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1. 摘要 h;RKF\U:" 6d#:v"^, 白光干涉仪是一种非接触测量技术,用于如表面轮廓或微小位移的高精度测量。利用一个迈克尔逊干涉仪系统和一个氙灯光源在VirtualLab Fusion中仿真了一个白光干涉仪。建模中考虑光源中有限相干长度等光谱特性,结果表明只有当两臂的路径长度基本相同时才会出现干涉图样。 e"u89acp '>aj5tZ>R s4kkzTnXE3 0'nY 2. 建模任务 .G/2CVMj `ZLA=oD
w`a(285s)i w.0:#4 3. 干涉条纹的变化 YgCSzW&( _N2tf/C&=
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[Z 4. 走进VirtualLab Fusion TQiDbgFo |h{#r7H0
fd&=\~1_$ ADW> 5. VirtualLab Fusion 中的工作流程 lRr ={
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uNS ]n} qR>"r"Fq 6. VirtualLab Fusion 技术 ~L3]Wa. 15L0B5(3
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R>gqb 7. 文件信息 vb1Gz]~)> \}9GK`oR
q7-.-k<dQ ye^l~ mO~A}/je QQ:2987619807 25-5X3(>j=
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