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    [分享]分析高数值孔径物镜的聚焦特性 [复制链接]

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    离线infotek
    科学家
     
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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2021-06-23
    摘要 cbX  <  
    gG,gL 9o  
    高数值孔径的物镜广泛用于光刻、显微等方面。 因此，在仿真聚焦时考虑光的矢量性质是至关重要的。VirtualLab可以支持此类透镜的光线和场追迹分析。通过场追迹分析，可以清楚地显示出由于矢量效应引起的非对称焦点。相机探测器和电磁场探测器可以方便地研究聚焦区域的场，也可以深入研究矢量效应。 hr GfA  
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    建模任务 X&|y|  
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    概述 ^36m$J$  
    _n3"  
    •案例系统已预先设置了高数值孔径物镜。 OQby=}A  
    •接下来，我们演示如何按照VirtualLab中建议的工作流程在示例系统上执行仿真。 ZfWF2%]<  
    2c8e:Xgv  
     ?\T):o;/  
    +"SYG  
    光线追迹仿真 w 8oIq*  
    3 *[YM7y  
    •首先选择“光线追迹系统分析器”作为模拟引擎。 xw83dQ]}^  
    •单击go！ +Zi@+|"BCN  
    •获得了3D光线追迹结果。 G\o *j |  
    #p|7\Y  
     PQ`~qM:3st  
    >=3ay^(Y2D  
    光线追迹仿真 DTSK*a`  
    m<e-XT  
    •然后，选择“光线追迹”作为模拟引擎。 :~dI2e\:  
    •单击go！ TmO3hKaP  
    •结果得到点图（二维光线追迹结果）。 Bis'59?U_  
    Ni) /L( &  
     9A9yZlt  
    6 2#dSd}HG  
    场追迹仿真 @m(ja@YC  
    |a[Id  
    •切换到场追迹，然后选择“第二代场追迹”作为模拟引擎。 %:7fAB,PA  
    •单击go！ q.g0Oz@ z  
    }6^d/nE*T  
    -c'~0g]<  
     e8ZMB$byP  
    场追迹仿真（相机探测器） ~OQ/ |ws  
    ^bDh[O  
    •上图仅显示Ex和Ey场分量积分的强度。 j69 2M.A  
    •下图显示Ex、Ey和Ez分量积分的强度：由于在高数值孔径情况下Ez分量相对较大，因此可见明显的不对称性。 k_%"#  
    h(wu5G0C#u  
     vB9v8@[I&  
    h`%}5})=  
    场追迹仿真（电磁场探测器） lDm0O)Dh!  
    •使用电磁场探测器可获得所有电磁场分量。 L]|[AyNu  
    ()I';o  
    >YW_}kd  
     Y)]x1I  
    场追迹仿真（电磁场探测器） ley: =(  
     [qGj*`@C  
    •使用电磁场探测器可获得所有电磁场分量。 9H4NvB{  
    C Nt  
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    文件信息 !XJS"owr  
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    j)neVPf%v  
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    QQ：2987619807 \ZPmPu9^(  
     
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