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1. 摘要 /r::68_KQP E.zYi7YUKK 白光干涉仪是一种非接触测量技术,用于如表面轮廓或微小位移的高精度测量。利用一个迈克尔逊干涉仪系统和一个氙灯光源在VirtualLab Fusion中仿真了一个白光干涉仪。建模中考虑光源中有限相干长度等光谱特性,结果表明只有当两臂的路径长度基本相同时才会出现干涉图样。 &V ^ ;L\!g%a xr7-[)3Q$ sp=7Kh?|> 2. 建模任务 |g: '')>[ :JTRRv mlsvP%[f. x`j$9XN5 3. 干涉条纹的变化 ;Wfv+]n9 rS,*s'G @@&@}IQcR1 vMW-gk 4. 走进VirtualLab Fusion z$8e6* }R(0[0NQe- ^=-*L
3f >ji}j~cH 5. VirtualLab Fusion 中的工作流程 |2+F I<v4 )+Y\NO?O n41\y:CAo K\Y6
cj 6. VirtualLab Fusion 技术 w'5dk3$" K_<lO,[S $fj"* 7. 文件信息 zn?a|kt wFoR,oXtL/ 7y)|^4X2 @Z=y'yc'y. /%}YuN QQ:2987619807 /FNj|7s
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