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摘要 ^i,0n}> )#TJw@dNf^ 高数值孔径的物镜广泛用于光刻、显微等方面。 因此，在仿真聚焦时考虑光的矢量性质是至关重要的。VirtualLab可以支持此类透镜的光线和场追迹分析。通过场追迹分析，可以清楚地显示出由于矢量效应引起的非对称焦点。相机探测器和电磁场探测器可以方便地研究聚焦区域的场，也可以深入研究矢量效应。 *d*;M>
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_ O71r}4 建模任务 3lEU$)QA3 Z.#glmw^=R  Rhxm)5 + 概述 [T&y5"@ a5g{.:NfO •案例系统已预先设置了高数值孔径物镜。 'S-"*:$,u •接下来，我们演示如何按照VirtualLab中建议的工作流程在示例系统上执行仿真。 C4K&flk] ?;kc% Rz
 `e69kBAm ;eSf4_~ 光线追迹仿真 D&lXi~Z%. rMFf8D(Y •首先选择“光线追迹系统分析器”作为模拟引擎。 9w< _XXQ •单击go！ RIpq/^Th •获得了3D光线追迹结果。 D,R2wNF ])";Z
 RJm8K,3# /hy!8c7 光线追迹仿真 CAObC% p{QKj 3ov •然后，选择“光线追迹”作为模拟引擎。 +4vX+;: br •单击go！ #NxvLW/ •结果得到点图（二维光线追迹结果）。 ^bw~$*"j# ATkqzE`;
 yxq!. 72 KTREOOu .t 场追迹仿真 1;9E*= 5r Sth.& •切换到场追迹，然后选择“第二代场追迹”作为模拟引擎。 B_G7F[/K •单击go！ QU;C*}0Zl s,q!(\{Pv  OnJSu
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.-*nD8b 场追迹仿真（相机探测器） +*~3"ww< >R0j<:p : •上图仅显示Ex和Ey场分量积分的强度。 ^IZ0M1&W; •下图显示Ex、Ey和Ez分量积分的强度：由于在高数值孔径情况下Ez分量相对较大，因此可见明显的不对称性。 `I<|*vW
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 , |B\[0p _!Q\Xn 场追迹仿真（电磁场探测器） X fDQx!gJ •使用电磁场探测器可获得所有电磁场分量。 $f\-.7 OD +Uk.|@b=-V  ;] ew>P)
!ry+ r!" 场追迹仿真（电磁场探测器） +N!{(R:"v}
7q1l9:VYE •使用电磁场探测器可获得所有电磁场分量。 $h
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 9_dsiM7CT z W&W`( 文件信息 tq93 2M4 51usiOq
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