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    [分享]分析高数值孔径物镜的聚焦特性 [复制链接]

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    科学家
     
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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2021-06-23
    摘要 !qu/m B  
    JW},7Ox  
    高数值孔径的物镜广泛用于光刻、显微等方面。 因此，在仿真聚焦时考虑光的矢量性质是至关重要的。VirtualLab可以支持此类透镜的光线和场追迹分析。通过场追迹分析，可以清楚地显示出由于矢量效应引起的非对称焦点。相机探测器和电磁场探测器可以方便地研究聚焦区域的场，也可以深入研究矢量效应。 P#!^9)3  
    O7"16~ a  
    @=ro/.  
     h`n) b  
    建模任务 WR"?j 9y_q  
    "Cz0r"N  
    a.z)m} +  
    概述 @B`nM#X#  
    12VSzIm  
    •案例系统已预先设置了高数值孔径物镜。 Y'^+ KU  
    •接下来，我们演示如何按照VirtualLab中建议的工作流程在示例系统上执行仿真。 L`"j> ),  
    ^O3i)GO  
     Et! 6i7`]  
    ["_+~*  
    光线追迹仿真 ],~H3u=s3  
    ;Rf@S$  
    •首先选择“光线追迹系统分析器”作为模拟引擎。 Xaw ~Hh)  
    •单击go！ ,p>@:C/M  
    •获得了3D光线追迹结果。 p:;`X!  
    [gDl<6a#4  
     %M*2j%6  
    b%QcB[k[WB  
    光线追迹仿真 |{ @BH  
    Z8ds`KZM  
    •然后，选择“光线追迹”作为模拟引擎。 *.6m,QqJ(  
    •单击go！ r3NdE~OAi  
    •结果得到点图（二维光线追迹结果）。 {%oxzdPc  
    t2(vtxrt  
     _+9o'<#u(  
    ny"z<N&}/  
    场追迹仿真 QuIZpP=  
    "s.hO0Z  
    •切换到场追迹，然后选择“第二代场追迹”作为模拟引擎。 \ZtKaEXnx  
    •单击go！ J(:y-U  
    U1W8f|u  
    n%6ba77  
     ^kK% 8 u  
    场追迹仿真（相机探测器）  5]*!N  
    5.LfN{gE)  
    •上图仅显示Ex和Ey场分量积分的强度。 {kghZur  
    •下图显示Ex、Ey和Ez分量积分的强度：由于在高数值孔径情况下Ez分量相对较大，因此可见明显的不对称性。 |=:<[FU  
    w! PguP  
     jp7cPpk:LG  
    s6QD^[  
    场追迹仿真（电磁场探测器） w$Z%RF'p  
    •使用电磁场探测器可获得所有电磁场分量。 3T/&T`T+c  
    &I:ZJuQ4  
    j[A:So  
     \hWac%#  
    场追迹仿真（电磁场探测器） NX5$x/uz  
     p^1~o/  
    •使用电磁场探测器可获得所有电磁场分量。 :=*V i`  
    3RF`F i  
     J@OK"%12  
    [V_+/[AA)  
    文件信息 w*]FJ-b<.j  
    @*E=O|  
     c#f@v45  
    cua( w  
     (((|vI3 <  
    QQ：2987619807 ]_j= { 0%  
     
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