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    [分享]分析高数值孔径物镜的聚焦特性 [复制链接]

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    科学家
     
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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2021-06-23
    摘要 $:vS_#  
    GAh\ 6ul  
    高数值孔径的物镜广泛用于光刻、显微等方面。 因此，在仿真聚焦时考虑光的矢量性质是至关重要的。VirtualLab可以支持此类透镜的光线和场追迹分析。通过场追迹分析，可以清楚地显示出由于矢量效应引起的非对称焦点。相机探测器和电磁场探测器可以方便地研究聚焦区域的场，也可以深入研究矢量效应。 1ZvXRJ)%  
    O}6*9Xy  
    )R"UX:Q>  
     ;iUO1t)^  
    建模任务 e8z?) 4T  
    (!Fu5m=<8  
    A 0;ng2&  
    概述 |"eC0u  
    SUsdX[byb  
    •案例系统已预先设置了高数值孔径物镜。 ?|n@ %'  
    •接下来，我们演示如何按照VirtualLab中建议的工作流程在示例系统上执行仿真。 SkU9iW(k  
    \e%%ik,<  
     0P;LH3sx  
    gaE8\JSr  
    光线追迹仿真 h6;zAM}  
    sAF="uB  
    •首先选择“光线追迹系统分析器”作为模拟引擎。 D\DwBZ>  
    •单击go！ |HwEwL+  
    •获得了3D光线追迹结果。 V7 hO}  
    :y_] JL;w  
     Lu4>C2{  
    5BM6Pnle  
    光线追迹仿真 f{{J_""?&  
    `SS[[FT$>  
    •然后，选择“光线追迹”作为模拟引擎。 !H6X%hlk  
    •单击go！ 0J;Qpi!u2v  
    •结果得到点图（二维光线追迹结果）。 GB)< 5I  
    'GLpSWL+*  
     &Cr4<V6-q  
    yFTN/MFt  
    场追迹仿真 H9WXp&  
    *mW2vJ/B  
    •切换到场追迹，然后选择“第二代场追迹”作为模拟引擎。 Mh@n>+IR  
    •单击go！ 9N6 \Ou~  
    7~L_>7 ;  
    !=6\70lJ  
     *\`<=,H6<  
    场追迹仿真（相机探测器） :_o^oi7G  
    qga?-oz,<6  
    •上图仅显示Ex和Ey场分量积分的强度。 Lw<.QMN%f  
    •下图显示Ex、Ey和Ez分量积分的强度：由于在高数值孔径情况下Ez分量相对较大，因此可见明显的不对称性。 p xW*kS  
    ^RYq !l$  
     8cuI-Swz  
    ENFM``dV#  
    场追迹仿真（电磁场探测器） ^^*Ia'9   
    •使用电磁场探测器可获得所有电磁场分量。 :kd]n$]  
    }R_Rw:W  
    h]j>S  
     }?sC1]-j&  
    场追迹仿真（电磁场探测器） BteeQ&A|~  
     c Ze59  
    •使用电磁场探测器可获得所有电磁场分量。 $\PU Y8  
    M6].V*k'2  
     'p[B`Ft3F  
    |n~,{=  
    文件信息 v3<q_J'qT  
    .-Dc%ap]  
     +M<W8KF  
    2)-4?uz~  
     Q&/WVRD  
    QQ：2987619807 wNmC1HOh  
     
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