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    [分享]分析高数值孔径物镜的聚焦特性 [复制链接]

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    科学家
     
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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2021-06-23
    摘要 E<_+Tc  
    ffQ&1T<  
    高数值孔径的物镜广泛用于光刻、显微等方面。 因此，在仿真聚焦时考虑光的矢量性质是至关重要的。VirtualLab可以支持此类透镜的光线和场追迹分析。通过场追迹分析，可以清楚地显示出由于矢量效应引起的非对称焦点。相机探测器和电磁场探测器可以方便地研究聚焦区域的场，也可以深入研究矢量效应。 !91<K{#A{  
    PI" )^`  
    wa9{Q}wSa  
     l\-(li H  
    建模任务 fI(H :N  
    X/wqfP  
    !FnH;  
    概述 -Kf'02  
    @*LESN>T@t  
    •案例系统已预先设置了高数值孔径物镜。 kA:cz$ )  
    •接下来，我们演示如何按照VirtualLab中建议的工作流程在示例系统上执行仿真。 5h(] S[Zf3  
    Ib4 8`  
     T1b9Zqc)f  
    K>$od^f%c  
    光线追迹仿真 Y-,1&$&  
    :!EOg4%i  
    •首先选择“光线追迹系统分析器”作为模拟引擎。 cE= v566  
    •单击go！ K31rt-IIt  
    •获得了3D光线追迹结果。 &"svt2  
    >&9Iy"  
     8:A6Ew&\]O  
    Wm ?RB0  
    光线追迹仿真 ]HP  
    aI8K*D )@  
    •然后，选择“光线追迹”作为模拟引擎。 }F R yG%  
    •单击go！ ~F]- +|  
    •结果得到点图（二维光线追迹结果）。 ffyKAZ{]po  
    (iiyptJ  
     71w$i 4  
    R=M${u<t  
    场追迹仿真 g<{W\VOPm  
    #6JCm!s  
    •切换到场追迹，然后选择“第二代场追迹”作为模拟引擎。 Hw/1~O$T  
    •单击go！ *%cI,}%   
    ji2if.t@  
    [XQoag;!  
     nmN6RGx  
    场追迹仿真（相机探测器） B|~\m ~  
    AuU:613]W8  
    •上图仅显示Ex和Ey场分量积分的强度。 gGdZ}9  
    •下图显示Ex、Ey和Ez分量积分的强度：由于在高数值孔径情况下Ez分量相对较大，因此可见明显的不对称性。 uoKC+8GA  
    P>kS$U)  
     #,qikKjt2  
    Oox5${#^  
    场追迹仿真（电磁场探测器） femAVx}go  
    •使用电磁场探测器可获得所有电磁场分量。 g;bkV q  
    X;p,Wq#D'  
    =RUKN38  
     i@_|18F]`  
    场追迹仿真（电磁场探测器） g!%csf  
     Ph.$]yQCc]  
    •使用电磁场探测器可获得所有电磁场分量。 PxK  
    7z6yn= B  
     +Mv0X%(N  
    gy<pN?Mw  
    文件信息 <  v_?}  
    e$tKKcj0T  
     P*(lc:  
    M>_S%V4a  
      c:~o e  
    QQ：2987619807 ScfW;  
     
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