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1. 摘要 6\NvG,8 /K7Bae5h 白光干涉仪是一种非接触测量技术,用于如表面轮廓或微小位移的高精度测量。利用一个迈克尔逊干涉仪系统和一个氙灯光源在VirtualLab Fusion中仿真了一个白光干涉仪。建模中考虑光源中有限相干长度等光谱特性,结果表明只有当两臂的路径长度基本相同时才会出现干涉图样。 .>}BNy &x`&03X Zr=ib ~i%-WX 2. 建模任务 |2O')3p"9 j(j#0dXLh
C>^,*7dS 0; 7#ji
3. 干涉条纹的变化 w&%9IJ TN5>" ??"
B`i$Wt<7 u t$c)_ 4. 走进VirtualLab Fusion a0PE^U h\(B#SN
'xIyGDe 0Z"s_r}h 5. VirtualLab Fusion 中的工作流程 bl=ku<}@ vv+km +
/jM_mrpz _BbvhWN&+ 6. VirtualLab Fusion 技术 tAERbiH
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{/ 7. 文件信息 \^jjK,OK Goxl3LS<
@Gt`Ds9= *Ddi(` hUh+JW QQ:2987619807 p}uncIod
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