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    [分享]分析高数值孔径物镜的聚焦特性 [复制链接]

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    离线infotek
    科学家
     
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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2021-06-23
    摘要 PY.K_(D  
    eMC^ORdY  
    高数值孔径的物镜广泛用于光刻、显微等方面。 因此，在仿真聚焦时考虑光的矢量性质是至关重要的。VirtualLab可以支持此类透镜的光线和场追迹分析。通过场追迹分析，可以清楚地显示出由于矢量效应引起的非对称焦点。相机探测器和电磁场探测器可以方便地研究聚焦区域的场，也可以深入研究矢量效应。 MhD'  
    [3G{NC|'  
    5'I+%66?h$  
     %7 bd}sJ#  
    建模任务 {fzX2qMZ]  
    p8~lGuH  
    B#Ybdp ;  
    概述 _|#abLh%  
    ORs :S$Nt$  
    •案例系统已预先设置了高数值孔径物镜。 lx%c&~.DiB  
    •接下来，我们演示如何按照VirtualLab中建议的工作流程在示例系统上执行仿真。 }} =n]_f  
     7H  
     T,pr&1]Lw  
    FfJp::|ddr  
    光线追迹仿真 B>^6tdz  
    rF-SvSj}  
    •首先选择“光线追迹系统分析器”作为模拟引擎。 0\tac/  
    •单击go！ \5r^D|Rp}  
    •获得了3D光线追迹结果。 5-|!mSd   
    ?ZlXh51  
     [Y .8C$0  
    z4:!*:.Asu  
    光线追迹仿真  j%Au0k  
    yS W$zA,  
    •然后，选择“光线追迹”作为模拟引擎。 Q"XDxa'7"  
    •单击go！ a|7C6#iz$  
    •结果得到点图（二维光线追迹结果）。 j#5a&Z  
    i-OD"5a`  
     4H-eFs%5  
    .*-8rOcc  
    场追迹仿真 D$}8GYq  
     pux IJ  
    •切换到场追迹，然后选择“第二代场追迹”作为模拟引擎。 |u>(~6  
    •单击go！ "[_j8,t`  
    'v6@5t19j  
    dw"Es;^  
     IgX &aW  
    场追迹仿真（相机探测器） q`c!!Lg  
    5~[7|Y  
    •上图仅显示Ex和Ey场分量积分的强度。 *-nO,K>y`  
    •下图显示Ex、Ey和Ez分量积分的强度：由于在高数值孔径情况下Ez分量相对较大，因此可见明显的不对称性。 eJ?oz^  
    ZbYC3_7w  
     u5oM;#{@-  
    ]].~/kC^3k  
    场追迹仿真（电磁场探测器） 4E^ ?}_$  
    •使用电磁场探测器可获得所有电磁场分量。 PAYw:/(P  
    Z=a%)Ki?Ag  
    F06o-xH=  
     v76Gwu$ d  
    场追迹仿真（电磁场探测器） ^^N|:80  
     `}Zqmfs  
    •使用电磁场探测器可获得所有电磁场分量。 TJ"-cWpO1  
    Dp([r  
     G"<#tif9K  
    b)d;eS  
    文件信息 Nm?^cR5r  
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     r].n=455[  
    QHR,p/p  
     B)JMughq_  
    QQ：2987619807 5kiW@{m  
     
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