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1. 摘要 bBx.snBK }iGpuoXT` 白光干涉仪是一种非接触测量技术,用于如表面轮廓或微小位移的高精度测量。利用一个迈克尔逊干涉仪系统和一个氙灯光源在VirtualLab Fusion中仿真了一个白光干涉仪。建模中考虑光源中有限相干长度等光谱特性,结果表明只有当两臂的路径长度基本相同时才会出现干涉图样。 mM`zA%= @ P:b\WCI l>(w] D.7,xgH 2. 建模任务 {?2jvv K&L9Ue
(tZ#EL0 \R!.VL3Tx$ 3. 干涉条纹的变化 Qu 7#^%= v?AQ& |