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1. 摘要 &ZO0r ^ cAw/I@jG 白光干涉仪是一种非接触测量技术,用于如表面轮廓或微小位移的高精度测量。利用一个迈克尔逊干涉仪系统和一个氙灯光源在VirtualLab Fusion中仿真了一个白光干涉仪。建模中考虑光源中有限相干长度等光谱特性,结果表明只有当两臂的路径长度基本相同时才会出现干涉图样。 pa+hL,w{6 2?C)& E.h*g8bXe F ,kZU$ 2. 建模任务 ).O)p9 ~N4m1s" &]Tmxh( tQVVhXQ7 3. 干涉条纹的变化 5P bW[ 4g/dP^ ?,/ }`3Vw '/p4O2b, 4. 走进VirtualLab Fusion Wwo0%<2y u8^lB7!e/ T{"(\X$ A/(a`"mK|' 5. VirtualLab Fusion 中的工作流程 k6^Z~5
Sy Z+SRXKQ :RYTL'hes ZSw.U:ep$s 6. VirtualLab Fusion 技术 0RfZEG) crCJrN= Ri'n 7. 文件信息 )7@0[> "@kaHIf[ `cO:<^% gw(z1L5
n %O<BfIZ QQ:2987619807 b>k y
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