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1. 摘要 <Q3oT q]\:P.x!> 白光干涉仪是一种非接触测量技术,用于如表面轮廓或微小位移的高精度测量。利用一个迈克尔逊干涉仪系统和一个氙灯光源在VirtualLab Fusion中仿真了一个白光干涉仪。建模中考虑光源中有限相干长度等光谱特性,结果表明只有当两臂的路径长度基本相同时才会出现干涉图样。 GD&uQ`Y5 AV:hBoO {}>0e:51 68NYIyTW9 2. 建模任务 (lXGmx8 V39g,=`b%
!-z'2B*:^ ZXu>,Jy 3. 干涉条纹的变化 [^R^8k )#EGTRdo
Bgn&:T8< &x=.$76 4. 走进VirtualLab Fusion v6[!o<@"a \<&m&%Zs
uX"H4lO~ )s)I2Z+ 5. VirtualLab Fusion 中的工作流程
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Bz_^~b7 OtY`@\hy 6. VirtualLab Fusion 技术 $CxKuB( }wWKFX
Z_PNI#h* 7. 文件信息 H;D>|q @:;)~V
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