-
UID：317649
-
- 注册时间2020-06-19
- 最后登录2025-08-07
- 在线时间1825小时
-
-
访问TA的空间加好友用道具
|
摘要 R:+2}kS5e{ nBs%k!RR 高数值孔径的物镜广泛用于光刻、显微等方面。 因此，在仿真聚焦时考虑光的矢量性质是至关重要的。VirtualLab可以支持此类透镜的光线和场追迹分析。通过场追迹分析，可以清楚地显示出由于矢量效应引起的非对称焦点。相机探测器和电磁场探测器可以方便地研究聚焦区域的场，也可以深入研究矢量效应。 >*ey 7g
2ye^mJ17
 J[ 9yQ
b>|3?G 建模任务 %x_ c2 et|P5%G  !6 _lD 0 概述 C2GF
N1i d4c -(ZRl •案例系统已预先设置了高数值孔径物镜。 &IGTCTBP •接下来，我们演示如何按照VirtualLab中建议的工作流程在示例系统上执行仿真。 1
h(oty2p *@'4 A :A
 TK.a6 HJG X+;F5b9z 光线追迹仿真 2`(-l{3 O_8ERxj
g] •首先选择“光线追迹系统分析器”作为模拟引擎。 {~DYf*RZ •单击go！ fu |N{$h%X •获得了3D光线追迹结果。 Sfc 0 ~1 wD >tR
SW
 :5X1Tr= A ND[u$N+5x" 光线追迹仿真 }J}a;P4 iq$edq[ •然后，选择“光线追迹”作为模拟引擎。 &.ZW1TxE8 •单击go！ &wR dUIc •结果得到点图（二维光线追迹结果）。 Ojj:YLlY> j""I,$t
 P<b.;Oz__- L-_dq0T 场追迹仿真 TQm x $ BC V<( @c •切换到场追迹，然后选择“第二代场追迹”作为模拟引擎。 W jZJQK •单击go！ =T5vu~[J/e 6'y+Ev$9  zAEq)9Y"l'
%Kd&A * 场追迹仿真（相机探测器） dzDh V{ $,ev <4I& •上图仅显示Ex和Ey场分量积分的强度。 %+oWW5q7 •下图显示Ex、Ey和Ez分量积分的强度：由于在高数值孔径情况下Ez分量相对较大，因此可见明显的不对称性。 4 fBgmL 6U;pYWht
 pq[R H-{ IdTeue 场追迹仿真（电磁场探测器） Eq zS={Olj •使用电磁场探测器可获得所有电磁场分量。 a5WVDh, cR 24{!j[,q@  V-a/%_D
.{D[!Dp#h 场追迹仿真（电磁场探测器） ?&Si P-G
ay6G1\0W •使用电磁场探测器可获得所有电磁场分量。 q[{q3-W 3 #R~>c2
 DZ~w8v7V B]dHMLzl 文件信息 )#[?pYd ^
ab%Mbb
 "!<Kmh5 R`ajll1
6N(Wv0b $ QQ：2987619807 RC Fb&,51
|
