切换到宽版
  • 广告投放
  • 稿件投递
  • 繁體中文
    • Zemax光学设计从入门到精通 光学系统设计：理论、仿真与系统检测 Zemax光学设计实践基础(陈家璧) ZEMAX光学系统设计实战
    讯技光电:VirtualLab Fusion独家供应商 光学设计与光学元件 CODE V,LightTools,RSoft,LucidShape 计算光学带来的成像革命(第2季)
    发帖 回复
    返回列表
    • 1314阅读
    • 0回复

    [分享]分析高数值孔径物镜的聚焦特性 [复制链接]

    		 上一主题 下一主题
    离线infotek
    科学家
     
    发帖
    6511
    光币
    26700
    光券
    0
    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2021-06-23
    摘要 Z)xaJGbw  
    ee#): -p  
    高数值孔径的物镜广泛用于光刻、显微等方面。 因此，在仿真聚焦时考虑光的矢量性质是至关重要的。VirtualLab可以支持此类透镜的光线和场追迹分析。通过场追迹分析，可以清楚地显示出由于矢量效应引起的非对称焦点。相机探测器和电磁场探测器可以方便地研究聚焦区域的场，也可以深入研究矢量效应。 J@ktyd(P  
    WJ9 cZL  
    u@%r  
     ~/ilx#d  
    建模任务 [kgdv6E  
    H'UR8%  
    'EfR|7m  
    概述 t"YNgC ^  
    d/e|'MPX  
    •案例系统已预先设置了高数值孔径物镜。 LW:LFzp  
    •接下来，我们演示如何按照VirtualLab中建议的工作流程在示例系统上执行仿真。 ? j 9|5*  
    e=QK}gzX  
     'vaLUy9]  
    "AhTH.ZP  
    光线追迹仿真 !GQ\"Ufs>  
    Q 9&kJ%Mo  
    •首先选择“光线追迹系统分析器”作为模拟引擎。 n%\ /J  
    •单击go！ BiZ=${y  
    •获得了3D光线追迹结果。 }AvcoD/b  
    5+jf/}t A  
     q;wLa#4)J  
    *79m^  
    光线追迹仿真 'iY*6<xS<  
    c$QX )V  
    •然后，选择“光线追迹”作为模拟引擎。 !;!~n`  
    •单击go！ =?(~aV  
    •结果得到点图（二维光线追迹结果）。 !HJ$UG/\  
    cbu@*NzY,  
     'XUKN/.  
    DF{ Qw@P!  
    场追迹仿真 6k/U3&R  
    l@hjP1o  
    •切换到场追迹，然后选择“第二代场追迹”作为模拟引擎。 }V|{lvt.  
    •单击go！ 92'wkS  
    rBN)a"  
    ^:jN3@ Q%  
     i o3yLIy,  
    场追迹仿真（相机探测器） L~^*u_U]  
    <_./SC  
    •上图仅显示Ex和Ey场分量积分的强度。 8g >b  
    •下图显示Ex、Ey和Ez分量积分的强度：由于在高数值孔径情况下Ez分量相对较大，因此可见明显的不对称性。 cubk]~VD  
    P~FUS%39"o  
     7.+#zyF  
    =4 X]gW  
    场追迹仿真（电磁场探测器） 8Z2.`(3c[  
    •使用电磁场探测器可获得所有电磁场分量。 -n? g~(/P  
    ._96*r=o  
    <vbIp&  
     Zzl,gy70  
    场追迹仿真（电磁场探测器） +/+P\O  
     S|GWcSg  
    •使用电磁场探测器可获得所有电磁场分量。 {hO`6mr&t  
    VIR.yh  
     e|r0zw S  
    (,xZGa  
    文件信息 9%iFV N'  
    cxYfZ4++m  
     !z zW2>  
    ~ekh1^evu  
     u.|~$yP.!  
    QQ：2987619807 qOG}[%<^n7  
     
    回复
    举报
    分享到
    发帖 回复
    返回列表