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    [分享]分析高数值孔径物镜的聚焦特性 [复制链接]

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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2021-06-23
    摘要 #%2d;V  
    Fuzb4Df  
    高数值孔径的物镜广泛用于光刻、显微等方面。 因此，在仿真聚焦时考虑光的矢量性质是至关重要的。VirtualLab可以支持此类透镜的光线和场追迹分析。通过场追迹分析，可以清楚地显示出由于矢量效应引起的非对称焦点。相机探测器和电磁场探测器可以方便地研究聚焦区域的场，也可以深入研究矢量效应。 uorX;yekC  
    Q`W2\Kod]  
    Xl<iR]lda  
     4g"%?xN  
    建模任务 YrJUs]A  
    "V(P)_  
    cFt&Efj  
    概述 hHhDs>tB  
    pY@QR?F\  
    •案例系统已预先设置了高数值孔径物镜。 v7SYWO#  
    •接下来，我们演示如何按照VirtualLab中建议的工作流程在示例系统上执行仿真。 p0WUF\"  
    &92/qRh7  
     [{Jo(X  
    tj'~RQvO  
    光线追迹仿真 -2; 6Pwmv  
    Ku%tM7ad  
    •首先选择“光线追迹系统分析器”作为模拟引擎。 W2#<]]-  
    •单击go！ w;gk=<_  
    •获得了3D光线追迹结果。 p<=Lh47 =  
    !8[T*'LJ-  
     2 4+  
    W~0rSVD$<z  
    光线追迹仿真 K^U ="  
    B=r DU$z  
    •然后，选择“光线追迹”作为模拟引擎。 aTTkj\4  
    •单击go！ 9zb1t1[ W  
    •结果得到点图（二维光线追迹结果）。 w8w0:@0(  
    (0 H=f6N  
     mpug#i6q  
    gDVsi  
    场追迹仿真 [9${4=Kq  
    b9RHsr]V  
    •切换到场追迹，然后选择“第二代场追迹”作为模拟引擎。 vI I{i  
    •单击go！ XQ]vJQYIR  
    +7}^Y}(  
    $j.;$~F  
     hNM8H  
    场追迹仿真（相机探测器） ;ND$4$  
    12z!{k7N  
    •上图仅显示Ex和Ey场分量积分的强度。 ?E"192 ,z@  
    •下图显示Ex、Ey和Ez分量积分的强度：由于在高数值孔径情况下Ez分量相对较大，因此可见明显的不对称性。 6[3Xe_  
    $G`CXhbl  
     qC> tni%  
    Ohk\P;}  
    场追迹仿真（电磁场探测器） =^rt?F4  
    •使用电磁场探测器可获得所有电磁场分量。 !xfDWbvHV  
    SK\@w9#&$  
    KU,SAcfR7  
     a]u.Uqyx2w  
    场追迹仿真（电磁场探测器） B18BwY  
     SG)Fk *1  
    •使用电磁场探测器可获得所有电磁场分量。 j|[rT^b@  
    q$:7j5E  
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    文件信息 |+q_kx@?l  
    P+o"]/7U  
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    %6320 x  
     X$>F78e*  
    QQ：2987619807 E:x@O8F  
     
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