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    [分享]分析高数值孔径物镜的聚焦特性 [复制链接]

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    离线infotek
    科学家
     
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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2021-06-23
    摘要 $Vv}XMxw  
    Ih[+K#t+E  
    高数值孔径的物镜广泛用于光刻、显微等方面。 因此，在仿真聚焦时考虑光的矢量性质是至关重要的。VirtualLab可以支持此类透镜的光线和场追迹分析。通过场追迹分析，可以清楚地显示出由于矢量效应引起的非对称焦点。相机探测器和电磁场探测器可以方便地研究聚焦区域的场，也可以深入研究矢量效应。 Y3ZK%OyPR  
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    T/P7F\R  
     Ab1/.~^  
    建模任务 @l UlY2  
    xDO7A5  
    k 2%S`/:  
    概述 v1.q$ f^(  
    0%;146.p  
    •案例系统已预先设置了高数值孔径物镜。 @)8]e S7  
    •接下来，我们演示如何按照VirtualLab中建议的工作流程在示例系统上执行仿真。 Y#01o&f0n  
    jec:i-,  
     i(6J>^I  
    hD<f3_k  
    光线追迹仿真 pD@zmCU  
    !1uzX Kb  
    •首先选择“光线追迹系统分析器”作为模拟引擎。 (a6?s{(  
    •单击go！ )-/gLZsx  
    •获得了3D光线追迹结果。 kYxS~Kd<  
    aP>37s  
     r5/R5Ga^  
    y^FOsr  
    光线追迹仿真 \`,xgC9K  
    (5uJZ!m  
    •然后，选择“光线追迹”作为模拟引擎。 *N/hc  
    •单击go！ qA/bg  
    •结果得到点图（二维光线追迹结果）。 ? 4)v`*  
    1ZKzumF  
     {sC=J hs-  
    / axTh  
    场追迹仿真 1=Ilej1  
    M>_= "atI  
    •切换到场追迹，然后选择“第二代场追迹”作为模拟引擎。 p#_[  
    •单击go！ I*1S/o_xI  
    ".2A9]_s  
    LI:T c7t  
     &(&  
    场追迹仿真（相机探测器） ;>2#@QP  
    ]X" / yAn  
    •上图仅显示Ex和Ey场分量积分的强度。 iY.eJlfH  
    •下图显示Ex、Ey和Ez分量积分的强度：由于在高数值孔径情况下Ez分量相对较大，因此可见明显的不对称性。 }BN\/;<A  
    _qTpy)+  
     @PcCiGZ  
    Qp!Y.YnPd_  
    场追迹仿真（电磁场探测器） Xi~9&ed#$i  
    •使用电磁场探测器可获得所有电磁场分量。 ~/`X*n&  
    4-:7.I(hq  
    Z|`fHO3j  
     M<qudi  
    场追迹仿真（电磁场探测器） ?TuI:dC  
     {~GR8 U  
    •使用电磁场探测器可获得所有电磁场分量。 Ob(leL>ow  
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    文件信息 |@`"F5@,  
    9p> /?H|  
     t]TyXAr~  
    @ u1Q-:  
     xYR#%!M  
    QQ：2987619807 ,ZK]i CGk  
     
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