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    [分享]分析高数值孔径物镜的聚焦特性 [复制链接]

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    科学家
     
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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2021-06-23
    摘要 fU_itb(  
    xZt]s3?  
    高数值孔径的物镜广泛用于光刻、显微等方面。 因此，在仿真聚焦时考虑光的矢量性质是至关重要的。VirtualLab可以支持此类透镜的光线和场追迹分析。通过场追迹分析，可以清楚地显示出由于矢量效应引起的非对称焦点。相机探测器和电磁场探测器可以方便地研究聚焦区域的场，也可以深入研究矢量效应。 xtL_,ug  
    ?4wS/_C/  
    ;X6FhQ;{*0  
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    建模任务 JB(~O`  
    \{L!hAw  
    zzi%r=%r&  
    概述 xqv4gN6  
    YuD2Q{  
    •案例系统已预先设置了高数值孔径物镜。 YC4S,fY`  
    •接下来，我们演示如何按照VirtualLab中建议的工作流程在示例系统上执行仿真。 ZLe@O~f;%  
    ,EW-21  
     s"`uE$6N  
    # )-Kf  
    光线追迹仿真 !"B0z+O>  
    j}Lt"r2F  
    •首先选择“光线追迹系统分析器”作为模拟引擎。 p=jD "lq  
    •单击go！ &; 5QB  
    •获得了3D光线追迹结果。 ~p<o":k+Lv  
    }X94M7+->  
     r-'(_t~FT  
    NK]X="`  
    光线追迹仿真 A1x?_S"a  
    -:t<%]RfY  
    •然后，选择“光线追迹”作为模拟引擎。 #R<4K0Xan  
    •单击go！ =7ul,  
    •结果得到点图（二维光线追迹结果）。 ?B@(W(I  
    *[@lp7  
     @U'I_` LL  
    D Cx3_  
    场追迹仿真  Ko9"mHNB  
    6-U|e|e  
    •切换到场追迹，然后选择“第二代场追迹”作为模拟引擎。 oe,L&2Jz@  
    •单击go！ ;1^_ .3  
    F,EcqM'f  
    }5-^:}gL   
     74ma   
    场追迹仿真（相机探测器） ENm\1  
    B P%>J^  
    •上图仅显示Ex和Ey场分量积分的强度。 vs;T}' O  
    •下图显示Ex、Ey和Ez分量积分的强度：由于在高数值孔径情况下Ez分量相对较大，因此可见明显的不对称性。 bIt%KG{PY6  
    wmdvAMN  
     .^8 x>~  
    6f/>o$  
    场追迹仿真（电磁场探测器） Q-fi(UP  
    •使用电磁场探测器可获得所有电磁场分量。 V6Ie\+@.\  
    hK*:pf  
    yg\bCvL&  
     )3PQ|r'  
    场追迹仿真（电磁场探测器） &P Wz4hZ  
     F-g(Hk|v  
    •使用电磁场探测器可获得所有电磁场分量。 3\WLm4  
    pB;)H ii\  
     )MqF~[k<-  
    ?3jOE4~aHr  
    文件信息 Q`}1 B   
    \xJTsdd  
     6[>UF!.=  
    YFgQ!\&59  
     VXlTA>a }  
    QQ：2987619807 e8O[xM  
     
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