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    [分享]分析高数值孔径物镜的聚焦特性 [复制链接]

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    离线infotek
    科学家
     
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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2021-06-23
    摘要 ^5:xSQ@:  
    Uzx,aYo X  
    高数值孔径的物镜广泛用于光刻、显微等方面。 因此，在仿真聚焦时考虑光的矢量性质是至关重要的。VirtualLab可以支持此类透镜的光线和场追迹分析。通过场追迹分析，可以清楚地显示出由于矢量效应引起的非对称焦点。相机探测器和电磁场探测器可以方便地研究聚焦区域的场，也可以深入研究矢量效应。 5Q9nJC{'NN  
    KTQy pv  
    VX;br1$X  
     gYtv`O  
    建模任务 dE`a1H%  
    O :'ENoQ:&  
    d;<gwCc  
    概述 e)#O-y  
    a___SYl 'K  
    •案例系统已预先设置了高数值孔径物镜。 5vfzSJ  
    •接下来，我们演示如何按照VirtualLab中建议的工作流程在示例系统上执行仿真。 S1!X;PP/  
    Rfk8trD B  
     \Y4>_Mk  
    0pC}+ +  
    光线追迹仿真 4IT`8n~  
    i xf~3Y8  
    •首先选择“光线追迹系统分析器”作为模拟引擎。 cg]\R1Gm  
    •单击go！ ^uDNArDmj5  
    •获得了3D光线追迹结果。 %YH+=b:uW  
    MPtn$@  
     _gGI&0(VM  
    +bGj(T%+'  
    光线追迹仿真 d,c8ks(  
    hJ>Kfm  
    •然后，选择“光线追迹”作为模拟引擎。 [b=l'e/  
    •单击go！ |\ZsoA  
    •结果得到点图（二维光线追迹结果）。 I|`/#BYbW  
    nQ$4W  
     ]z%X%wL  
    Zs(I]^w;d  
    场追迹仿真 } ^}fx [  
    h0=Q.Yz6  
    •切换到场追迹，然后选择“第二代场追迹”作为模拟引擎。 e1EFZ,EcaO  
    •单击go！ {1<XOp#b  
    CSA.6uIT  
    5*q!:$ W  
     5)T=^"IHXi  
    场追迹仿真（相机探测器） E!,+#%O>  
    tm"9`   
    •上图仅显示Ex和Ey场分量积分的强度。 BotGPk><c  
    •下图显示Ex、Ey和Ez分量积分的强度：由于在高数值孔径情况下Ez分量相对较大，因此可见明显的不对称性。  *b$8O  
     /z0X  
     {hXIP`  
    tfSY(cXg'T  
    场追迹仿真（电磁场探测器） (eG9b pqr  
    •使用电磁场探测器可获得所有电磁场分量。 "<#-#j  
    pq3W.7z;b  
    iEA$`LhO\A  
     &pL.hM^  
    场追迹仿真（电磁场探测器） $s*nh>@7  
     )*b dG'}  
    •使用电磁场探测器可获得所有电磁场分量。 )r9l T*z  
    9L`5r$/  
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    s!vvAD;\  
    文件信息 dTE(+M- Gr  
    @scy v@5)F  
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     JTw< 4]  
    QQ：2987619807 0`LR!X  
     
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