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1. 摘要 !,PG!Gnl vWcU+GBZI 白光干涉仪是一种非接触测量技术,用于如表面轮廓或微小位移的高精度测量。利用一个迈克尔逊干涉仪系统和一个氙灯光源在VirtualLab Fusion中仿真了一个白光干涉仪。建模中考虑光源中有限相干长度等光谱特性,结果表明只有当两臂的路径长度基本相同时才会出现干涉图样。 -Yy,L%E]F: j}'spKxu jX!,xS%( Q\Fgc ;.U 2. 建模任务 &hEtVkK %<DXM`Y
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pqbI Z ~%B^`s 3. 干涉条纹的变化 E=3<F_3W A$Mmnu%
Tz]t.]!&E _K3?0<=4 4. 走进VirtualLab Fusion t0d1??G Oj6 -
@S yGj# 0p:FAvvNI 5. VirtualLab Fusion 中的工作流程 /Zap'S/ <V#9a83JP
VChNDHiH iVLfAN @ 6. VirtualLab Fusion 技术 MJd!J]E6 YN#i^(
eYMp@Cx 7. 文件信息 T$)&8"Xya |TatRB3>
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