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    [分享]分析高数值孔径物镜的聚焦特性 [复制链接]

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    离线infotek
    科学家
     
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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2021-06-23
    摘要 ?j|i|WUD  
    5ji#rIAhxh  
    高数值孔径的物镜广泛用于光刻、显微等方面。 因此，在仿真聚焦时考虑光的矢量性质是至关重要的。VirtualLab可以支持此类透镜的光线和场追迹分析。通过场追迹分析，可以清楚地显示出由于矢量效应引起的非对称焦点。相机探测器和电磁场探测器可以方便地研究聚焦区域的场，也可以深入研究矢量效应。 sB+ B,DF  
    m#a1N  
    D9/PVd&#  
     V:*6R/Ft  
    建模任务 "^&Te%x_b  
    ? e<D +  
    U{?#W  
    概述 >4iVVs  
    aYrbB#  
    •案例系统已预先设置了高数值孔径物镜。 W~Ae&gcn#  
    •接下来，我们演示如何按照VirtualLab中建议的工作流程在示例系统上执行仿真。 K!jMW  
    (_Ky' .  
     n1r'Y;G  
    7?W1i{(  
    光线追迹仿真 CEEAyip-c  
    i=AQ1X\s  
    •首先选择“光线追迹系统分析器”作为模拟引擎。 p|RFpn2ygF  
    •单击go！ Qoom[@$  
    •获得了3D光线追迹结果。 '8V>:dy>  
    MYMg/>f[  
     9D,/SZ-v  
    } 3JOC!;;  
    光线追迹仿真 G-Dc(QhU&  
    r"bV{v  
    •然后，选择“光线追迹”作为模拟引擎。 v)s; wD  
    •单击go！ .ovG_O  
    •结果得到点图（二维光线追迹结果）。 z 8y.@<6  
    2e| m3  
     AEE&{ _[S  
    +XoY@|Djd  
    场追迹仿真 kmur={IR  
    k r ga!,I  
    •切换到场追迹，然后选择“第二代场追迹”作为模拟引擎。 6O| rI>D  
    •单击go！ .Hm1ispq  
    [/GCy0jk  
    Y@2v/O,\  
     =l+~}/7'Z  
    场追迹仿真（相机探测器） j:P(,M[  
    1^AG/w  
    •上图仅显示Ex和Ey场分量积分的强度。 YF6 8 Ax]  
    •下图显示Ex、Ey和Ez分量积分的强度：由于在高数值孔径情况下Ez分量相对较大，因此可见明显的不对称性。 I'e`?H t  
    ,}a'h4C  
     gH:+$FA  
     kAnK1W>  
    场追迹仿真（电磁场探测器） |DkK7gw  
    •使用电磁场探测器可获得所有电磁场分量。 'j 'G4P_G  
    {vox x&UX  
    G^2%F5@  
     BI:O?!:9)  
    场追迹仿真（电磁场探测器） Y^-D'2P]P  
     >bbvQb +j  
    •使用电磁场探测器可获得所有电磁场分量。 E@CK.-N|  
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     PsO>&Te2  
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    文件信息 .M([n-  
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    4`'V%)M  
     s7"5NU-  
    QQ：2987619807 ?L+|b5RS  
     
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