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1. 摘要 DkQy. ;]vE"M x$ 白光干涉仪是一种非接触测量技术,用于如表面轮廓或微小位移的高精度测量。利用一个迈克尔逊干涉仪系统和一个氙灯光源在VirtualLab Fusion中仿真了一个白光干涉仪。建模中考虑光源中有限相干长度等光谱特性,结果表明只有当两臂的路径长度基本相同时才会出现干涉图样。 b~%(5r. CXvL`d" R9fM9 A2*z 2. 建模任务 3 LoB-4u? a&wl-
lN{-}f;TN C+*: lLY 3. 干涉条纹的变化 DoNbCVZ @<AyCaU`.
W[w8@OCNf ^e^M
A.kM, 4. 走进VirtualLab Fusion XQHvs{Po to]1QjW-
r5tv9#4] 6\/C]![% 5. VirtualLab Fusion 中的工作流程 >%'|@75K EcBSi995dj
yH@W6' . "P"~/<:) 6. VirtualLab Fusion 技术 <gQw4 N1+%[Uh9)
Da)9s %_4 7. 文件信息 2c_#q1/Z/ Ej8EQ%P
:a[L-lr`e 3dQV5E. qZG "{8 QQ:2987619807 ^szCf|SM
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