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1. 摘要 @ate49W u=@h`5-fp 白光干涉仪是一种非接触测量技术,用于如表面轮廓或微小位移的高精度测量。利用一个迈克尔逊干涉仪系统和一个氙灯光源在VirtualLab Fusion中仿真了一个白光干涉仪。建模中考虑光源中有限相干长度等光谱特性,结果表明只有当两臂的路径长度基本相同时才会出现干涉图样。 h/ LR+XX! :]B%
>*;} r^w\9a_ $[M}K 2. 建模任务 (30<oE{ )Lc<;=w'9
#*yM2H"7,; ,J~,ga~ 3. 干涉条纹的变化 * ?
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93Mdp9v+i , @%C8Z 4. 走进VirtualLab Fusion QL)>/%yU v>#Cg\
v!<PDw2' Qq'i*Mh 5. VirtualLab Fusion 中的工作流程 jIAW-hc] >AR Tr'B
do:QH.q8) T&9`?QD 6. VirtualLab Fusion 技术 ps"/}u l !lR0w|
8_xnWMOe 7. 文件信息 //\ds71h cT/3yf
OJMvn'y K#GXpj _:wZmZU} QQ:2987619807 3C277nx
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