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1. 摘要 S,Z~-j skm~~JM^ 白光干涉仪是一种非接触测量技术,用于如表面轮廓或微小位移的高精度测量。利用一个迈克尔逊干涉仪系统和一个氙灯光源在VirtualLab Fusion中仿真了一个白光干涉仪。建模中考虑光源中有限相干长度等光谱特性,结果表明只有当两臂的路径长度基本相同时才会出现干涉图样。 .C\2f+(U GaCRo7 s\zY^(v4 h2-v.Tjf 2. 建模任务 9a2[_Wy ds9U9t
7@&mGUALO G|oO 3. 干涉条纹的变化 ;`O9YbP# Ze!/b|`xI
(%c&Km7K =8vNOvA 4. 走进VirtualLab Fusion v2IcDz`}7 w@"Zjbs`
NCdDG |:.s6a# ( 5. VirtualLab Fusion 中的工作流程 9u)p9)^-.v fH@cC`
TMGYNb%<bX /mA\)TL|] 6. VirtualLab Fusion 技术 .i {yW `_f&T}]
GEvx<: 7. 文件信息 $Zr \$z2 4{Q$^wD+.
2D(sA Q;N)$Xx r$v\ \^?2 QQ:2987619807 ScjeAC)
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