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1. 摘要 :rX/ILAr J6*B=PX=( 白光干涉仪是一种非接触测量技术,用于如表面轮廓或微小位移的高精度测量。利用一个迈克尔逊干涉仪系统和一个氙灯光源在VirtualLab Fusion中仿真了一个白光干涉仪。建模中考虑光源中有限相干长度等光谱特性,结果表明只有当两臂的路径长度基本相同时才会出现干涉图样。 CJ
9tO#R ey3;rY1 }dSxrT sow/JLlbC 2. 建模任务 \`: LPe &m>txzo
H=k`7YN dL!K''24{ 3. 干涉条纹的变化 26\*x -"Q[n,"Y
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QI-gw 4. 走进VirtualLab Fusion !B\[Q$ )#n>))
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WU,v{I9 5. VirtualLab Fusion 中的工作流程 _ Oe|ZQ -!p-nk@9|
.1C|J :j m|) 6. VirtualLab Fusion 技术 kg_f;uk+ `[J(au$z
%1p4K) 7. 文件信息 ,Uv8[ci%9 yYvv;E
,.+"10=N. wOp# mT ]\:FFg_O6t QQ:2987619807 W<uL{k.Kpd
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