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    • 光学手册（上、下册，李景镇） 光学元件微纳制造与精密检测技术 京东6.18购物红包，每天领三次！ 现代光学与光子学技术
    讯技光电:VirtualLab Fusion独家供应商 微小光学与微透镜阵列 光学设计与光学元件 计算光学带来的成像革命
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    [分享]分析高数值孔径物镜的聚焦特性 [复制链接]

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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2021-06-23
    摘要 1w^[Eno$$  
    Tq8r SZi  
    高数值孔径的物镜广泛用于光刻、显微等方面。 因此，在仿真聚焦时考虑光的矢量性质是至关重要的。VirtualLab可以支持此类透镜的光线和场追迹分析。通过场追迹分析，可以清楚地显示出由于矢量效应引起的非对称焦点。相机探测器和电磁场探测器可以方便地研究聚焦区域的场，也可以深入研究矢量效应。 Q.AM  
    t}gqk'  
    YPEd XU8}  
     Shd,{Z)-Tg  
    建模任务 xGA0] _  
    \&90$>h  
    ;N|>pSzmL  
    概述 ^ I YN"yX_  
    uSjMqfK  
    •案例系统已预先设置了高数值孔径物镜。 6f>HE'N  
    •接下来，我们演示如何按照VirtualLab中建议的工作流程在示例系统上执行仿真。 ?J ?!%Mw  
    <,C})H?  
     0=DawJ9  
    N!,l4!M\N  
    光线追迹仿真 Hkt'~ L*   
    bwFc>{Wo5  
    •首先选择“光线追迹系统分析器”作为模拟引擎。 +pm8;&  
    •单击go！ w>s  
    •获得了3D光线追迹结果。 ZP<X#]$qb  
    Y."[k&P-  
     8=9sIK2  
    o*xEaD  
    光线追迹仿真 A9gl|II  
    ENzeVtw0  
    •然后，选择“光线追迹”作为模拟引擎。 .Dmvgi]  
    •单击go！ 3R><AFMY?  
    •结果得到点图（二维光线追迹结果）。 jGCW^#GE  
    /H% pOL6(r  
     )%7A. UO)  
    \^cn}db)  
    场追迹仿真 {xX|5/z  
    )J0VB't  
    •切换到场追迹，然后选择“第二代场追迹”作为模拟引擎。 G#Ow>NJ  
    •单击go！ *79<ypKG$  
    M{QNpoM  
    V2.K*CpZ7  
     ngjbE+  
    场追迹仿真（相机探测器） elN3B91\6r  
    9[*kpMC  
    •上图仅显示Ex和Ey场分量积分的强度。 uJ$,e5q  
    •下图显示Ex、Ey和Ez分量积分的强度：由于在高数值孔径情况下Ez分量相对较大，因此可见明显的不对称性。 {Hv=iVmt  
    2H#vA  
     4hs4W,2!  
    'Bx7b(xqk  
    场追迹仿真（电磁场探测器） 8] *{ i  
    •使用电磁场探测器可获得所有电磁场分量。 AVjtK  
    N_0O"" d  
    r.GjM#X  
     I}=}S"v  
    场追迹仿真（电磁场探测器） =DgD&_  
     UPC& O  
    •使用电磁场探测器可获得所有电磁场分量。 :U s-^zVr  
    cPXvT Vvs  
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    文件信息 MqqS3   
    pLU>vQA  
     S]>_o"|HV  
    h4#5j'RO  
     ){} #v&  
    QQ：2987619807 PD?H5W3@  
     
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