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    [分享]分析高数值孔径物镜的聚焦特性 [复制链接]

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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2021-06-23
    摘要 w&%9IJ  
    yE#g5V&  
    高数值孔径的物镜广泛用于光刻、显微等方面。 因此，在仿真聚焦时考虑光的矢量性质是至关重要的。VirtualLab可以支持此类透镜的光线和场追迹分析。通过场追迹分析，可以清楚地显示出由于矢量效应引起的非对称焦点。相机探测器和电磁场探测器可以方便地研究聚焦区域的场，也可以深入研究矢量效应。 le.anJAr  
    rWA6X DM7  
    h\(B#SN  
     'xIyGDe  
    建模任务 x|8^i6xB  
    u^t$ cLIZ  
    P$g^vS+  
    概述 ]Ko^G_Rm  
    \wYc1M@7V  
    •案例系统已预先设置了高数值孔径物镜。 ?\ZL#)hr"p  
    •接下来，我们演示如何按照VirtualLab中建议的工作流程在示例系统上执行仿真。 OZf6/10O/  
    3A_G=WaED  
     K*1.'9/  
    [@//#}5v  
    光线追迹仿真 * r;xw  
    1RLym9JN  
    •首先选择“光线追迹系统分析器”作为模拟引擎。 eTT) P  
    •单击go！ b]T@gJ4H=  
    •获得了3D光线追迹结果。 X3<K 1/<  
    w9MoT.kI}  
     /2xSNalC  
    J/ vK6cO\  
    光线追迹仿真 qw<HY$3=  
    7\Co`J>p2  
    •然后，选择“光线追迹”作为模拟引擎。 [KSH~:h:NR  
    •单击go！ V,Q4n%h1.  
    •结果得到点图（二维光线追迹结果）。 d`mD!)j  
    $#e1SS32  
     ^XG*z?Tt  
    `PgdJrE  
    场追迹仿真 &dr@6-xaq  
    f"dSr  
    •切换到场追迹，然后选择“第二代场追迹”作为模拟引擎。 x:fW~!Xc6  
    •单击go！ y\D=Z N@  
    DN_W.o  
    ?{6s58Q{  
     %Ds+GM-  
    场追迹仿真（相机探测器） 5!(?m~jJ  
    Wpr ,j N8b  
    •上图仅显示Ex和Ey场分量积分的强度。 !X]8dyW  
    •下图显示Ex、Ey和Ez分量积分的强度：由于在高数值孔径情况下Ez分量相对较大，因此可见明显的不对称性。 ,$N#Us(Wa  
    _[t8rl  
     1_hW#I\'  
    pvF-Y9Xb  
    场追迹仿真（电磁场探测器） Z.1> kZ  
    •使用电磁场探测器可获得所有电磁场分量。 LHkQ'O0  
    /&^W#U$4  
    MjD75hIZ  
     Jxa4hM0  
    场追迹仿真（电磁场探测器） .X'pq5  
     yCP4r6X0  
    •使用电磁场探测器可获得所有电磁场分量。 @kxel`,$e  
    _MuZ4tc  
     5)UQWnd5  
    }r%X`i|  
    文件信息 %S \8.  
    9t$]X>}  
     D +RiM~LH8  
    oyvKa g  
     tU :EN;H  
    QQ：2987619807 k XrlSaIc  
     
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