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    [分享]分析高数值孔径物镜的聚焦特性 [复制链接]

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    离线infotek
    科学家
     
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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2021-06-23
    摘要 ;.xKVH/@  
    fuCt9Kjo<  
    高数值孔径的物镜广泛用于光刻、显微等方面。 因此，在仿真聚焦时考虑光的矢量性质是至关重要的。VirtualLab可以支持此类透镜的光线和场追迹分析。通过场追迹分析，可以清楚地显示出由于矢量效应引起的非对称焦点。相机探测器和电磁场探测器可以方便地研究聚焦区域的场，也可以深入研究矢量效应。 sUR5Q/Q  
     Y%y  
    kef% 5B  
     }M"])B I  
    建模任务 2!CL8hG5:  
    K5^zu`19  
    `HYj:4v'  
    概述 :yi} CM4  
    [h&s<<# D  
    •案例系统已预先设置了高数值孔径物镜。 yt,Ky8y1  
    •接下来，我们演示如何按照VirtualLab中建议的工作流程在示例系统上执行仿真。 9&Y|,&W  
    V!yBH<X  
     qe e_wx  
    #)48dW!n  
    光线追迹仿真 #4"eQ*.*"  
    _(~ E8g  
    •首先选择“光线追迹系统分析器”作为模拟引擎。 X&rsWk  
    •单击go！ L\bc R  
    •获得了3D光线追迹结果。 vpdPW%B  
    #uC}IX2n  
     jA~omX2A  
    s`[V{1m,  
    光线追迹仿真 S5Pn6'w  
    KyP@ hhj  
    •然后，选择“光线追迹”作为模拟引擎。 (Nd)$Oq[4  
    •单击go！ fk1d iB  
    •结果得到点图（二维光线追迹结果）。 R3piI&u  
    EKN<KnU%  
     OR' e!{  
    `fJ;4$4  
    场追迹仿真 d|~'#:y@  
    k.)YFKi  
    •切换到场追迹，然后选择“第二代场追迹”作为模拟引擎。 Zn Rj}y  
    •单击go！ M _cm,|FF  
    Q.V@Sawe5  
     Yy`A0v  
     a~JZc<ze  
    场追迹仿真（相机探测器） | "M1+(k7  
    2lN0Sf@  
    •上图仅显示Ex和Ey场分量积分的强度。 Y-+Kf5_[  
    •下图显示Ex、Ey和Ez分量积分的强度：由于在高数值孔径情况下Ez分量相对较大，因此可见明显的不对称性。 R{aqn0M  
    IC$"\7 @  
     zA$ f$J7\^  
    Q4S:/"*v8  
    场追迹仿真（电磁场探测器） [{& OcEf  
    •使用电磁场探测器可获得所有电磁场分量。 M-+!z5 q~d  
    !Zc#E,  
    A5%Now;.cf  
     'r-B%D=  
    场追迹仿真（电磁场探测器） ,LLx&jS  
     H xc>?  
    •使用电磁场探测器可获得所有电磁场分量。 t)O]0) s  
    heb{i5el  
     %Br1b6 V  
    dV*9bDkM/  
    文件信息 q8R,#\T*  
    889^P`Q5  
     mr]~(]B?r  
    +I:/8,&-x  
     ~~p)_  
    QQ：2987619807 v!n|X7  
     
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