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    [分享]分析高数值孔径物镜的聚焦特性 [复制链接]

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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2021-06-23
    摘要 iAhRlQ{Qu  
    oC>~r 1.j  
    高数值孔径的物镜广泛用于光刻、显微等方面。 因此，在仿真聚焦时考虑光的矢量性质是至关重要的。VirtualLab可以支持此类透镜的光线和场追迹分析。通过场追迹分析，可以清楚地显示出由于矢量效应引起的非对称焦点。相机探测器和电磁场探测器可以方便地研究聚焦区域的场，也可以深入研究矢量效应。 dU n#'<g5  
    [/]3:|  
    $7g(-W  
     T8 /'`s  
    建模任务 Z6pDQ^Ii  
    24l9/v'  
    2b1:Tt9  
    概述 ^>uGbhBp  
    5OE?;PJ(  
    •案例系统已预先设置了高数值孔径物镜。 6Z:|"AwC2  
    •接下来，我们演示如何按照VirtualLab中建议的工作流程在示例系统上执行仿真。 .1M>KRSr,  
    wt,N<L  
     [-a /]  
    u?/]"4  
    光线追迹仿真 ).b+S>k  
    xSZw,  
    •首先选择“光线追迹系统分析器”作为模拟引擎。 X / "H+l  
    •单击go！ roQIP%h!  
    •获得了3D光线追迹结果。 ] "_'o~  
    |[ofc!/  
     :6{HFMf"  
    aS 2 Y6  
    光线追迹仿真 =wc[ r?7  
    $R4\jIew V  
    •然后，选择“光线追迹”作为模拟引擎。 S_=uv)%a  
    •单击go！ x$sQ .aT  
    •结果得到点图（二维光线追迹结果）。 H& +s&F{%  
    ](pD<FfS]'  
     )I_I?e  
    cd#TKmh7re  
    场追迹仿真 E"!*ASN  
    Stpho4+/y  
    •切换到场追迹，然后选择“第二代场追迹”作为模拟引擎。 q ~lW  
    •单击go！ o,I642R~  
    -B!pg7>'##  
    A 78{b^0*  
     i"@?eq#h  
    场追迹仿真（相机探测器） 1??RX}8[L+  
    NeP1 #  
    •上图仅显示Ex和Ey场分量积分的强度。 kPe9G  
    •下图显示Ex、Ey和Ez分量积分的强度：由于在高数值孔径情况下Ez分量相对较大，因此可见明显的不对称性。 >6j`ZWab>  
    X:5*LB\/v  
     ap!<8N  
    !bg3  
    场追迹仿真（电磁场探测器） C+j+q648>  
    •使用电磁场探测器可获得所有电磁场分量。 up?8Pq*  
    |v&&%>A2  
    xPv&(XZR  
     ?a}~yz#B(  
    场追迹仿真（电磁场探测器） Fk:(% ci  
     3z<t#  
    •使用电磁场探测器可获得所有电磁场分量。 .^,vK7  
    ub%q<sE*  
     +TX]~k79Oq  
    /k,p]/e  
    文件信息 "%Ak[04'  
    }e$);A|  
     S3m+(N"&  
    $- L)>"  
     K!X8KPo  
    QQ：2987619807 KpL82  
     
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