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    [分享]分析高数值孔径物镜的聚焦特性 [复制链接]

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    离线infotek
    科学家
     
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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2021-06-23
    摘要 pXu/(&?  
    1D F/6y  
    高数值孔径的物镜广泛用于光刻、显微等方面。 因此，在仿真聚焦时考虑光的矢量性质是至关重要的。VirtualLab可以支持此类透镜的光线和场追迹分析。通过场追迹分析，可以清楚地显示出由于矢量效应引起的非对称焦点。相机探测器和电磁场探测器可以方便地研究聚焦区域的场，也可以深入研究矢量效应。 Tde0~j}  
    c0_E_~  
    ?<U{{ C  
     ujr(K=E  
    建模任务 tnz+bX26  
    h1[WhBL-O  
    =WG=C1Z  
    概述 c>HK9z{  
    fY,|o3#  
    •案例系统已预先设置了高数值孔径物镜。 ~6aCfbu%V  
    •接下来，我们演示如何按照VirtualLab中建议的工作流程在示例系统上执行仿真。 Pm+tQ  
    2&Jd f  
     +*}{`L- :  
    [q*%U4qGO  
    光线追迹仿真 El- ? %  
    6G AaV[])'  
    •首先选择“光线追迹系统分析器”作为模拟引擎。 52d^K0STC  
    •单击go！ T6#CK  
    •获得了3D光线追迹结果。 .fYZ*=P;c  
    ?F7o!B  
     rJJ[X4$  
    MFt*&%,JX  
    光线追迹仿真 71fk.16  
    W_`A"WdT.  
    •然后，选择“光线追迹”作为模拟引擎。 (=4W -z7  
    •单击go！ 5fJ[}~  
    •结果得到点图（二维光线追迹结果）。 \4d.sy0&>-  
    l [GOs&D1  
     b'YE9E  
    !#2=\LUC  
    场追迹仿真 p(F" /  
    4|?{VQ  
    •切换到场追迹，然后选择“第二代场追迹”作为模拟引擎。 N587(wZ  
    •单击go！ _>m-AI4^  
    C? 4JXW  
    X2|Y  
     nH|,T%  
    场追迹仿真（相机探测器） uC3:7  
    L!Cz'm"Nl  
    •上图仅显示Ex和Ey场分量积分的强度。 ^].jH+7i*  
    •下图显示Ex、Ey和Ez分量积分的强度：由于在高数值孔径情况下Ez分量相对较大，因此可见明显的不对称性。 DZS]AC*  
    iRV~Il#~!  
     6 K` c/)  
    @|}BXQNd  
    场追迹仿真（电磁场探测器） e({9]  
    •使用电磁场探测器可获得所有电磁场分量。 H( jXI  
    /93l74.w  
    Z?P~z07  
     lbdTQ6R  
    场追迹仿真（电磁场探测器） +!IQj0&'Y3  
     ~[WF_NU1y  
    •使用电磁场探测器可获得所有电磁场分量。 gi/@ j  
    )d\ j I  
     xo}b= v  
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    文件信息 $?G"GQ!.  
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    QQ：2987619807 cJo\#cr  
     
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