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    [分享]分析高数值孔径物镜的聚焦特性 [复制链接]

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    离线infotek
    科学家
     
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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2021-06-23
    摘要 :6Ri% Nb  
    %\'=Y/yP  
    高数值孔径的物镜广泛用于光刻、显微等方面。 因此，在仿真聚焦时考虑光的矢量性质是至关重要的。VirtualLab可以支持此类透镜的光线和场追迹分析。通过场追迹分析，可以清楚地显示出由于矢量效应引起的非对称焦点。相机探测器和电磁场探测器可以方便地研究聚焦区域的场，也可以深入研究矢量效应。 }7.A~h  
    ne#dEUD  
    Q 3WD!Z8y  
     4$-R|@,|_  
    建模任务  A 3 V  
    k1Y\g'1  
    P1F-Wy1  
    概述 geQ!}zXWi  
    .; MS 78BR  
    •案例系统已预先设置了高数值孔径物镜。 yfl?\X{  
    •接下来，我们演示如何按照VirtualLab中建议的工作流程在示例系统上执行仿真。 ((M,6Q}  
    /?.?1-HM  
     5/.W-Q\pl}  
    \h ~_<)  
    光线追迹仿真 =, XCjiBeC  
    80nEQT y  
    •首先选择“光线追迹系统分析器”作为模拟引擎。 HLyA zB~r  
    •单击go！ (\:Rnl  
    •获得了3D光线追迹结果。 zs=3e~o3  
    O-, "/Z  
     -2.7Z`*(  
    XoN~d  
    光线追迹仿真 :zL)O  
    Y3 $jNuV  
    •然后，选择“光线追迹”作为模拟引擎。 QE]'Dc%  
    •单击go！ ]J Yz(m[   
    •结果得到点图（二维光线追迹结果）。 BlJiHz!  
    CCTU-Xz/  
     dGZie .Zx  
    V%-hP~nyBx  
    场追迹仿真 LL<xygd  
    ]B/> =t"E  
    •切换到场追迹，然后选择“第二代场追迹”作为模拟引擎。 0)&!$@HW  
    •单击go！ :qm\FsO  
    qT#e -.G  
    7}iv+rQ  
     eo+<@83  
    场追迹仿真（相机探测器） B.N#9u-vW  
    EL,k z8  
    •上图仅显示Ex和Ey场分量积分的强度。 Sz5t~U=G  
    •下图显示Ex、Ey和Ez分量积分的强度：由于在高数值孔径情况下Ez分量相对较大，因此可见明显的不对称性。 1EU4/6!C  
    TPp]UG  
     oN032o?S  
    '/O:@P5qY  
    场追迹仿真（电磁场探测器） Nh\vWAz9  
    •使用电磁场探测器可获得所有电磁场分量。 5FZw (E  
    HXq']+iC  
    |))NjM'ZBl  
     TpU\IQ  
    场追迹仿真（电磁场探测器） tpWGmj fo>  
     &nEL}GM)E  
    •使用电磁场探测器可获得所有电磁场分量。 aUw-P{zp%  
    eiK_JPFA-  
     53t_#Yte  
    NQ{(G8x9  
    文件信息 vF^d40gV  
    /A{ Zf'DI  
     #E]K*mE'  
    &%OY"Y~bI!  
     &y!?R$?b  
    QQ：2987619807 z0[@O)Sj  
     
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