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1. 摘要 Bp^>R`, R.A}tV=j# 白光干涉仪是一种非接触测量技术,用于如表面轮廓或微小位移的高精度测量。利用一个迈克尔逊干涉仪系统和一个氙灯光源在VirtualLab Fusion中仿真了一个白光干涉仪。建模中考虑光源中有限相干长度等光谱特性,结果表明只有当两臂的路径长度基本相同时才会出现干涉图样。 9^0 'VRG j='Ne5X1 w|Zq5|[ wX#\\Jgi 2. 建模任务 WSDNTfpI F
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\'E _ Iay7Fkv 3. 干涉条纹的变化 "R*B~73 P_-zkw
}C"#b\A2 2yq.<Wz< 4. 走进VirtualLab Fusion >z^T~@m7l 'U1r}.+b>
wk9tJ#} A*E4hop[ 5. VirtualLab Fusion 中的工作流程 mqsf#'ri apY m,_
F,:F9r?l,H G>:l(PW: 6. VirtualLab Fusion 技术 2"__jp:( +nJ}+|@K
oR-_=U^ 7. 文件信息 <5$= Ta ~Dy0HVE
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