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    [分享]分析高数值孔径物镜的聚焦特性 [复制链接]

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    在线infotek
    科学家
     
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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2021-06-23
    摘要 )R1<N  
    &E5g3lf  
    高数值孔径的物镜广泛用于光刻、显微等方面。 因此，在仿真聚焦时考虑光的矢量性质是至关重要的。VirtualLab可以支持此类透镜的光线和场追迹分析。通过场追迹分析，可以清楚地显示出由于矢量效应引起的非对称焦点。相机探测器和电磁场探测器可以方便地研究聚焦区域的场，也可以深入研究矢量效应。 5vnrA'BhBU  
    <bEbweQrgm  
    ^v7gIC  
     RPL:-  
    建模任务 )oPBa  
    hf&9uHN%7m  
    ml }{|Yz  
    概述 Y9XEP7  
    1\I}2;  
    •案例系统已预先设置了高数值孔径物镜。 AFE~ v\Gz  
    •接下来，我们演示如何按照VirtualLab中建议的工作流程在示例系统上执行仿真。 LyFN.2qw  
    +A?U{q  
     WX3-\Y5E  
    tf`^v6m%]  
    光线追迹仿真 Z=vU}S>r|v  
    =]0&i]z[.  
    •首先选择“光线追迹系统分析器”作为模拟引擎。 !'*-$e  
    •单击go！ "oO%`:pb  
    •获得了3D光线追迹结果。 3AN/ H  
    WCixKYq  
     -m~#Bq  
    onxLyx|A  
    光线追迹仿真 XVZ   
    draN0v f  
    •然后，选择“光线追迹”作为模拟引擎。 a<bwzX|.  
    •单击go！ gp.^~p]x  
    •结果得到点图（二维光线追迹结果）。 ?^\|-Gr  
    &&>ekG 9@  
     5VU2[ \  
    WNrk}LFof  
    场追迹仿真 r3UUlR/Do  
    /f;~X"!  
    •切换到场追迹，然后选择“第二代场追迹”作为模拟引擎。 h2fNuu"  
    •单击go！ k\?Ii<m  
    Qq|57X)P*  
    O3kA;[f;  
     YT(AUS5n  
    场追迹仿真（相机探测器） j|#Bo:2km  
    8FY?!C  
    •上图仅显示Ex和Ey场分量积分的强度。 %n9aaoD  
    •下图显示Ex、Ey和Ez分量积分的强度：由于在高数值孔径情况下Ez分量相对较大，因此可见明显的不对称性。 c9h6C  
    iGB}Il)  
     l2Rb\4  
    z-)O9PV  
    场追迹仿真（电磁场探测器） l!u_"I8j5  
    •使用电磁场探测器可获得所有电磁场分量。 #S"nF@   
    B^^#D0<  
    [.wYdv35  
     c5GuM|*7  
    场追迹仿真（电磁场探测器） 5$C-9  
     \bw2u!  
    •使用电磁场探测器可获得所有电磁场分量。 R8'RA%O9J  
    -nV9:opD  
     P/_['7  
    *J`O"a  
    文件信息 r_A$DaC]  
    g`QEu 5v  
     Qzw;i8n{  
    qlPT Ll  
     Qt<&WB fn  
    QQ：2987619807 3(80:@|  
     
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