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    [分享]分析高数值孔径物镜的聚焦特性 [复制链接]

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    离线infotek
    科学家
     
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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2021-06-23
    摘要 d,G:+  
    ZO2$Aan  
    高数值孔径的物镜广泛用于光刻、显微等方面。 因此，在仿真聚焦时考虑光的矢量性质是至关重要的。VirtualLab可以支持此类透镜的光线和场追迹分析。通过场追迹分析，可以清楚地显示出由于矢量效应引起的非对称焦点。相机探测器和电磁场探测器可以方便地研究聚焦区域的场，也可以深入研究矢量效应。 R`F54?th  
    f(h nomn  
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    建模任务 WUM&Lq k"  
    hwaU;>F  
    fq.ui3lP)  
    概述 }T?0/N3y&  
    V^P]QQ\ )  
    •案例系统已预先设置了高数值孔径物镜。 Y?(kE` R  
    •接下来，我们演示如何按照VirtualLab中建议的工作流程在示例系统上执行仿真。 zw`T^N#  
    X4:\Shb97  
     swBgV,;   
    .X;zEyd  
    光线追迹仿真 w~NQAHAvo  
    H+`s#'(i_P  
    •首先选择“光线追迹系统分析器”作为模拟引擎。 E*ug.nxy  
    •单击go！ P,x'1 `k~  
    •获得了3D光线追迹结果。 )x/Spb  
    Dk!;s8}*c  
     lw4#xH-?  
    G6C#M-S  
    光线追迹仿真 y mdZ#I-  
    SO #NWa<0|  
    •然后，选择“光线追迹”作为模拟引擎。 !1tHg Z2\  
    •单击go！ ,Jy@n]x  
    •结果得到点图（二维光线追迹结果）。 vps</f!  
    W0X/&v,k*  
     T[}A7a6g_  
    @_Ko<fKSX  
    场追迹仿真 `.dX@<  
    }Km+5'G'U  
    •切换到场追迹，然后选择“第二代场追迹”作为模拟引擎。 *OOi  
    •单击go！ g]IRv(gDh  
    g-0?8q5T6  
    j@xerY  
     #V[j Q Vl  
    场追迹仿真（相机探测器） CbmT aEaP  
    ~C1lbn b  
    •上图仅显示Ex和Ey场分量积分的强度。 *C81DQ  
    •下图显示Ex、Ey和Ez分量积分的强度：由于在高数值孔径情况下Ez分量相对较大，因此可见明显的不对称性。 Y40`~  
    ,m| :U  
     ~c&ygL3  
    ^gb3DNV~y  
    场追迹仿真（电磁场探测器） "|?zQ?E  
    •使用电磁场探测器可获得所有电磁场分量。 9`P<|(  
    {sn RS)-  
    R?)M#^"W  
     yrp5\k*{y  
    场追迹仿真（电磁场探测器） AJ_''%$I3:  
     k e'aSD  
    •使用电磁场探测器可获得所有电磁场分量。 -nVQB146^  
    zn| S3c  
     &cDLSnR  
    qPEtMvL #  
    文件信息 <L4.*  
    ;D}8acQ  
     _4eSDO[h  
    \LYB% K}  
     3uSj5+@q6  
    QQ：2987619807 : GVyY]qBU  
     
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