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    [分享]分析高数值孔径物镜的聚焦特性 [复制链接]

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    科学家
     
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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2021-06-23
    摘要 ; Byt'S  
    Z$JJ0X  
    高数值孔径的物镜广泛用于光刻、显微等方面。 因此，在仿真聚焦时考虑光的矢量性质是至关重要的。VirtualLab可以支持此类透镜的光线和场追迹分析。通过场追迹分析，可以清楚地显示出由于矢量效应引起的非对称焦点。相机探测器和电磁场探测器可以方便地研究聚焦区域的场，也可以深入研究矢量效应。 ]i$0s  
    BEvY&3%l  
    5dI=;L >D  
     9`*Eeb>  
    建模任务 [Hx(a.,d  
    BZ1wE1t  
    &h I!mo  
    概述 2cH RiRT  
    T+ZA"i+  
    •案例系统已预先设置了高数值孔径物镜。 W.MZN4=  
    •接下来，我们演示如何按照VirtualLab中建议的工作流程在示例系统上执行仿真。 '<BLkr# @  
    KF_fz   
     l|?tqCT ^h  
    P:4"~ ]}  
    光线追迹仿真 $t.oGd@N  
    Sb/?<$>  
    •首先选择“光线追迹系统分析器”作为模拟引擎。 iX]OF.:   
    •单击go！ ,3Q~X$f  
    •获得了3D光线追迹结果。 y>aO90wJ  
    Ee2P]4_d  
     $t):r@L  
    B_Q{B|eEt&  
    光线追迹仿真 6/mz., g2  
    MmN{f~Kq9  
    •然后，选择“光线追迹”作为模拟引擎。 ;v@G  
    •单击go！ gGL}FNH  
    •结果得到点图（二维光线追迹结果）。 "Zgwe,#  
    WJh TU@'  
     rM,e$  
    ,bl }@0A  
    场追迹仿真 $h{m")]  
    4@@Sh`E:  
    •切换到场追迹，然后选择“第二代场追迹”作为模拟引擎。 M/=36{,w-  
    •单击go！ 1"ZtE\{ "  
    5MB`yRVv  
    id1cZig  
     S@HC$  
    场追迹仿真（相机探测器） i *.Y  
    MONX&$  
    •上图仅显示Ex和Ey场分量积分的强度。 Wn(!6yid  
    •下图显示Ex、Ey和Ez分量积分的强度：由于在高数值孔径情况下Ez分量相对较大，因此可见明显的不对称性。 5p[}<I{  
    0vm>*M*p  
     V2Vr7v=Y"  
    #XDgvX >  
    场追迹仿真（电磁场探测器） !Zj ]0,^  
    •使用电磁场探测器可获得所有电磁场分量。 g8##Be  
    o:AfEoH"~  
    ][$I~ nRf  
     4=([v;fc  
    场追迹仿真（电磁场探测器） 2F:qaz  
     3Tl<ST\  
    •使用电磁场探测器可获得所有电磁场分量。 2e1KF=N+  
    kP ]Up&'  
     \sAaVdZJH(  
    o%t4WQ|bj  
    文件信息 \0b}Z#'0  
    oZvG Kf  
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    v745F Iy<  
     |:1{B1sqA  
    QQ：2987619807 %lHHTZ{+  
     
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