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1. 摘要 J(0E'o{ug Bf)}g4nYn 白光干涉仪是一种非接触测量技术,用于如表面轮廓或微小位移的高精度测量。利用一个迈克尔逊干涉仪系统和一个氙灯光源在VirtualLab Fusion中仿真了一个白光干涉仪。建模中考虑光源中有限相干长度等光谱特性,结果表明只有当两臂的路径长度基本相同时才会出现干涉图样。 z' oK
0" q?&Ap* #pe#(xoI $oPx2sb 2. 建模任务 8Uv2p{ <# iZ^tLnc
fu=GgD* R]LRgfi9 3. 干涉条纹的变化 /b|V=j}W ()Tl\
6}(;~/L x6h';W_ 8 4. 走进VirtualLab Fusion =hw&2c -VC
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jV}tjwq /-{C,+cB 5. VirtualLab Fusion 中的工作流程 FZk=-.Hk -@I+IKz
vO?\u`vY u0o}rA 6. VirtualLab Fusion 技术 -za+Wa`vH g-4m.;
5.IX 7. 文件信息 KxA^?,t[ bXiOf#:''
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