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1. 摘要 OM86C _D '(R 白光干涉仪是一种非接触测量技术,用于如表面轮廓或微小位移的高精度测量。利用一个迈克尔逊干涉仪系统和一个氙灯光源在VirtualLab Fusion中仿真了一个白光干涉仪。建模中考虑光源中有限相干长度等光谱特性,结果表明只有当两臂的路径长度基本相同时才会出现干涉图样。 T[oC='I+O bZqTT~'T AZj&;!} BEdCA]T 2. 建模任务 Pvxb6\G&d =rjU=3!&(
#N|\7(#~u m'o dVZ7 3. 干涉条纹的变化 yW_yHSx; WtT;y|W
"Ep"$d ~Amq1KU*Z 4. 走进VirtualLab Fusion 8&<mg;H, afm\Iv[*
j*{0<hZb} PL/g| ; 5. VirtualLab Fusion 中的工作流程 PX:#+bq1 djd/QAfSC
9vI~vl l #Hw|P 6. VirtualLab Fusion 技术 d0El2Ct8 &K ~k'P~m
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