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1. 摘要 |DE%SVZB }!%JYG^!D 白光干涉仪是一种非接触测量技术,用于如表面轮廓或微小位移的高精度测量。利用一个迈克尔逊干涉仪系统和一个氙灯光源在VirtualLab Fusion中仿真了一个白光干涉仪。建模中考虑光源中有限相干长度等光谱特性,结果表明只有当两臂的路径长度基本相同时才会出现干涉图样。 V uG?B{ :reP} Da7q V#0
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[H} 2. 建模任务 fB~O
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eOm< !H Vi|7%!j< 3. 干涉条纹的变化 S]&8St wG1y,u'
M{?.hq ~x|aoozL 4. 走进VirtualLab Fusion u8YB)kG /!3ZW XY\
keLR1qf SY-ez91 5. VirtualLab Fusion 中的工作流程 FR
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&{%MjKJ._ "h=6Q+Ze 6. VirtualLab Fusion 技术 7J9l.cM3 RU2c*q$^X
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%2M 7. 文件信息 9!9>
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"8 N"Udu ?Jt$a; `SV"ElRV QQ:2987619807 N&T:Lt_N
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