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1. 摘要 PX_9i@ZG BTj1C 白光干涉仪是一种非接触测量技术,用于如表面轮廓或微小位移的高精度测量。利用一个迈克尔逊干涉仪系统和一个氙灯光源在VirtualLab Fusion中仿真了一个白光干涉仪。建模中考虑光源中有限相干长度等光谱特性,结果表明只有当两臂的路径长度基本相同时才会出现干涉图样。 ?lgE9I] 1 oKY7i$ x9\{a x=a#|]ngG 2. 建模任务 COm^ti-p PPrvVGP
RA!m,"RM I4w``""c 3. 干涉条纹的变化 lul Iurz?dt4w
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?kbHm Fw( 4. 走进VirtualLab Fusion 9[*P`*& bA Yp }
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95 7Dl^5q.| 5. VirtualLab Fusion 中的工作流程 % rnRy<9 R\n@q_!`X
*P7n YjG N4-Y0BO 6. VirtualLab Fusion 技术 {yT<22Fl @ YWuWF
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s 2ec 7. 文件信息 []N&,2O K iXD1Zpz
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\3]{PZ XPq`;<G QQ:2987619807 \8a014
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