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    [分享]分析高数值孔径物镜的聚焦特性 [复制链接]

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    离线infotek
    科学家
     
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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2021-06-23
    摘要 &, Zz  
    LjH&f 4mY  
    高数值孔径的物镜广泛用于光刻、显微等方面。 因此，在仿真聚焦时考虑光的矢量性质是至关重要的。VirtualLab可以支持此类透镜的光线和场追迹分析。通过场追迹分析，可以清楚地显示出由于矢量效应引起的非对称焦点。相机探测器和电磁场探测器可以方便地研究聚焦区域的场，也可以深入研究矢量效应。 ik1L  
    eJ=Y6;d$  
    k^dCX+  
     lU50.7<08  
    建模任务 gGiV1jN _  
    Hs4zJk  
    hPqapz]HcP  
    概述 g]@R'2:1  
    T`w};]z^d2  
    •案例系统已预先设置了高数值孔径物镜。 ]/V Iff  
    •接下来，我们演示如何按照VirtualLab中建议的工作流程在示例系统上执行仿真。 C5sN[  
    53u.p c  
     P=SxiXsr$  
    *F8 uu.  
    光线追迹仿真 ?/l}(t$H  
    <rwOI.W l$  
    •首先选择“光线追迹系统分析器”作为模拟引擎。 WJFTy+bD  
    •单击go！ Bn#HJ17/#  
    •获得了3D光线追迹结果。 [@. jL0>  
    R SWB!-  
     ?D )qgH  
    ++{+ #s6  
    光线追迹仿真  _7j/[  
    _KkVI7a  
    •然后，选择“光线追迹”作为模拟引擎。 JmJ,~_  
    •单击go！ C@?e`=9(  
    •结果得到点图（二维光线追迹结果）。 @qhg[= @  
    a+a%}76N  
     'xrbg]b%  
    .&yWHdQC:  
    场追迹仿真 o2e h)rtB  
    \$HB~u%dr  
    •切换到场追迹，然后选择“第二代场追迹”作为模拟引擎。 r+#V{oE_  
    •单击go！ qf&a<[p~  
    _8b>r1$  
    8s5ru)  
     $ E~Lu$|  
    场追迹仿真（相机探测器） OB  i!fLa  
    z#E,96R  
    •上图仅显示Ex和Ey场分量积分的强度。 'a{5}8+8  
    •下图显示Ex、Ey和Ez分量积分的强度：由于在高数值孔径情况下Ez分量相对较大，因此可见明显的不对称性。 lSbM)gL  
    VX>t!JP p  
     AO7qs:+  
    JK8@J9(#  
    场追迹仿真（电磁场探测器） <$3nD b-  
    •使用电磁场探测器可获得所有电磁场分量。 xo_k"'f+  
    fm:{&(  
    a3 _0F@I  
     BiLreZ~"  
    场追迹仿真（电磁场探测器） e4W];7_K!  
     =cKk3kJC  
    •使用电磁场探测器可获得所有电磁场分量。 ?QIQ,?.  
    Umwg iw  
     NizJq*V>  
    2u;fT{(  
    文件信息 Joo)GIB  
    W6/p-e5y  
     ]<_!@J6k  
     p|8Fl  
     WI 4_4  
    QQ：2987619807 U)%u`C0  
     
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