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    [分享]分析高数值孔径物镜的聚焦特性 [复制链接]

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    离线infotek
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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2021-06-23
    摘要 T0]%(F/8  
    ~XT a=  
    高数值孔径的物镜广泛用于光刻、显微等方面。 因此，在仿真聚焦时考虑光的矢量性质是至关重要的。VirtualLab可以支持此类透镜的光线和场追迹分析。通过场追迹分析，可以清楚地显示出由于矢量效应引起的非对称焦点。相机探测器和电磁场探测器可以方便地研究聚焦区域的场，也可以深入研究矢量效应。 p#8LQP~0$  
    a@a1TpLQ  
    YK=#$,6  
     <DlanczziF  
    建模任务 L_zmU_zD  
    Zy+QA>d|  
    i&s=!`  
    概述 2I(@aB+  
    #3:'lGBIK  
    •案例系统已预先设置了高数值孔径物镜。 ph&H*Mc  
    •接下来，我们演示如何按照VirtualLab中建议的工作流程在示例系统上执行仿真。 &T{B~i3w8  
    L8-[:1  
     -z~ V   
    V]S06>P  
    光线追迹仿真  ~bWWu`h  
    c:,{ O 0 #  
    •首先选择“光线追迹系统分析器”作为模拟引擎。 x8rFMR#S=  
    •单击go！ VOF:+o@.  
    •获得了3D光线追迹结果。 .Zo9^0`C  
    __zu- !v  
     e#eO`bT  
    )}9}"jrDlx  
    光线追迹仿真 t;f p<z7N.  
    ~JmxW;|_x)  
    •然后，选择“光线追迹”作为模拟引擎。 *y\tnsU  
    •单击go！ qD>Y}Z !  
    •结果得到点图（二维光线追迹结果）。 ^{sI'l~  
    |u@>[*k'=  
     rM~IF+f0XD  
    y7G|P~td  
    场追迹仿真 6;c{~$s~[  
    c$SxDYG  
    •切换到场追迹，然后选择“第二代场追迹”作为模拟引擎。 uKAHJ$%  
    •单击go！ xg1r 3  
    r-"`Abev  
    m4.V$U,H]  
     xXh]z |  
    场追迹仿真（相机探测器） Z 7ZMu  
    {Ll8@'5  
    •上图仅显示Ex和Ey场分量积分的强度。 `3s-%>  
    •下图显示Ex、Ey和Ez分量积分的强度：由于在高数值孔径情况下Ez分量相对较大，因此可见明显的不对称性。 Nn4Kt,KY  
    :7;Iy u  
     $MEbePxe  
    ] j?Fk$C  
    场追迹仿真（电磁场探测器） P>,D$-3  
    •使用电磁场探测器可获得所有电磁场分量。 E2/U']R  
    ?[fl$EG  
    S5 oHe4#89  
     8o5^H>  
    场追迹仿真（电磁场探测器） }Ml z\'{  
     g wjv&.T6^  
    •使用电磁场探测器可获得所有电磁场分量。 G,* uj0g  
    E0x$;CG!  
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    文件信息 ]vyF&`phb  
    Oua/NF)  
     SmEd'YD!J  
    WW/m /+  
     O6 J<Lqgh  
    QQ：2987619807 (I 0t*Se  
     
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