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1. 摘要 Uh][@35 p ij? 白光干涉仪是一种非接触测量技术,用于如表面轮廓或微小位移的高精度测量。利用一个迈克尔逊干涉仪系统和一个氙灯光源在VirtualLab Fusion中仿真了一个白光干涉仪。建模中考虑光源中有限相干长度等光谱特性,结果表明只有当两臂的路径长度基本相同时才会出现干涉图样。 #lkM=lY' QcgfBsv96 !E T~KL!
8stwg' 2. 建模任务 YX`7Hm, e@IA20
/Ml.}7& _U/!4A 3. 干涉条纹的变化 *6} N =Z :rg5Kt&
*V+j%^91} Dq)j:f#QM 4. 走进VirtualLab Fusion 7^g&)P &B|D;|7H
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(!;U e#E2>Bj; 5. VirtualLab Fusion 中的工作流程 ;INW`b~ O)"gS!,
SCz(5[MZJ ca>Z7qT! 6. VirtualLab Fusion 技术 &\Amn?Iq z(H^..<!5
~{Mn{ 7. 文件信息 0C>%LJ8r &-mX ,
SI=yI- 3K_A<j: Jej` ;I QQ:2987619807 J.8IwN1E
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