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1. 摘要 jTeHI|b G!G]*p5 白光干涉仪是一种非接触测量技术,用于如表面轮廓或微小位移的高精度测量。利用一个迈克尔逊干涉仪系统和一个氙灯光源在VirtualLab Fusion中仿真了一个白光干涉仪。建模中考虑光源中有限相干长度等光谱特性,结果表明只有当两臂的路径长度基本相同时才会出现干涉图样。 Y8 % bk2 51sn+h<w bjO?k54I m@,u&9K 2. 建模任务 wr) \GJ#> DN$[rCi7
H Q_IQ+ hw @)W 3. 干涉条纹的变化 d-rqZn} :{g;J
'{ $7Dbo #CV;Np 4. 走进VirtualLab Fusion D\4pLm"!v ~Y_5q)t(
]B2%\}c vWs#4JoG 5. VirtualLab Fusion 中的工作流程 Jyz*W!kI j*6>{_[
Qo5yfdR ZL7#44 6. VirtualLab Fusion 技术 _ ;!$1lM[ kgv29j?k;
)w_hbU_Pb& 7. 文件信息 p=d,kY KHTR oXt
o..iT:f;n d5YL=o 9< |nJt QQ:2987619807 yt4sg/]:
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