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摘要 iXm&\.% Sqn>L`Lz 高数值孔径的物镜广泛用于光刻、显微等方面。 因此，在仿真聚焦时考虑光的矢量性质是至关重要的。VirtualLab可以支持此类透镜的光线和场追迹分析。通过场追迹分析，可以清楚地显示出由于矢量效应引起的非对称焦点。相机探测器和电磁场探测器可以方便地研究聚焦区域的场，也可以深入研究矢量效应。 <=n;5hv:
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x 4v:67_^ 建模任务 @}4>:\e s ~Yd[&vpQ  hOB<6Tm[ 概述 nZ B ~l= <}WSYK,zUY •案例系统已预先设置了高数值孔径物镜。 my A;Y •接下来，我们演示如何按照VirtualLab中建议的工作流程在示例系统上执行仿真。 G K~A,Miqk 8j>V?'Szk
 ^)9/Wz _x fSbLkd 9 光线追迹仿真 N%f" W&ci :-d#kU •首先选择“光线追迹系统分析器”作为模拟引擎。 Sk53Lc •单击go！ c-hc.i}! •获得了3D光线追迹结果。 YWn""8p;P iqR6z\p&
 M@es8\&S. /)TeG]X g 光线追迹仿真 #Q =73~
>Y4^<!\v •然后，选择“光线追迹”作为模拟引擎。 o`n8 Fk}i •单击go！ 0\!Bh^++1 •结果得到点图（二维光线追迹结果）。 %B C%fVdP p|-> z
 P\Qvj7 _ OF<:BaRs/ 场追迹仿真 Y[L,rc/j CfW#Wk:8J •切换到场追迹，然后选择“第二代场追迹”作为模拟引擎。 BaIpX< $T •单击go！ =k<b* 8 s7yKx g+`{  * * m8 HD
LIG@` 场追迹仿真（相机探测器） uH$hMg B)7 :*Kj •上图仅显示Ex和Ey场分量积分的强度。 4e>f}u 5 •下图显示Ex、Ey和Ez分量积分的强度：由于在高数值孔径情况下Ez分量相对较大，因此可见明显的不对称性。 Byw EoS H%m^8yW1
 /{buFX2"} sRT5i9TQ 场追迹仿真（电磁场探测器） hvTc( 0;mB •使用电磁场探测器可获得所有电磁场分量。 x=rMjz-`_ -}TP)/ !,*  m>Wt'C c
qWK} 场追迹仿真（电磁场探测器） @{qcu\sZ
HAE$Np|>a •使用电磁场探测器可获得所有电磁场分量。 GjEV]hqR
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 Uot(3p!S6 R5b,/>^'A 文件信息 gAvNm[=wD2 4?@5JpC9VA
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IrRy1][Qr QQ：2987619807 JT}"CuC
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