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    [分享]分析高数值孔径物镜的聚焦特性 [复制链接]

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    科学家
     
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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2021-06-23
    摘要 d}?KPJ{  
    09Q5gal  
    高数值孔径的物镜广泛用于光刻、显微等方面。 因此，在仿真聚焦时考虑光的矢量性质是至关重要的。VirtualLab可以支持此类透镜的光线和场追迹分析。通过场追迹分析，可以清楚地显示出由于矢量效应引起的非对称焦点。相机探测器和电磁场探测器可以方便地研究聚焦区域的场，也可以深入研究矢量效应。 0Nk!.gY  
    !iX/Ni:  
    hSps9*y  
     6I _4{  
    建模任务 D#Mz#\4o  
    gCL}Ba  
    U: <  
    概述 DbR!s1ux  
    UH(w, R`  
    •案例系统已预先设置了高数值孔径物镜。 X$%W&:  
    •接下来，我们演示如何按照VirtualLab中建议的工作流程在示例系统上执行仿真。 6RSit  
    ycIcM~<4  
     Sq2 8=1%  
    g>b{hkIXg  
    光线追迹仿真 \x\(36\u  
    va#].4_  
    •首先选择“光线追迹系统分析器”作为模拟引擎。 66MUrNW  
    •单击go！ HB<>x  
    •获得了3D光线追迹结果。 (A?w|/bZd  
    < jX5}@`z  
     r0\C2g_X  
    6pQo_l}  
    光线追迹仿真 elD|b=(-  
    Vhn Ir#L+  
    •然后，选择“光线追迹”作为模拟引擎。  Lo)T  
    •单击go！ PyQ\O*  
    •结果得到点图（二维光线追迹结果）。 4zOFu/l6R  
    ']^]z".H  
     |@'K]$vZ*  
    I34 1s0  
    场追迹仿真 ),%@X  
    T$DFTr\\  
    •切换到场追迹，然后选择“第二代场追迹”作为模拟引擎。 *u[@C  
    •单击go！ NUuIhB+  
    W_ ;b e  
    ).tTDZ   
     &< FKcrZ,  
    场追迹仿真（相机探测器） G 40  
     z' 5  
    •上图仅显示Ex和Ey场分量积分的强度。 Psf{~ (Ii  
    •下图显示Ex、Ey和Ez分量积分的强度：由于在高数值孔径情况下Ez分量相对较大，因此可见明显的不对称性。 i DsY 5l  
    {"N:2  
     @c>MROlrlF  
    {uqP+Cs  
    场追迹仿真（电磁场探测器） %Go/\g   
    •使用电磁场探测器可获得所有电磁场分量。 G}]'}FUp  
    *iSE)[W  
     T#Z#YMk  
     }n,LvA@[0  
    场追迹仿真（电磁场探测器） AZ\f6r{  
     W6u(+P]("  
    •使用电磁场探测器可获得所有电磁场分量。 ,o3`O|PiK  
    0yb9R/3.  
     A(+V{1 L'  
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    文件信息 wjKc!iB  
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     B+c,3@)x  
    sr<\fW  
     \M Av's4b@  
    QQ：2987619807 4Le{|B  
     
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