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    [分享]分析高数值孔径物镜的聚焦特性 [复制链接]

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    科学家
     
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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2021-06-23
    摘要 GbaEgA'fa  
    C;vtY[}<  
    高数值孔径的物镜广泛用于光刻、显微等方面。 因此，在仿真聚焦时考虑光的矢量性质是至关重要的。VirtualLab可以支持此类透镜的光线和场追迹分析。通过场追迹分析，可以清楚地显示出由于矢量效应引起的非对称焦点。相机探测器和电磁场探测器可以方便地研究聚焦区域的场，也可以深入研究矢量效应。 `FC(  
    RnDt)3  
    z'EajBB\f  
     ,YMp<C  
    建模任务 w4d--[Q  
    `{xNXH]@  
    Ck|8qUz-  
    概述 b 'pOJS  
    6efnxxY}sa  
    •案例系统已预先设置了高数值孔径物镜。 HF.^ysI  
    •接下来，我们演示如何按照VirtualLab中建议的工作流程在示例系统上执行仿真。 4tS.G  
    ]]wA[c~G  
     ;y2/-tL?  
    v*[.a#1^  
    光线追迹仿真 B[4KX  
    =Yt R`  
    •首先选择“光线追迹系统分析器”作为模拟引擎。 ]V#M%0:Q82  
    •单击go！ ksN+ ?E4w  
    •获得了3D光线追迹结果。 ^~A>8CQOU  
    4zo5}L `Y  
     Z KckAz\#  
    Aj4T"^fv  
    光线追迹仿真 [YcG(^^  
    4sT88lG4n  
    •然后，选择“光线追迹”作为模拟引擎。 w2'f/  
    •单击go！ 6 jn3`D  
    •结果得到点图（二维光线追迹结果）。 jWE :ek*  
    }dd8N5b  
     qDfd.gL  
    c. 2).Jt,  
    场追迹仿真 /x1![$oC0  
    7F{3*`/6  
    •切换到场追迹，然后选择“第二代场追迹”作为模拟引擎。 /Bm( `T  
    •单击go！ KW^7H  
    &E=>Hj(dTG  
    ]3 l9:|  
     >\Ww;1yV  
    场追迹仿真（相机探测器） k-{<=>uM  
    :FTMmW,>'  
    •上图仅显示Ex和Ey场分量积分的强度。 <U\B!fO'  
    •下图显示Ex、Ey和Ez分量积分的强度：由于在高数值孔径情况下Ez分量相对较大，因此可见明显的不对称性。 Oz%>/zw[h  
    ^i} L-QR  
     DS[#|  
    %Va!\#  
    场追迹仿真（电磁场探测器） 7w6cwHrL@  
    •使用电磁场探测器可获得所有电磁场分量。 F ;2w1S^  
    ~15N7=wCM  
    3skC$mpJHw  
     Ot6aRk  
    场追迹仿真（电磁场探测器） *5^Q7``  
     b7p@Dn?E  
    •使用电磁场探测器可获得所有电磁场分量。 DuHu\>f<S  
    j4R(B  
     :dQ B R  
    F6{bjv2A  
    文件信息 ^8AXxE  
    ?}U(3  
     io{@^1ab  
    EKsT~SS  
     @8pp EFw  
    QQ：2987619807 W)f/0QX}W  
     
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