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    [分享]分析高数值孔径物镜的聚焦特性 [复制链接]

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    离线infotek
    科学家
     
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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2021-06-23
    摘要 JU`5K}H<  
    {x\lK;  
    高数值孔径的物镜广泛用于光刻、显微等方面。 因此，在仿真聚焦时考虑光的矢量性质是至关重要的。VirtualLab可以支持此类透镜的光线和场追迹分析。通过场追迹分析，可以清楚地显示出由于矢量效应引起的非对称焦点。相机探测器和电磁场探测器可以方便地研究聚焦区域的场，也可以深入研究矢量效应。 "V3f"J?  
    ]m=2 $mK  
    -R BH5+SS2  
     ;56mkP  
    建模任务 5)=YTUCk  
    d+L!s7  
    ;8iK];^  
    概述 RA3!k&8?#  
    wqE+hKs,  
    •案例系统已预先设置了高数值孔径物镜。 =%ry-n G  
    •接下来，我们演示如何按照VirtualLab中建议的工作流程在示例系统上执行仿真。 "eH.<&  
    7\<}378/^  
     ~ \3j{pr  
    m[$pj~<\  
    光线追迹仿真 7blo<|9  
    1MYA/l$  
    •首先选择“光线追迹系统分析器”作为模拟引擎。 | HfN<4NL  
    •单击go！ aQ#6PO7.Z  
    •获得了3D光线追迹结果。 =67tQx58  
    +sm9H"_0  
     ;vp[J&=  
    Xo/0lT  
    光线追迹仿真 H+?@LPV*N  
    )mh,F# "L  
    •然后，选择“光线追迹”作为模拟引擎。 H^J waF  
    •单击go！ 0UN65JBuD  
    •结果得到点图（二维光线追迹结果）。 Br}0dha3E  
    17) `CM$<[  
     i7|sVz=  
    *$*V#,V-  
    场追迹仿真 /=+Bc=<lZ  
    CZ|h` ";P2  
    •切换到场追迹，然后选择“第二代场追迹”作为模拟引擎。 *<#$B}!{  
    •单击go！ +WfO2V.  
    4H@K?b`  
    P+(q38f[  
     $e/[!3CASP  
    场追迹仿真（相机探测器） bVW2Tjc:  
    pUm|e5  
    •上图仅显示Ex和Ey场分量积分的强度。 _d*QA{  
    •下图显示Ex、Ey和Ez分量积分的强度：由于在高数值孔径情况下Ez分量相对较大，因此可见明显的不对称性。 T@gm0igW/;  
    y%@C-:  
     k35E,?T  
    2/f!{lz](  
    场追迹仿真（电磁场探测器） Cw,;>>Y_b<  
    •使用电磁场探测器可获得所有电磁场分量。 |0s)aV|K  
    4u+4LB*  
    rpM jDjW  
     vfpK|=[7o  
    场追迹仿真（电磁场探测器） h:~ 8WV|  
     Mx_O'D  
    •使用电磁场探测器可获得所有电磁场分量。 ?8TIPz J  
    :Lh`Q"a  
     ZK$<"z6{  
    ]Z=O+7(r  
    文件信息 p8|u0/;k  
    =P7!6V\f  
     %Z!3[.%F  
    #8sv*8&  
     QNxY`  
    QQ：2987619807 m={TBV,L  
     
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