探测器可获得所有电磁场分量。 0#}@- e  
    {&'u1yR  
    ~ "] 6  
     1!x-_h}  
    场追迹仿真（电磁场探测器） SOyE$GoOsx  
     O1.a=O  
    •使用电磁场探测器可获得所有电磁场分量。 S >PTD@  
    ;)^eDJ<  
     dz',!|>  
    LDJ=<c!  
    文件信息 p2|BbC\N  
    T5eXcI0t  
     rmCrP(  
    N{]|!#  
     n=vW oU9  
    QQ：2987619807 J^@0Ff;=5^  
     
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