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1. 摘要 F,K))325 <y7Hy&&y- 白光干涉仪是一种非接触测量技术,用于如表面轮廓或微小位移的高精度测量。利用一个迈克尔逊干涉仪系统和一个氙灯光源在VirtualLab Fusion中仿真了一个白光干涉仪。建模中考虑光源中有限相干长度等光谱特性,结果表明只有当两臂的路径长度基本相同时才会出现干涉图样。 TT#V'r\ W+4Bx=Mj Are0Nj&? n!Y}D:6c6 2. 建模任务 l0ZK) `fG<iBD
+br'
2Pn cbzS7q<) 3. 干涉条纹的变化 8$IUit h ;'[?H0Jw'
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4. 走进VirtualLab Fusion ~xws5n}F &arJe!K
=`CK`x $j@P8<M7 5. VirtualLab Fusion 中的工作流程 o,0
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G$CSZrP. e~R_ bBQ0 6. VirtualLab Fusion 技术 j|p=JrCJ ?hURNlR_Q
2$o\`^dy 7. 文件信息 f3.oc9G
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K05T`+N, Li 9$N"2 iHQ$L# 7 QQ:2987619807 ol
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