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1. 摘要 2r =8&~9z >EVY, 白光干涉仪是一种非接触测量技术,用于如表面轮廓或微小位移的高精度测量。利用一个迈克尔逊干涉仪系统和一个氙灯光源在VirtualLab Fusion中仿真了一个白光干涉仪。建模中考虑光源中有限相干长度等光谱特性,结果表明只有当两臂的路径长度基本相同时才会出现干涉图样。 B&bQvdp h'wI r+yl{ [v,Y-}wQ) 2. 建模任务 ::&hfHR*P h)~i?bq!/
?Dr_WFNjO `~+1i5-} 3. 干涉条纹的变化 WxgA{q7: UA%tI2
R9-Ps qmF 40M/Gu: 4. 走进VirtualLab Fusion mO?yrM * 5N5Deb#V
IXz)xdP 8-"lK7 5. VirtualLab Fusion 中的工作流程 [VL+X^ r ?e''r
i& phko} dyyGt}}5f 6. VirtualLab Fusion 技术 Jh6 z5xUV }Q<cE$c
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mWZ'" 7. 文件信息 :wcv,YoSG T`Jj$Lue{
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