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1. 摘要 Z# 7HuAF{] ` Bkba: 白光干涉仪是一种非接触测量技术,用于如表面轮廓或微小位移的高精度测量。利用一个迈克尔逊干涉仪系统和一个氙灯光源在VirtualLab Fusion中仿真了一个白光干涉仪。建模中考虑光源中有限相干长度等光谱特性,结果表明只有当两臂的路径长度基本相同时才会出现干涉图样。 nez5z:7F {D`F$=Dlw GbB&kE3KP G!0|ocE} 2. 建模任务 D=9x/ ) *G ELY$ ]^T
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/a- 3. 干涉条纹的变化 ~@itZ,d\ ^B1vvb
nqiy)ZN#R ~)oC+H@{ 4. 走进VirtualLab Fusion LoBKR
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jWP(7}U %[NefA( 5. VirtualLab Fusion 中的工作流程 V :d/;~ Ix1ec^?f
bs_I{bCu? VMHiuBz: 6. VirtualLab Fusion 技术 8&dmH& ]*):2%f
H~x0-q<8 7. 文件信息 s2w.V
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