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1. 摘要 y[:
~CL ifXW 白光干涉仪是一种非接触测量技术,用于如表面轮廓或微小位移的高精度测量。利用一个迈克尔逊干涉仪系统和一个氙灯光源在VirtualLab Fusion中仿真了一个白光干涉仪。建模中考虑光源中有限相干长度等光谱特性,结果表明只有当两臂的路径长度基本相同时才会出现干涉图样。 96(R'^kNX x(L(l=^" r55qmPhg '
|&>/dyq 2. 建模任务 F%xK"l`& D`6iDit
sX+`wc ;{|X,;s 3. 干涉条纹的变化 Zy^=fM 7;&(}
H2_/,n Q,{^S,s< 4. 走进VirtualLab Fusion $}t=RW QE|`&~sme
!c% tAF]2VV(e 5. VirtualLab Fusion 中的工作流程 m#tpbFAsc A (Bk@;
3KSpB;HX JIzY,%`\ 6. VirtualLab Fusion 技术 6?N4l ]l z~,mRgc$B
ZWO)tVw9G 7. 文件信息 U4BqO
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-."kq.m* zDD4m`2 QQ:2987619807 $B\ H
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