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1. 摘要 KjC[q 50COL66:7 白光干涉仪是一种非接触测量技术,用于如表面轮廓或微小位移的高精度测量。利用一个迈克尔逊干涉仪系统和一个氙灯光源在VirtualLab Fusion中仿真了一个白光干涉仪。建模中考虑光源中有限相干长度等光谱特性,结果表明只有当两臂的路径长度基本相同时才会出现干涉图样。 7WXiG0 R&gWqt/ Nz}|%.GP" DhHtz.6 2. 建模任务 FXcc1X/ `Y0fst<,
zI(xSX@ $tEdBnf^ca 3. 干涉条纹的变化 coW)_~U| BEFe~* ~
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n 4 4. 走进VirtualLab Fusion suzFcLxo k>7gy?Y!K<
KsZ@kTs E*Pz < 5. VirtualLab Fusion 中的工作流程 :P HUsy B >ms`|q=l
cb\jrbj6 _3s~!2 6. VirtualLab Fusion 技术 [c,|Lw4 'm
+8L(pMI4 7. 文件信息 6 Xzk;p b #o}=m
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