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    [分享]分析高数值孔径物镜的聚焦特性 [复制链接]

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    离线infotek
    科学家
     
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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2021-06-23
    摘要 WFqOVI*l  
    jd 8g0^  
    高数值孔径的物镜广泛用于光刻、显微等方面。 因此，在仿真聚焦时考虑光的矢量性质是至关重要的。VirtualLab可以支持此类透镜的光线和场追迹分析。通过场追迹分析，可以清楚地显示出由于矢量效应引起的非对称焦点。相机探测器和电磁场探测器可以方便地研究聚焦区域的场，也可以深入研究矢量效应。 )oS~ish  
    U2JxzHXZ  
    j{zVVT  
     W}wd?WIps  
    建模任务 -OfAl~ 4  
    `WQpGBS_z_  
    ({!*&DVu  
    概述 }yCgd 5+_  
    ,l\D@<F  
    •案例系统已预先设置了高数值孔径物镜。 q#Ik3 5  
    •接下来，我们演示如何按照VirtualLab中建议的工作流程在示例系统上执行仿真。 QkO4Td<  
    Aca ?C  
     <R#:K7> O  
    8[8U49V9(  
    光线追迹仿真 U(:t$SBKy  
    mOYXd,xd  
    •首先选择“光线追迹系统分析器”作为模拟引擎。 +Pn`AV1  
    •单击go！  6AmFl<  
    •获得了3D光线追迹结果。 y"nC T3  
    nON "+c*  
     ra\|c>[%  
    @;d7#!:cE  
    光线追迹仿真 /bqJ6$  
    }HZ'i;~r|9  
    •然后，选择“光线追迹”作为模拟引擎。 ;{cl*EN  
    •单击go！ ^#2Y4[@  
    •结果得到点图（二维光线追迹结果）。 :#W>lq@H  
    hM`*- +Zb  
     3-2?mV>5  
    Xec U&  
    场追迹仿真 wijY]$  
    e9?y0vT//  
    •切换到场追迹，然后选择“第二代场追迹”作为模拟引擎。 8m) E~6  
    •单击go！ 'MIM_m)H  
    ,[Z;"wE  
    *|:]("i  
     q]t^6m&-  
    场追迹仿真（相机探测器） ' 9  
    .DHRPel  
    •上图仅显示Ex和Ey场分量积分的强度。 '~'3x4Bo  
    •下图显示Ex、Ey和Ez分量积分的强度：由于在高数值孔径情况下Ez分量相对较大，因此可见明显的不对称性。 %|3UWN  
    b ~FmX  
     5($ '@u  
    "'"dcA   
    场追迹仿真（电磁场探测器） M3 $MgsN:  
    •使用电磁场探测器可获得所有电磁场分量。 :YZMR JL  
    \Tj(]  
    E^. =^bR  
     .{W)E  
    场追迹仿真（电磁场探测器） n-_-;TYH  
     [t`QV2um  
    •使用电磁场探测器可获得所有电磁场分量。 .oo>NS  
    e: :H1V  
     nEm+cHHo?  
    Ws`P(WHm  
    文件信息 }KHdlhD  
    W;C41>^?/  
     KmkPq]  
    : LI*#~'Ka  
     5q?ZuAAA  
    QQ：2987619807 fhmq O0  
     
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