切换到宽版
  • 广告投放
  • 稿件投递
  • 繁體中文
    • Zemax光学设计从入门到精通 《杂散光抑制与评估技术》 Zemax光学设计实践基础(陈家璧) 光学设计与光学元件
    讯技光电:VirtualLab Fusion独家供应商 现代光学设计及应用(Zemax) CODE V,LightTools,RSoft,LucidShape 计算光学带来的成像革命(第2季)
    发帖 回复
    返回列表
    • 1599阅读
    • 0回复

    [分享]分析高数值孔径物镜的聚焦特性 [复制链接]

    		 上一主题 下一主题
    离线infotek
    科学家
     
    发帖
    7056
    光币
    29425
    光券
    0
    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2021-06-23
    摘要 Wg}#{[4  
    & 6}vvgz  
    高数值孔径的物镜广泛用于光刻、显微等方面。 因此，在仿真聚焦时考虑光的矢量性质是至关重要的。VirtualLab可以支持此类透镜的光线和场追迹分析。通过场追迹分析，可以清楚地显示出由于矢量效应引起的非对称焦点。相机探测器和电磁场探测器可以方便地研究聚焦区域的场，也可以深入研究矢量效应。 ?TzN?\   
    }3?M0:  
    Ir}&|"~H  
     +d'h20  
    建模任务 Rbr vY  
    possM'vC  
    SULWPH5Pr  
    概述 I [e7Up  
    <D4)gRRo  
    •案例系统已预先设置了高数值孔径物镜。 c\;} ov+  
    •接下来，我们演示如何按照VirtualLab中建议的工作流程在示例系统上执行仿真。 4AF" +L  
    h+*  
     ?94da4p  
    `_v-Y`Z  
    光线追迹仿真 b]Z@zS<8  
    ?W(wtp,o  
    •首先选择“光线追迹系统分析器”作为模拟引擎。 :fj}J)9'xW  
    •单击go！ crhck'?0  
    •获得了3D光线追迹结果。 ( bBetX  
    Dri1A%  
     ]AHi$Xx  
    X=.+XP]  
    光线追迹仿真 }"cb^3  
    {{<o1{_H  
    •然后，选择“光线追迹”作为模拟引擎。 qC3 rHT]  
    •单击go！ g#70Sg*d  
    •结果得到点图（二维光线追迹结果）。 iK.MC%8?  
    4Y)3<=kDG  
     L)w& f  
    r/{VL3}F_e  
    场追迹仿真 A: @=?(lI3  
    -D(Ubk Pw  
    •切换到场追迹，然后选择“第二代场追迹”作为模拟引擎。 ?>AhC{  
    •单击go！ I&(cdKY z  
    !'[sV^ ds  
    }%jb/@~  
     B2,! 0Re  
    场追迹仿真（相机探测器） *y0`P0V|8  
    +h9CcBd  
    •上图仅显示Ex和Ey场分量积分的强度。 #Xn#e  
    •下图显示Ex、Ey和Ez分量积分的强度：由于在高数值孔径情况下Ez分量相对较大，因此可见明显的不对称性。 :))AZ7_  
    M(2[X/t  
     v=`VDQWq  
    \T[*|"RFZ  
    场追迹仿真（电磁场探测器） z2 dM*NMK  
    •使用电磁场探测器可获得所有电磁场分量。 UW>~C  
    J#X7Ss  
    bMv9f J  
     mS );bs  
    场追迹仿真（电磁场探测器） <~Y4JMr"  
     MWB uMF  
    •使用电磁场探测器可获得所有电磁场分量。 ]#*@<T*[  
    Z]Qm64^I  
     ]T*{M  
    i3Ffk+ |b  
    文件信息 [6-l6W  
    Qe4  
     Dn6DkD!  
    8XY4  
     |]I?^:I  
    QQ：2987619807 d-?~O~qD|!  
     
    回复
    举报
    分享到
    发帖 回复
    返回列表