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1. 摘要 A9JdU&
jSA jcLR 白光干涉仪是一种非接触测量技术,用于如表面轮廓或微小位移的高精度测量。利用一个迈克尔逊干涉仪系统和一个氙灯光源在VirtualLab Fusion中仿真了一个白光干涉仪。建模中考虑光源中有限相干长度等光谱特性,结果表明只有当两臂的路径长度基本相同时才会出现干涉图样。 :c[L3rJl aATA9V o lxByzTh> Yrn)VV[)h 2. 建模任务 N !|wo: Yuc> fFA
J")#I91 4H-'Dr=G 3. 干涉条纹的变化 X|8c>_} ##o#eZq:"
FE{FGMq S+2(f> Z 4. 走进VirtualLab Fusion 7!$^r$t @]#1(9P
t_suF$ e!r-+.i( 5. VirtualLab Fusion 中的工作流程 @<Yy{~L| ,u
g@f-T
6(e>P) PY0j9$i? 6. VirtualLab Fusion 技术 ~WN:DXn S[T8T|_
TW>WHCAm 7. 文件信息 Y5d \d\e/ Ib0ZjX6
=kqt kM@zyDn, k: ;WtBC6j QQ:2987619807 RAK-UN
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