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1. 摘要 vI?, 47Hj+ y}
'@R$ 白光干涉仪是一种非接触测量技术,用于如表面轮廓或微小位移的高精度测量。利用一个迈克尔逊干涉仪系统和一个氙灯光源在VirtualLab Fusion中仿真了一个白光干涉仪。建模中考虑光源中有限相干长度等光谱特性,结果表明只有当两臂的路径长度基本相同时才会出现干涉图样。 3%6?g* eE Kf|I :3PH8TL 0J|3kY-n> 2. 建模任务 6Zo}(^Ovz _aphkeqd
~Ei<Z`3}7" 5G#n"}T 3. 干涉条纹的变化 RCrCs =M1I>
#Z #-Ht #mT"gs 4. 走进VirtualLab Fusion A,]h),b hPh-+Hb
"Q<MS'a PnTu 5. VirtualLab Fusion 中的工作流程 =I<R! ZSN SM'|+ d
t1".0 NbobliC= 6. VirtualLab Fusion 技术 v19-./H^
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(Z*!#}z` 7. 文件信息 #E?4E1bnB H}!r|nG
h8P)%p `uFdwO'DD pmM9,6P4@ QQ:2987619807 Dv"9qk
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