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1. 摘要 M!'d `Y:]&w 白光干涉仪是一种非接触测量技术,用于如表面轮廓或微小位移的高精度测量。利用一个迈克尔逊干涉仪系统和一个氙灯光源在VirtualLab Fusion中仿真了一个白光干涉仪。建模中考虑光源中有限相干长度等光谱特性,结果表明只有当两臂的路径长度基本相同时才会出现干涉图样。 -}%J3j|R: 7.<jdp 8{jXSCP# ;&&<zWq3h 2. 建模任务 %`C*8fc& UE'=9{o`
xT"V9t[f RG{T\9]n 3. 干涉条纹的变化 `f; w (U.Go/A#wE
KkZx6A)$u qUd7O](b=? 4. 走进VirtualLab Fusion kw$7G1Q gS~H1Ro
&`I(QY =\< 7+nv 5. VirtualLab Fusion 中的工作流程 k`m7j[A]l %3a-@!|1<
mcV<)UA} 9,'m,2%W 6. VirtualLab Fusion 技术 pq{`WgA^ t,7%|
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K5qCPt`' 7. 文件信息 Vx $;wU Y tLy:F*1i
WiytHuUF n{;Q"\*Sg RE;A0E_3 QQ:2987619807 @GN2v,WA?
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