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1. 摘要 C^9bur/ #2Z\K>L 白光干涉仪是一种非接触测量技术,用于如表面轮廓或微小位移的高精度测量。利用一个迈克尔逊干涉仪系统和一个氙灯光源在VirtualLab Fusion中仿真了一个白光干涉仪。建模中考虑光源中有限相干长度等光谱特性,结果表明只有当两臂的路径长度基本相同时才会出现干涉图样。 &BkdC,o iNEE2BPp 8BggK6X [|dQZ 2. 建模任务 XFrgnnt $v~I n
{GKq Ou &?#!%Ds 3. 干涉条纹的变化 t.6gyrV7>< @>Ul0&Mf?
p WLFJH}N 8L,i}hIo. 4. 走进VirtualLab Fusion Y]9C 8c) <"}WpT
JB(P-Y#yyA Vv~:^6il 5. VirtualLab Fusion 中的工作流程 Q??nw^8Hi VQ'DNv| 9
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Q jjU("b= 6. VirtualLab Fusion 技术 $+Zj)V( *pKj6x
UWW_[dJr 7. 文件信息 Ilv
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V;>u() ma7@vD D$/*Z5Z)] QQ:2987619807 @Yy']!Ju
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