-
UID：317649
-
- 注册时间2020-06-19
- 最后登录2025-06-19
- 在线时间1790小时
-
-
访问TA的空间加好友用道具
|
摘要 cKOXsdH?SL p! )tA 高数值孔径的物镜广泛用于光刻、显微等方面。 因此，在仿真聚焦时考虑光的矢量性质是至关重要的。VirtualLab可以支持此类透镜的光线和场追迹分析。通过场追迹分析，可以清楚地显示出由于矢量效应引起的非对称焦点。相机探测器和电磁场探测器可以方便地研究聚焦区域的场，也可以深入研究矢量效应。 !0 |&f>y
?I:_FT
 . 6y*Z+Zg
w ZbT*rU 建模任务 g\?07@Zd| bY*_6SPK4  yx6^ mis4 概述 (n_.bSI #pP R>,4 •案例系统已预先设置了高数值孔径物镜。 0(9gTxdB •接下来，我们演示如何按照VirtualLab中建议的工作流程在示例系统上执行仿真。 $G9E=wn k>8OxpaWv?
 +
65<|0 ,KF>@3f 光线追迹仿真 2 n2,MB ZCb@!V}= •首先选择“光线追迹系统分析器”作为模拟引擎。 zQt)>Qx_ •单击go！ 7}~nQl2 •获得了3D光线追迹结果。 mo= @Zt (!0_s48f
 3m2y<l< dS \n 2Qb 光线追迹仿真 kK
5~hpv dVGcth;
•然后，选择“光线追迹”作为模拟引擎。 l&"bm C:xr •单击go！ D+oV( Pw, •结果得到点图（二维光线追迹结果）。 e8egxm TaKHr$h
 uH 7rt : 0 Y.${h 场追迹仿真 K;s` /k^j'MMQs6 •切换到场追迹，然后选择“第二代场追迹”作为模拟引擎。 RU=g|TL •单击go！ EG8z&^O x ~ 7Nqw wx  */TO $ ^s
b}u#MU 场追迹仿真（相机探测器） -x J\/"A kI5LG6 •上图仅显示Ex和Ey场分量积分的强度。 <Nc9F['&# •下图显示Ex、Ey和Ez分量积分的强度：由于在高数值孔径情况下Ez分量相对较大，因此可见明显的不对称性。 `ZP[-: ` ]^{5 `
 KVViTpZ 4"{g{8 场追迹仿真（电磁场探测器） (4`Tf*5hHa •使用电磁场探测器可获得所有电磁场分量。 R iV]SgV 9 8
?:W{GAo  - ~lrv#5Q
_n4`mL8>kH 场追迹仿真（电磁场探测器） !ue h%V Ky
M$f_I + •使用电磁场探测器可获得所有电磁场分量。 I>-}ys`[ |BGzdBm^x:
 ]x3 )OjH ,pkzNe` F 文件信息 @ e7_&EGR? R\$6_
 HJ!)&xT I9U
8@e!X
dPgA~~ QQ：2987619807 2Y=Q %
|
