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    [分享]分析高数值孔径物镜的聚焦特性 [复制链接]

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    科学家
     
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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2021-06-23
    摘要 1;v,rs M  
    A_e&#O  
    高数值孔径的物镜广泛用于光刻、显微等方面。 因此，在仿真聚焦时考虑光的矢量性质是至关重要的。VirtualLab可以支持此类透镜的光线和场追迹分析。通过场追迹分析，可以清楚地显示出由于矢量效应引起的非对称焦点。相机探测器和电磁场探测器可以方便地研究聚焦区域的场，也可以深入研究矢量效应。 c,CcKy;+  
    Bnp\G h  
    [KQ#b  
     +Y?) ?  
    建模任务 ^F)t>K$0m  
    _D 9/,n$  
    CdZ. T/x  
    概述 2Tp @;[!3  
    Nl]_Ie6  
    •案例系统已预先设置了高数值孔径物镜。 Qli#=0{`  
    •接下来，我们演示如何按照VirtualLab中建议的工作流程在示例系统上执行仿真。 jn +*G<NJ  
    *I:a \o~$[  
     n\ 'PNB  
    sU(<L0  
    光线追迹仿真 ARUzEo gcf  
    ,(i`gH{D  
    •首先选择“光线追迹系统分析器”作为模拟引擎。 +~K) ~  
    •单击go！ ,ZI#p6  
    •获得了3D光线追迹结果。 'yo-`nNFD  
    buldA5*!o  
     :F8h}\a*  
    '4Drs}j5  
    光线追迹仿真 oeYUsnsbi  
    qTrM*/m:]L  
    •然后，选择“光线追迹”作为模拟引擎。 M ~ ;]d  
    •单击go！ .[r1Qz7G  
    •结果得到点图（二维光线追迹结果）。 YEa<zhO8  
    Or#KF6+ut  
     o2D;EUsNX  
    g@'2 :'\  
    场追迹仿真 K=! C\T"I%  
    +~>cAWZq_  
    •切换到场追迹，然后选择“第二代场追迹”作为模拟引擎。 llN/  
    •单击go！ 7{tU'`P>  
    m\oxS;fxWi  
    -FF#+Z$  
     V%(T#_E/6  
    场追迹仿真（相机探测器） >Hu3Guik]  
    C#V_Gb  
    •上图仅显示Ex和Ey场分量积分的强度。 !K-qoBqKM  
    •下图显示Ex、Ey和Ez分量积分的强度：由于在高数值孔径情况下Ez分量相对较大，因此可见明显的不对称性。 2 g~W})e  
    2#   
     =Fc}T%  
    Q@"}v_r4  
    场追迹仿真（电磁场探测器） #_Zkke~{  
    •使用电磁场探测器可获得所有电磁场分量。 ]SAGh|+xl  
    ~Ede5Vg!!2  
    :IX,mDO  
     Y <`X$  
    场追迹仿真（电磁场探测器） x~i\*Ox^  
     ]UkqPtG;  
    •使用电磁场探测器可获得所有电磁场分量。 O=vD6@QI  
    D9  Mst6  
     bk0<i*ju7(  
    EERCb%M 8Z  
    文件信息 Ey.%: O-Dv  
    0 . UN  
     ]Q,&7D Ah  
    8`s*+.LI!  
     SQ*%d.1  
    QQ：2987619807 0nvT}[\H*  
     
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