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    [分享]分析高数值孔径物镜的聚焦特性 [复制链接]

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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2021-06-23
    摘要 $&, KZ>  
    m_  wvi  
    高数值孔径的物镜广泛用于光刻、显微等方面。 因此，在仿真聚焦时考虑光的矢量性质是至关重要的。VirtualLab可以支持此类透镜的光线和场追迹分析。通过场追迹分析，可以清楚地显示出由于矢量效应引起的非对称焦点。相机探测器和电磁场探测器可以方便地研究聚焦区域的场，也可以深入研究矢量效应。 EN ^L.q9#  
    LD WYFOGQ  
    FN26f*/  
     9. FXbNYg  
    建模任务 Ao\OU}  
    ~_CZ1  
    }`0=\cKqn  
    概述 dJQwb  
    RK&RMN8@  
    •案例系统已预先设置了高数值孔径物镜。 T|$tQgY^  
    •接下来，我们演示如何按照VirtualLab中建议的工作流程在示例系统上执行仿真。 ;)f,A)(Z  
    B;iJ$gt]  
     P"Q6wdm  
    OWr\$lm@z$  
    光线追迹仿真 R%t6sbsNv  
    #Wl9[W/4  
    •首先选择“光线追迹系统分析器”作为模拟引擎。 k'"R;^~xg  
    •单击go！ ]~3a~  
    •获得了3D光线追迹结果。 b,ZBol|X  
    6~!7?FK  
     k^q~ 2  
    ?: vB_@  
    光线追迹仿真 [BKTZQ@G@  
    s}gdi  
    •然后，选择“光线追迹”作为模拟引擎。 Ly`.~t(~l  
    •单击go！ 2xy{g&G  
    •结果得到点图（二维光线追迹结果）。 H%>cpwa[7  
    BG-nf1K(  
     A$zC$9{0I  
     GVu-<R  
    场追迹仿真 R6GlQ G  
    <pT1p4T<  
    •切换到场追迹，然后选择“第二代场追迹”作为模拟引擎。 \@NnL\ t u  
    •单击go！ cE,,9M@^  
    @[$q1Nm  
    R6o07.]  
     oB!-JX9  
    场追迹仿真（相机探测器） 5Yk|  
    h5E<wyd96.  
    •上图仅显示Ex和Ey场分量积分的强度。 sU^K5oo  
    •下图显示Ex、Ey和Ez分量积分的强度：由于在高数值孔径情况下Ez分量相对较大，因此可见明显的不对称性。 i94)DWZ^  
    i#U_g:~wC  
     '<C#"2  
    O~Dm|hP  
    场追迹仿真（电磁场探测器） :G<~x8]k0  
    •使用电磁场探测器可获得所有电磁场分量。 Co<F<eXe  
    ]>(pQD  
    Hg(nC*#/Q  
     dlV HyCW  
    场追迹仿真（电磁场探测器） |JUAR{  
     @G>&Gu;5  
    •使用电磁场探测器可获得所有电磁场分量。 'Hq#9?<2M  
    2DBFY1[Pk  
     ]A_A4=[w  
    3SF J8  
    文件信息 nhq,Y0YH  
    F n*+uk  
     p!LaR.8]  
    VpM(}QHd  
     N?s5h?  
    QQ：2987619807 u9}LvQh_6,  
     
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