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1. 摘要 @G'&7-(h* &k53*Wo 白光干涉仪是一种非接触测量技术,用于如表面轮廓或微小位移的高精度测量。利用一个迈克尔逊干涉仪系统和一个氙灯光源在VirtualLab Fusion中仿真了一个白光干涉仪。建模中考虑光源中有限相干长度等光谱特性,结果表明只有当两臂的路径长度基本相同时才会出现干涉图样。 9d kuvk}: }Br=eaY J:D{5sE<| \G4L+Q/13 2. 建模任务 JJC YM @~p;.=1]F
'0b!lVe Sjb[v 3. 干涉条纹的变化 fl@=h[g#t 9!XXuMWU<
Y9<N#h# 1Jm'9iy3 4. 走进VirtualLab Fusion ;D8175px; O~P1d&:L
LI~ofCp 3[{RH*nHD 5. VirtualLab Fusion 中的工作流程 WNnB
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EN2H[i+, e};\"^HH 6. VirtualLab Fusion 技术 Ty&Ok* #3~hF)u&/
{u}d`%_.M 7. 文件信息 ;9Sb/ `/"*_AKAI
Uf,fd kO3N.t@n (J6>]MZ#) QQ:2987619807 e0Jz|?d=
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