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1. 摘要 p#)e:/Qy 6s'[{Ov 白光干涉仪是一种非接触测量技术,用于如表面轮廓或微小位移的高精度测量。利用一个迈克尔逊干涉仪系统和一个氙灯光源在VirtualLab Fusion中仿真了一个白光干涉仪。建模中考虑光源中有限相干长度等光谱特性,结果表明只有当两臂的路径长度基本相同时才会出现干涉图样。 R j-jAH x 96}#0' fH&zR#T7U4 2ed@HJu 2. 建模任务 |n)<4%i8J #sL/y
#uB[&GG}W #&k8TY 3. 干涉条纹的变化 {K+.A 9! FWIih5 3`
P?xA$_+ AYt*'Zeg!s 4. 走进VirtualLab Fusion O(odNQy~ " l.!Ed
/GyEV Cc av)?>J~; 5. VirtualLab Fusion 中的工作流程 )4PB<[u _<XgC\4O|
y!F:m=x< 3zbXAR* 6. VirtualLab Fusion 技术 TWtC-wI; bZu$0IG
-7&?@M,u 7. 文件信息 h:_NA Mg+4huT
1PmX."a ;>5, lelMt= QQ:2987619807 c+H)ed>
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