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1. 摘要
f7s.\ 6dUP's_ 白光干涉仪是一种非接触测量技术,用于如表面轮廓或微小位移的高精度测量。利用一个迈克尔逊干涉仪系统和一个氙灯光源在VirtualLab Fusion中仿真了一个白光干涉仪。建模中考虑光源中有限相干长度等光谱特性,结果表明只有当两臂的路径长度基本相同时才会出现干涉图样。 O7sn>uO nLg7A3[1v +h/$_5 =$Z'F<|d 2. 建模任务 }2@$2YR[ HPQ ,tlp6j
_p.{|7 RFdN13sJv 3. 干涉条纹的变化 zU%aobZ y=Hl ~ev`9
z4goa2@Z !l|Qyk[ 4. 走进VirtualLab Fusion .8m)^ET I"1\R8
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s7?kU3y=s S}E@*t2h 5. VirtualLab Fusion 中的工作流程 : Ej IV]e hbK+\X
r%m2$vx# ;ORy&H aKl 6. VirtualLab Fusion 技术 K&*FI (a QI-3mqL
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O^h)hrR 7. 文件信息 ".u?-xcbJ r/e&}!
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