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1. 摘要 P{QHG 3 L{r 4hL [
白光干涉仪是一种非接触测量技术,用于如表面轮廓或微小位移的高精度测量。利用一个迈克尔逊干涉仪系统和一个氙灯光源在VirtualLab Fusion中仿真了一个白光干涉仪。建模中考虑光源中有限相干长度等光谱特性,结果表明只有当两臂的路径长度基本相同时才会出现干涉图样。 Dyo^O=0c |`o1B;lc s>\^dtG7 -z-yk~F 2. 建模任务 K*,,j\Q. KDGrX[L:6
?ILjt? X8 3pW4Ul@e 3. 干涉条纹的变化 1(>2tEjYT |=,jom
kF,ME5% H7Z`a QC 4. 走进VirtualLab Fusion
qbS6#7D {=Jo!t;f
HRM-r~2:-] C$C>RYE?. 5. VirtualLab Fusion 中的工作流程 :X-S&SX0 iOb7g@=
:WQlpLn J#i7'9g 6. VirtualLab Fusion 技术 ln8NcAEx ,!%E\`
W1)<!nwA 7. 文件信息 6H U*, TKGaGMx6@
]'Ho)Q 3)?WSOsL: z^&$6c_ QQ:2987619807 8{i}^.p
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