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1. 摘要 i+< v7?:`# ~Cw7.NA{3 白光干涉仪是一种非接触测量技术,用于如表面轮廓或微小位移的高精度测量。利用一个迈克尔逊干涉仪系统和一个氙灯光源在VirtualLab Fusion中仿真了一个白光干涉仪。建模中考虑光源中有限相干长度等光谱特性,结果表明只有当两臂的路径长度基本相同时才会出现干涉图样。 in,0(I&I S')DAx |`Yn'Mj8rm yV(9@lj3; 2. 建模任务 !Fxn1Z, N;BuBm5K
m_Z(osoE#W % WXl* 3. 干涉条纹的变化 K`uPPyv X&5N89
9(}d7y O;McPw<&\: 4. 走进VirtualLab Fusion ,`!lZ|
U JC~4B3!
zSk`Ou8M "rEfhzmyF 5. VirtualLab Fusion 中的工作流程 /YU8L qwnVtD
J(maJuY c=bK_Z_ 6. VirtualLab Fusion 技术 2J$vX( +Zr~mwM=x
!wfUD2K1 7. 文件信息 V>Xg\9B_ =_g#I
V=5*)i/ #Dz"g_d tl7:L> QQ:2987619807 _h,_HW)G
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