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1. 摘要 ~2, wI<Nz )_x8?:lv 白光干涉仪是一种非接触测量技术,用于如表面轮廓或微小位移的高精度测量。利用一个迈克尔逊干涉仪系统和一个氙灯光源在VirtualLab Fusion中仿真了一个白光干涉仪。建模中考虑光源中有限相干长度等光谱特性,结果表明只有当两臂的路径长度基本相同时才会出现干涉图样。 d\1:1ucV [T$$od[. dpc=yXg>"c ?z4uze1 2. 建模任务 a$+e8> K'{ wncumQ
iTKG,$G S`'uUvAA 3. 干涉条纹的变化 ,M+h9_&0? EmBfiuX
Oy?iAQ+ :5q*46n 4. 走进VirtualLab Fusion Z3u""oM/ Og%zf1)aZM
D@YM}HXuj V,"AG 5. VirtualLab Fusion 中的工作流程 0SGczgg c'wU O3S
U_zpLpm^ c,[qjr#\> 6. VirtualLab Fusion 技术 ['9OGV\ )Or:wFSMq
<R]Wy}2- 7. 文件信息 >Y*iy se*pkgWbz
Wpg?%+Y sN[@mAoH &caO*R<#J} QQ:2987619807 N#xM_Mpt
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