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1. 摘要 Ig}hap]G cB){b'WJ 白光干涉仪是一种非接触测量技术,用于如表面轮廓或微小位移的高精度测量。利用一个迈克尔逊干涉仪系统和一个氙灯光源在VirtualLab Fusion中仿真了一个白光干涉仪。建模中考虑光源中有限相干长度等光谱特性,结果表明只有当两臂的路径长度基本相同时才会出现干涉图样。 Lv['/!DJ| 5>.ATfAsV eN.6l2- N=C t3 2. 建模任务 ) hs&?:) !DFTg4xb
slPr^) npltsK): 3. 干涉条纹的变化 @i!+Z U1y!R<qlp
J FnE{ s 0Uid&qE 4. 走进VirtualLab Fusion dxAGO( 7;q0'_G
!~9ASpqvPy 5@%Gq)z5 5. VirtualLab Fusion 中的工作流程 F\xIVY 1[O cZCS
#1E4
R}B 'RKpMdoz 6. VirtualLab Fusion 技术 3-hcKE >;,23X
/ ^d9At614 7. 文件信息 J{dO0!7y ]sb?lAxh{
0SYJ*7lPX
Yq00<kIDJ 1?H;
c5?d& QQ:2987619807 rtz-kQ38R
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