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1. 摘要 =V- ^ ]Kutuf$t 白光干涉仪是一种非接触测量技术,用于如表面轮廓或微小位移的高精度测量。利用一个迈克尔逊干涉仪系统和一个氙灯光源在VirtualLab Fusion中仿真了一个白光干涉仪。建模中考虑光源中有限相干长度等光谱特性,结果表明只有当两臂的路径长度基本相同时才会出现干涉图样。 |L@&plyB- <}G*/ z?/ m~[4eH, /E/Z0<l7 2. 建模任务 UP18?uM rjFIK`_w
n#2tFuPE _M;n.?H
3. 干涉条纹的变化 EpX.{B@B_[ w)#Lu/
;i)NP X 5Iql%~_x 4. 走进VirtualLab Fusion gQ< >S |6cz r
;qA(!`h+ E%[2NsOM] 5. VirtualLab Fusion 中的工作流程 3Kx&+ [tKH'}/s=
6aw1 sew0n`d1 6. VirtualLab Fusion 技术 w$XqxI/& Jv,*rQH
o9<)rUy 7. 文件信息 ` XvuyH
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=t/"&[r LpQ=Y]{j 6njwrqo QQ:2987619807 sjZ@}Vk3b
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