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    [分享]分析高数值孔径物镜的聚焦特性 [复制链接]

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    离线infotek
    科学家
     
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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2021-06-23
    摘要 E{E0Z9t7&  
    z//VlB  
    高数值孔径的物镜广泛用于光刻、显微等方面。 因此，在仿真聚焦时考虑光的矢量性质是至关重要的。VirtualLab可以支持此类透镜的光线和场追迹分析。通过场追迹分析，可以清楚地显示出由于矢量效应引起的非对称焦点。相机探测器和电磁场探测器可以方便地研究聚焦区域的场，也可以深入研究矢量效应。 ! | #83  
    :e<7d8E5n{  
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     cPDQ1qre!  
    建模任务 `=UWqb(K_  
    GZip\S4Y  
    _oG&OJ@  
    概述 x/!5K|c  
    q%Yn;g|_  
    •案例系统已预先设置了高数值孔径物镜。 nKoiG*PI  
    •接下来，我们演示如何按照VirtualLab中建议的工作流程在示例系统上执行仿真。 Hc^W%t~  
    *`_{  
     0@I S  
    m3bCZ 9iE  
    光线追迹仿真 #bH_Dg5I  
    .8(OT./  
    •首先选择“光线追迹系统分析器”作为模拟引擎。  -I.d}[  
    •单击go！ A@hppaP!  
    •获得了3D光线追迹结果。 ag-f{UsTy  
    x'<K\qp{{  
     `h:34RC;  
    Dre2J<QL  
    光线追迹仿真 9KWuN:Sg  
    km~Ll   
    •然后，选择“光线追迹”作为模拟引擎。 rf~Y6U?7  
    •单击go！ u .f= te  
    •结果得到点图（二维光线追迹结果）。 oVFnl A  
    Q7Iw[=;\  
     js iSg/  
    eET&pP3Rp  
    场追迹仿真 ^=>Tk$ _2  
    ljTBvU  
    •切换到场追迹，然后选择“第二代场追迹”作为模拟引擎。 #Cpd9|  
    •单击go！ 7xRl9  
    A,  3bC  
    ls@i".[  
     wO?{?+I`q  
    场追迹仿真（相机探测器） (hiyNMC  
    IxLhU45  
    •上图仅显示Ex和Ey场分量积分的强度。 .<@8gNm3  
    •下图显示Ex、Ey和Ez分量积分的强度：由于在高数值孔径情况下Ez分量相对较大，因此可见明显的不对称性。 1`ayc|9BR  
    {|I;YDA  
     fhL,aCS=  
    /1Ue?)g  
    场追迹仿真（电磁场探测器） M5gWD==uP  
    •使用电磁场探测器可获得所有电磁场分量。 S<'[%ihx  
    ,) J~,^f6  
    X}+>!%W!}  
     yw];P o,  
    场追迹仿真（电磁场探测器） :oJ=iB'Zc  
     lOtDqb&  
    •使用电磁场探测器可获得所有电磁场分量。 *G* k6.9W!  
    "g$IP9?U  
     +$g}4  
    0 $,SF3K  
    文件信息 uj :%#u  
    'Lu__NfN  
     ,^uEYT}j  
    0#nPbe,Lj  
     ~ 4kc/a  
    QQ：2987619807 On?p 9^9  
     
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