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1. 摘要 =}S*]Me5 neQ2k=ao 白光干涉仪是一种非接触测量技术,用于如表面轮廓或微小位移的高精度测量。利用一个迈克尔逊干涉仪系统和一个氙灯光源在VirtualLab Fusion中仿真了一个白光干涉仪。建模中考虑光源中有限相干长度等光谱特性,结果表明只有当两臂的路径长度基本相同时才会出现干涉图样。 z7+y{-{Z N2yxli #JAU5d NB]T~_?]* 2. 建模任务 v:s.V>{"S m?;aTSa
\tc`Aj%K nQ\ +Za== 3. 干涉条纹的变化 fMjn8. h.Cr;w,2R
@kR/=EfS O=os ,'" 4. 走进VirtualLab Fusion Jhbkp?Zli ayfZ>x{s*
'L#qR)t {p-b,J9~a 5. VirtualLab Fusion 中的工作流程 ajy.K'B* uMm/$#E
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N` o[AQS` 6. VirtualLab Fusion 技术 E.v~<[g &wj;: f
OZ?4"1$.t 7. 文件信息 J-g#zs c1j)
A(y^1Nm y}jX/Ln t0Q/vp*/ QQ:2987619807 zGFo-C
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