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    [分享]分析高数值孔径物镜的聚焦特性 [复制链接]

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    离线infotek
    科学家
     
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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2021-06-23
    摘要 lLZ?&z$  
    bdr !|WZ  
    高数值孔径的物镜广泛用于光刻、显微等方面。 因此，在仿真聚焦时考虑光的矢量性质是至关重要的。VirtualLab可以支持此类透镜的光线和场追迹分析。通过场追迹分析，可以清楚地显示出由于矢量效应引起的非对称焦点。相机探测器和电磁场探测器可以方便地研究聚焦区域的场，也可以深入研究矢量效应。 Zc*gRC  
    U=ie| 3  
    fg8U* 7  
     >=ng?  
    建模任务 m>-(c=3  
    f"A?\w @  
    {1]Of'x'  
    概述 }_o!f V  
     IQCIc@5  
    •案例系统已预先设置了高数值孔径物镜。 NQhlb"Ix  
    •接下来，我们演示如何按照VirtualLab中建议的工作流程在示例系统上执行仿真。 ejC== Fkc  
    ^DS+O>  
     QyX ?  
    LVp*YOq7  
    光线追迹仿真 QH_I<Y:n  
    JOJ? .H&su  
    •首先选择“光线追迹系统分析器”作为模拟引擎。 OA3* "d*  
    •单击go！ :]oRx  
    •获得了3D光线追迹结果。 !{L`Zd;C>w  
    _o-D},f*e  
     P2;I0 !  
    ?4i:$.A Y  
    光线追迹仿真 =+j>?Yi  
    kM T73OI>_  
    •然后，选择“光线追迹”作为模拟引擎。 , 1{)B  
    •单击go！ vQpR0IEf]e  
    •结果得到点图（二维光线追迹结果）。 E)dV;1t  
    :5`BhFAd  
     Qpc+1{BQ  
    er?'o1M  
    场追迹仿真 V_g9oR_  
    <([1(SY2e  
    •切换到场追迹，然后选择“第二代场追迹”作为模拟引擎。 )TBG-<wt  
    •单击go！ Ex ?)FL$4  
    ;O2r+n  
    Ta38/v;S  
     q.OkZI0n   
    场追迹仿真（相机探测器） ^< ,Np+  
    j 6~#_t[  
    •上图仅显示Ex和Ey场分量积分的强度。 J['paHSF  
    •下图显示Ex、Ey和Ez分量积分的强度：由于在高数值孔径情况下Ez分量相对较大，因此可见明显的不对称性。 / W}Za&]  
    s wdW70  
     c%aY6dQG&%  
    mlR*S<Z  
    场追迹仿真（电磁场探测器） Uu9\;f  
    •使用电磁场探测器可获得所有电磁场分量。 9tVA.:FOZ  
    @' DfNka  
    Y" s1z<?  
     Ch`XwLY9  
    场追迹仿真（电磁场探测器） .,pGW8Js  
     wwS{V  
    •使用电磁场探测器可获得所有电磁场分量。 %v\0Dm+A  
    Ctxs]S tU%  
     kmM1)- v  
    d*=P8QwL|  
    文件信息 u0^: XwZ!  
    I)AV  
     Us'm9 J  
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    QQ：2987619807 /i$ mIj`  
     
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