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1. 摘要 {TT@Mkz_QC -L e:%q2 白光干涉仪是一种非接触测量技术,用于如表面轮廓或微小位移的高精度测量。利用一个迈克尔逊干涉仪系统和一个氙灯光源在VirtualLab Fusion中仿真了一个白光干涉仪。建模中考虑光源中有限相干长度等光谱特性,结果表明只有当两臂的路径长度基本相同时才会出现干涉图样。 &atT7m =f'MiU!p6 #hL<9j ,Q|[Yr 2. 建模任务 ;#c|ZnX L B`=+FD MQ;c'?!5[! p&1IK8i" 3. 干涉条纹的变化 S%KY%hUt yNp l0 d i!
G^=N W\09hZ6 4. 走进VirtualLab Fusion I)$` @. *o]Q<S>lH }`k >6B gQy{OU 5. VirtualLab Fusion 中的工作流程 _Eq* ,arFR'u> }'HJV B_ Oi{X \Y 6. VirtualLab Fusion 技术 jxA`RSY =L_L/"*rel zt/p'khP3 7. 文件信息 (lv|-Phc. ?DP]#9 /4 #fg RF ow :}NI I"awvUP]a[ QQ:2987619807 I#(D.\P
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