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    [分享]分析高数值孔径物镜的聚焦特性 [复制链接]

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    科学家
     
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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2021-06-23
    摘要 Vf<q-3q  
    EWQLLH"h  
    高数值孔径的物镜广泛用于光刻、显微等方面。 因此，在仿真聚焦时考虑光的矢量性质是至关重要的。VirtualLab可以支持此类透镜的光线和场追迹分析。通过场追迹分析，可以清楚地显示出由于矢量效应引起的非对称焦点。相机探测器和电磁场探测器可以方便地研究聚焦区域的场，也可以深入研究矢量效应。 N,l"9>CF  
    ~@(C+3,  
    !qU1RdZ  
     pRd'\+  
    建模任务 =3`|D0E  
    K$w;|UJc  
    AyPtbrO  
    概述 qDU4W7|T`  
    g>k?03;  
    •案例系统已预先设置了高数值孔径物镜。 DEbMb6)U  
    •接下来，我们演示如何按照VirtualLab中建议的工作流程在示例系统上执行仿真。 K/j u=>  
    {&UA6 0~6  
     _,IjB/PR(  
    1vxQ`)a  
    光线追迹仿真 j=Izwt>   
    @$'pMg  
    •首先选择“光线追迹系统分析器”作为模拟引擎。 &FuL {YL  
    •单击go！ >239SyC-,  
    •获得了3D光线追迹结果。 n1PBpM9!  
    H5 V>d  
     `( w"{8laB  
    xVgm 9s$"c  
    光线追迹仿真 vB}c6A4'U  
    Ga-cto1Y  
    •然后，选择“光线追迹”作为模拟引擎。 h(<>s#=E  
    •单击go！ ^9 ]iUx  
    •结果得到点图（二维光线追迹结果）。 =,h'}(z_  
    4 Yv:\c  
     T\g+w\N  
    841y"@*BY  
    场追迹仿真 XH@(V4J(.  
    fGqX dlP  
    •切换到场追迹，然后选择“第二代场追迹”作为模拟引擎。 z;F HZb9t,  
    •单击go！ 9x|`XAB  
    UoKVl-  
    Em^~OM3U$q  
     8>Cf}TvErx  
    场追迹仿真（相机探测器） +:4>4=  
    &$ "J\v m  
    •上图仅显示Ex和Ey场分量积分的强度。 _U-`/r o  
    •下图显示Ex、Ey和Ez分量积分的强度：由于在高数值孔径情况下Ez分量相对较大，因此可见明显的不对称性。 vSC1n8 /  
    6@t&  
     FO%pdLs,  
    'Grii,  
    场追迹仿真（电磁场探测器） |R _rfJh  
    •使用电磁场探测器可获得所有电磁场分量。 &(A#F[ =0  
    *OznZIn  
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     8'jt59/f  
    场追迹仿真（电磁场探测器） ) $b F*  
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    •使用电磁场探测器可获得所有电磁场分量。 MP)Prl>  
    x,.=VB  
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    文件信息 =CJ`0yDQ>  
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     !Q15qvRS  
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     A|S)cr8z  
    QQ：2987619807 vxTn  
     
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